技术编号:7070803
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种带有隔离阀的半导体基片生产系统,包括操作室;反应室,通过隔离结构与所述操作室连通;其中,所述隔离结构包括隔离阀腔体,所述隔离阀腔体具有用于与所述操作室和所述反应室连接的法兰,所述隔离阀腔体内安装有隔离阀,所述隔离阀可以在打开、关闭位置之间移动。本实用新型的带有隔离阀的半导体基片生产系统,具有以下有益效果当某一个或几个操作室、反应室发生故障时,能通过置隔离阀于关闭位置而将故障的操作室、反应室与整个系统隔离,从而方便维修维护人员将故障操作室、...
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