技术编号:7072185
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种互连金属电容测试结构,至少包括第一至第N金属层;每一金属层设有若干电容器和第一至第N焊垫;第M金属层的N-M组电容器分别与第M+1至第N金属层中每一金属层的其中一组电容器构成并联电容器;第一金属层的第一至第N焊垫分别与第二至第N金属层的第一至第N焊垫一一对应串联成第一至第N串联焊垫;构成每个并联电容器的第S金属层的电容器上极板连接于该金属层的第S焊垫;构成该并联电容器的第T金属层的电容器下极板连接于该金属层的第T焊垫。本实用新型用于解决同...
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