技术编号:7075955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种感光成像装置及其制作方法,尤其涉及一种可提高感光面积填充比,并提高制作精度的感光成像装置的制作方法,以及由上述方法形成的感光成像装置。本发明还涉及一种半导体器件的制作方法。背景技术图像传感器是一种将光学信息(optical information)转换为电信号的装置。目前,图像传感器已被广泛应用于摄像、图像采集、扫描仪以及工业测量等领域。现有的图像传感器可以分为CXD(Charge Coupled Device)型图像传感器和互补金属氧化物半...
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