技术编号:7076861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片化学清洗工具领域,具体涉及一种硅片化学清洗用花篮。它包括框架、卡片槽,框架是长方形框架,框架两侧是半圆形开口槽口,框架中间是卡片槽,每个卡片槽通过条形隔板隔开,框架下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口,所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨,长方形槽口内部开有四个圆孔,防护肋骨两端固定在圆孔内。优点是设计简单,使用方便,花篮底部设计防护肋骨,可以有效的防止硅片碎裂掉落到化学清洗处理池内,卡片槽有效地防止硅片粘在一起,卡片槽设...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。