一种硅片化学清洗用花篮的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及硅片化学清洗工具领域，具体涉及一种硅片化学清洗用花篮。它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨，长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。优点是设计简单，使用方便，花篮底部设计防护肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化学清洗处理池内，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽设计成25片装，可以在化学清洗处理槽内放置两个花篮，正好把化学清洗处理槽内空间充分利用，提高工作效率。
【专利说明】一种硅片化学清洗用花篮
【技术领域】
[0001] 本【技术领域】涉及硅片化学清洗工具领域，具体涉及一种硅片化学清洗用花篮。
【背景技术】
[0002] 硅片在化学清洗处理中会有少量发生碎裂，产生一定数量的外形不完整硅片，这 些外形不完整硅片现有花篮无法适应，置于现花篮中处理时易掉落、易碎、易互粘。而且硅 片放到花篮内，再置于化学清洗处理槽内，只能放一组花篮，放两组花篮就不好放，放一组 的话效率就低了，而且化学清洗处理槽内没有充分利用。
【发明内容】
[0003] 为了解决上述发明问题，本实用新型提出了一种硅片化学清洗用花篮，设计简单， 使用方便，有效防止硅片相互粘在一起，防止碎裂后掉入化学清洗处理槽内，不好打捞。
[0004] 为了达到上述发明目的，本实用新型提出了以下技术方案：
[0005] -种硅片化学清洗用花篮，它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架两侧是 半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有长方形 槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护肋骨， 长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。
[0006] 所述的硅片化学清洗用花篮是采用特氟纶材料制作。
[0007] 所述的卡片槽有25片。
[0008] 所述的框架上面两端还设计有提手卡槽。
[0009] 本实用新型的优点是设计简单，使用方便，花篮底部设计防护肋骨，可以有效的防 止硅片碎裂掉落到化学清洗处理池内，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽设计成25 片装，可以在化学清洗处理槽内放置两个花篮，正好把化学清洗处理槽内空间充分利用，提 高工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0010] 图1是本实用新型的示意图。
[0011] 图2是本实用新型的侧视图。
【具体实施方式】
[0012] 为了对本实用新型进一步说明，下面结合说明书附图来介绍：
[0013] 参照附图1和图2，一种硅片化学清洗用花篮，它包括框架1、卡片槽2，框架1是长 方形框架，框架两侧是半圆形开口槽口，框架1中间是卡片槽2,每个卡片槽2通过条形隔板 3隔开，框架1下端开有长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设 计装有井字形状的防护肋骨4,长方形槽口内部开有四个圆孔5,防护肋骨4两端固定在圆 孔内。
[0014] 所述的硅片化学清洗用花篮是采用特氟纶材料制作。
[0015] 所述的卡片槽有25片。
[0016] 所述的框架上面两端还设计有提手卡槽6。
[〇〇17] 本实用新型使用时，把圆形硅片放置到花篮的卡片槽内，然后用提手把花篮放置 到化学清洗处理槽内，本花篮设计结构与长度，可以在化学清洗处理槽内正好放置两个花 篮，工作效率提高一倍，同时还节省了成本，花篮下端设计的防护肋骨可以防止硅片碎裂一 半不好放置到卡片槽内，或者硅片在清洗过程中碎裂从下面掉到清洗池内，最后通过放水 孔排掉或堵塞放水孔，造成成本加大，还要处理堵塞的水孔，浪费时间。
【权利要求】
1. 一种硅片化学清洗用花篮，其特征是它包括框架、卡片槽，框架是长方形框架，框架 两侧是半圆形开口槽口，框架中间是卡片槽，每个卡片槽通过条形隔板隔开，框架下端开有 长方形槽口即卡片槽下端开有长方形槽口，所述的长方形槽口内设计装有井字形状的防护 肋骨，长方形槽口内部开有四个圆孔，防护肋骨两端固定在圆孔内。
2. 根据权利要求1所述的一种硅片化学清洗用花篮，其特征是所述的硅片化学清洗用 花篮是采用特氟纶材料制作。
3. 根据权利要求1所述的一种硅片化学清洗用花篮，其特征是所述的卡片槽有25片。
4. 根据权利要求1所述的一种硅片化学清洗用花篮，其特征是所述的框架上面两端还 设计有提手卡槽。
【文档编号】H01L21/673GK203882983SQ201420251519
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年5月16日 优先权日:2014年5月16日
【发明者】陈春香 申请人:南通皋鑫电子股份有限公司