一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置制造方法技术资料下载

技术编号:7085407

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本实用新型公开了一种基于腔体技术多芯片叠加封装装置,包括基板、第一芯片及多个第二芯片,基板上表面形成有上端敞口的腔体,第一芯片设置于所述腔体内并与基板电连接,多个第二芯片堆叠到基板的上表面上,各第二芯片设有焊盘,与基板邻接的第二芯片一端伸入所述第一芯片正上方区域。该结构节约了封装内部的空间,有效降低了封装内部芯片叠加之后的厚度,降低了封装装置的整体厚度,同时在同一种封装装置条件下最大可能增加叠加芯片数量,增加封装装置的集成度,同时优化了因第一芯片放置在最上...
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