技术编号：7087248
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种清理工具，所述清理工具包含刀片和粘附于所述刀片工作区域的百洁布。所述刀片设有工作区域，所述百洁布粘附于所述刀片的工作区域内，且所述百洁布的大小与所述刀片工作区域的大小一致，避免了因百洁布过大而对静电吸盘其他部位造成损害；同时，形成的百洁布工作区域与静电吸盘的外形轮廓相匹配，可以彻底地清除静电吸盘边缘的等离子体；刀片还设有刀锋区域，可以对百洁布难以清理到的静电吸盘的边角缝隙进行清理；所述清洁工具外形小巧，可以在狭小的工作空间内灵活使用，大大...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。