技术编号:7089480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种硅片承载盒,包括相对设置的第一面板及第二面板;设置在第一面板与第二面板间且与第一面板与第二面板两侧固定连接的四个侧面档杆;设置在第一面板与第二面板底部之间的两个底部档杆;四个侧面档杆的内侧均设置有相互匹配的第一锯齿,用于固定硅片;第一锯齿之间设置有凸线;且相对两侧面档杆之间的第一锯齿的底部之间的距离为160-165mm,从而可以适合160mm大面积硅片的放置;并且由于第一锯齿之间设置有凸线,从而可实现硅片与承载盒的点接触,大大减少了接触...
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