技术编号:7103341
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及进行与基板处理装置的内部之间连同容纳器一起交接半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED(Field Emission Display 场发射显示器)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板(下面,简称为基板)的控制,或进行与自动物料搬运系统之间交接容纳器的控制的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。背...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。