专利名称：基板处理方法及系统、该系统的运用方法及控制装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及进行与基板处理装置的内部之间连同容纳器一起交接半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED(Field Emission Display :场发射显示器)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板(下面，简称为基板)的控制，或进行与自动物料搬运系统之间交接容纳器的控制的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。
背景技术：
以往，作为这种基板处理系统可列举具有基板处理装置、自动物料搬运系统和对 整体进行控制的主计算机的系统，其中，所述基板处理装置具有基板处理单元、容纳器容置/搬运单元、装载台(load port)、装载台控制装置,所述自动物料搬运系统根据主计算机的指示搬运容纳器。基板处理单元对基板进行各种处理。容纳器容置/搬运单元与基板处理单元并排设置，容置或者搬运用于容置基板的FOUP (Front Opening Unified Pod :前开式统ー标准箱)。装载台与容纳器容置/搬运单元并排设置，用于载置F0UP。装载台控制装置控制与容纳器容置/搬运单元之间或者与自动物料搬运系统之间的FOUP的交接。自动物料搬运系统(AMHS :Automated Material Handling System)为无人搬运车(AGV !Automatic GuidedVehicles),或者为空中行走式无人搬运车(0HT Overhead Hoist Transfer),用于进行与装载台之间的FOUP的交接。主计算机与装载台控制装置之间和与自动物料搬运系统之间进行通信，进行与搬运容纳器相关的控制。ー个基板处理装置通常具有多个装载台，但是当基板处理单元的处理效率变高时，搬运容纳器的个数增多，如果不缩短自动物料搬运系统搬运容纳器的搬运间隔，则不能充分发挥基板处理单元的效率。但是，就这种自动物料搬运系统的通常的标准(规格)而言，自动物料搬运系统中的多台搬运车不会对一个装载台同时进行搬入动作，而是仅一个搬运车对ー个装载台进行搬入动作。另外，一个搬运车向该装载台搬入容纳器所需的时间受到该自动物料搬运系统的布局等因素的限制，而不能够缩短到规定程度以上。因此，会产生自动物料搬运系统进行的搬运赶不上基板处理单元而导致处理效率下降的问题。因此，提出了ー种第一装置，其在高度方向上増加上述装载台的个数，并且将自动物料搬运系统的搬运路线増加为两条(例如，參照专利文献I)。另外，提出了ー种第二装置，其在装载台附近设有作为容纳器暂时避让的场所的可移动缓冲部，来短时间解放装载台(例如，參照日本特开2010-192855号公报)。但是，在具有上述结构的现有例子的情况下，存在着下面的问题。S卩，现有的第一装置需要増加装载台，并且需要増加自动物料搬运系统的搬运路线，存在増大装置成本的问题。另外，现有的第二装置需要在装载台附近设置特殊的可移动缓冲部，也存在増大装置成本的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，本发明的目的在于提供ー种不需要増加装载台等机械结构或者使机械结构复杂化就能够抑制装置成本并提高容纳器的搬运效率的控制装置、基板处理方法、基板处理系统、基板处理系统的运用方法、装载台控制装置及具有装载台控制装置的基板处理系统。本发明，为了达到上述的目的，具有如下的结构。本发明提供ー种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统，具有基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理系统的控制装置的特征在于，具有虚拟装载台控制装置，虚拟·装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。另外，本发明提供ー种基板处理方法，利用基板处理系统来进行基板处理，该基板处理系统，具有基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理方法的特征在于，包括以下步骤对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。另外，本发明提供ー种基板处理系统，具有基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；其特征在于，具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。根据上述各发明，虚拟装载台控制装置对物理装载台分配虚拟装载台，并且将该虚拟装载台作为实际存在的装载台，指示自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。因此，自动物料搬运系统能够以认为存在比实际的物理装载台的个数多的物理装载台的方式进行搬运动作，其结果，能够提供不需要増加基板处理装置的机械上的结构，能够控制装置成本，且提高容纳器的搬运效率的控制装置、基板处理方法及基板处理系统。另外，本发明提供ー种基板处理系统的运用方法，该基板处理系统，具有基板处理装置，其具有物理装载台和物理装载台控制装置，所述物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，所述物理装载台控制装置用于控制所述物理装载台的动作，自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作；所述基板处理系统的运用方法的特征在于，包括使虚拟装载台控制装置位于所述物理装载台控制装置与所述自动物料搬运系统之间的步骤，所述虚拟装载台控制装置对所述装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台作为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。根据本发明，通过在通常的基板处理装置的物理装载台控制装置与自动物料搬运系统之间插入虚拟装载台控制装置，能够对物理装载台分配虚拟装载台，并且将该虚拟装载台作为实际存在的装载台，指示自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。因此，即使对于通常的基板处理装置或者已有的基板处理装置而言，也能够使自动物料搬运系统以认为存在比实际的物理装载台的个数多的物理装载台的方式进行搬运动作。其结果，即使对于通常的基板处理装置或者已有的基板处理装置而言，也能够容易地提高容纳器的搬运效率。另外，本发明提供一种装载台控制装置，用于控制基板处理系统的装载台，该基板处理系统具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机；所述基板处理装置，具有基板处理单元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，所述装载台与所述基板处理单元交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，该内部缓冲部与所述基板处理单元交接基板，该内部缓冲部与所述装载台交接容纳器，用于容置交接了的容纳器，所述自动物料搬运系统在其与所述装载台之间交接容纳器，所述主计算机在其与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统之间进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述装载台控制装置的特征在于，具有虚拟装载台管理部，所述虚拟装载台管理部对所述物 理装载台分配多个虚拟装载台，并且使所述自动物料搬运系统和所述主计算机将所述多个虚拟装载台视为多个物理装载台。根据本发明，虚拟装载台管理部对物理装载台分配多个虚拟装载台。并且虚拟装载台管理部对于所述自动物料搬运系统和所述主计算机，将所述多个虚拟装载台作为多个物理装载台来使用。因此，能够以认为存在比物理装载台的个数多的装载台的方式进行容纳器的搬运，能够看起来増加装载台的个数。其結果，能够提供不需要増加基板处理装置的机械上的结构，能够控制装置成本，且提高容纳器的搬运效率的装载台控制装置。另外，本发明中，优选所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表，在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬入的情况下，(Al)所述虚拟装载台管理部向所述主计算机通知是否能够向所述多个虚拟装载台中的每个虚拟装载台进行搬入动作，(A2)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于将容纳器搬入到所述多个虚拟装载台中的任一个虚拟装载台的指示，(A3)所述自动物料搬运系统，为了将容纳器搬运到被指示的ー个虚拟装载台，在保持容置器的状态下向所述基板处理装置移动，(A4)所述自动物料搬运系统，为了开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器，向所述虚拟装载台管理部发出向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器的通知，(A5)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表，将所述一个虚拟装载台与ー个物理装载台对应，(A6)所述虚拟装载台管理部通知所述主计算机已经开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器，(A7)所述虚拟装载台管理部接收向所述ー个虚拟装载台搬入的通知，向所述自动物料搬运系统发出搬入请求，(AS)所述自动物料搬运系统向被分配了所述ー个虚拟装载台的物理装载台搬运容纳器，(A9)所述基板处理装置将被搬入到所述ー个虚拟装载台内的容纳器搬运到所述内部缓冲部，(AlO)所述虚拟装载台管理部在所述搬入过程中，在向所述计算机通知向所述ー个虚拟装载台的搬入状况时，从所述自动物料搬运系统为了搬运被指示的ー个容纳器而开始向所述基板处理装置移动的时间点到将被指示的一个容纳器载置到与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台之前，通知所述主计算机分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入；并且在从与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台开始向所述内部缓冲部搬运容纳器的时间点，通知所述主计算机分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入。在搬入时，虚拟装载台管理部通知主计算机向一个虚拟装载台的搬入状况。此时，为了使自动物料搬运系统搬运一个容纳器，从开始向基板处理装置移动的时间点到将ー个容纳器载置到与一个虚拟装载台对应的物理装载台上为止，虚拟装载台管理部通知所述主计算机分配给与ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入。另外，在从与ー个虚拟装载台对应的物理装载台开始向内部缓冲部搬运容纳器的时间点，通知计算机分配给与ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入。因此，在以往搬入时所占用的期间内，主计算机也能够进行搬入的指示。因此，能够进行高效率的搬入处理。另外，本发明中，优选所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表，在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬出的情况下，(BI)所述主计算机指示所述基板处理装置向多个虚拟装载台的任ー个虚拟装载 台送出被指示的容纳器，(B2)所述基板处理装置在能够将被指示的容纳器送出到所述ー个虚拟装载台时通知所述主计算机能够搬出，(B3)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于搬运被指示的容纳器的指示，(B4)所述自动物料搬运系统向具有被指示的容纳器的所述基板处理装置移动，(B5)所述自动物料搬运系统指示所述虚拟装载台管理部向所述ー个虚拟装载台送出容纳器，以便于从所述一个虚拟装载台搬出被指示的容纳器，(B6)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表，将所述一个虚拟装载台与ー个物理装载台对应，(B7)所述基板处理装置通知所述主计算机已经开始将被指示的容纳器向所述ー个虚拟装载台送出，(B8)所述基板处理装置向被分配了所述ー个虚拟装载台的物理装载台送出被指示的容纳器，(B9)所述基板处理装置向所述自动物料搬运系统发出搬出请求的通知，(BlO)所述自动物料搬运系统从所述ー个虚拟装载台搬出所述容纳器，(Bll)所述虚拟装载台管理部在所述搬出过程中，在向所述主计算机通知从所述一个虚拟装载台的搬出状况时，除了在特定的期间内以外，通知主计算机分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬出，所述特定期间是指，从将被指示的容纳器从所述内部缓冲部送出到与所述ー个虚拟装载台对应的所述物理装载台的时间点到所述自动物料搬运系统从所述物理装载台开始搬出所述容纳器的时间点为止的期间。在搬出时，虚拟装载台管理部通知所述主计算机从一个虚拟装载台的搬出状況。此时，除了在特定的期间内以外，虚拟装载台管理部通知主计算机分配给与ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬出，特定的期间是指，从将被指示的容纳器从内部缓冲部送出到与ー个虚拟装载台对应的物理装载台的时间点到自动物料搬运系统从物理装载台开始搬出容纳器的时间点为止的期间。因此，在以往搬出时所占用的期间内，主计算机也能够进行搬出的指示。因此，能够进行高效率的搬出处理。另外，本发明中，优选所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为仅用于搬入；优选所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为仅用于搬出；优选所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为用于搬入或者用于搬出。通过虚拟装载台管理部将多个虚拟装载台设定为仅用于搬入用，或者设定为仅用于搬出，或者设定为用于搬入或者用于搬出，能够进行灵活的运用。另外，本发明提供ー种基板处理系统，用于处理基板，其特征在干，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机、装载台控制装置，所述基板处理装置，具有基板处理単元，其对基板进行规定的处理，装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，在所述装载台与所述基板处理单元之间交接容纳器，内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，该内部缓冲部与所述基板处理单元交接基板，该内部缓冲部与所述装载台交接容纳器，用于容置交接了的容纳器，所述自动物料搬运系统与所述装载台交接容纳器，所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器；所述装载台控制装置具有虚拟装载台管理部，所述虚拟装载台管理部对所述物理装载台分配多个虚拟装载台，并且使所述自动物料搬运系统和所述主计算机将所述多个虚拟装载台视为多个物理装载台来使用。根据本发明，装载台控制装置的虚拟装载台管理部对物理装载台分配多个虚拟装载台。并且虚拟装载台管理部对于所述自动物料搬运系统和所述主计算机，将所述多个虚 拟装载台作为多个物理装载台来使用。因此，能够以认为存在比物理装载台的个数多的装载台的方式进行容纳器的搬运，能够虚拟地増加装载台的个数。其结果，能够提供不仅控制装置成本，并且提高容纳器的搬运效率的基板处理系统。在以下的图中所示的仅为用于说明发明的目前优选的几种方式，但是应该理解为发明并非局限于图中所示的结构及方案。
图I是表示实施例的基板处理系统的概要的俯视图。图2是表示实施例的基板处理系统的概略结构的框图。图3是表示搬入处理时的顺序的时序图。图4是表不搬入处通时的过程的不意图，是表不向主计算机通知的图。图5是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示主计算机的发出搬运指示的图。图6是表不搬入处通时的过程的不意图，是表不自动物料搬运系统的移动的图。图7是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示通过自动物料搬运系统开始进行搬入的图。图8是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示装载台的对应关系的图。图9是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示报告虚拟装载台的状态变化的图。图10是表不搬入处理时的过程的不意图，是表不接受:搬入的图。图11是表不搬入处通时的过程的不意图，是表不自动物料搬运系统的移动的图。图12是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示FOUP向内部缓冲部移动的图。图13是表示搬入处理时的过程的示意图，是表示报告搬入状况的图。图14是表示搬出处理时的顺序的时序图。图15是表示搬出处理时的过程的示意图,是表示来自主计算机的搬出指示的图。图16是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示向主计算机发出能够搬出的通知的图。图17是表示搬出处理时的过程的示意图,是表示来自主计算机的搬出指示的图。图18是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示自动物料搬运系统的移动的图。图19是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示通过自动物料搬运系统开始进行搬出的图。图20是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示装载台的对应关系的图。图21是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示报告虚拟装载台的状态变化的图。图22是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示送出的图。
图23是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示向自动物料搬运系统发送搬运请求的图。图24是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示通过自动物料搬运系统搬出FOUP的图。图25是表示搬出处理时的过程的示意图，是表示报告搬出状况的图。图26是表示搬入处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。图27是表示搬出处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。
具体实施例方式下面，參照
本发明的一个实施例。图I是表不实施例的基板处理系统的概要的俯视图，图2是表实施例的基板处理系统的概略结构的框图。实施例中的基板处理系统I具有下面的功能，即，将基板W连同F0UP3 —起搬入并对基板W进行处理，并连同各个F0UP3搬出处理完的基板W。F0UP3为Front OpeningUnified Pod (前开式统ー标准箱)的简称，其在密闭状态下将基板W容纳在干净的环境内。该基板处理系统I具有基板处理装置5、自动物料搬运系统7、主计算机9。通常具有多台基板处理装置5，作为ー个例子在图I中示出了两个基板处理装置5。基板处理装置5具有基板处理单元11、装载台13、内部缓冲部15。该基板处理单元11对从F0UP3中取出的基板W进行规定的处理。规定的处理例如包括清洗处理、蚀刻处理、光致抗蚀剂去除处理等。装载台13用于在基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间交接F0UP3。在本例子中，装载台13包括两个物理装载台R-LPl和R-LP2。内部缓冲部15配置在基板处理单元11和装载台13之间，在内部缓冲部15与装载台13之间交接F0UP3，并且在内部缓冲部15与基板处理单元11之间交接从F0UP3中取出的基板W。另外，该内部缓冲部15具有如下的缓冲的功能，即，在从装载台13搬入F0UP3而在基板处理单元11处于不能接受基板W的状态的情况下或者在装载台13处于不能搬出F0UP3的状态的情况下，该内部缓冲部15暂时容置F0UP3。此外，上述的F0UP3相当于本发明中的“容纳器”。自动物料搬运系统7在基板处理装置5与容纳保管多个F0UP3的保管库(图中省略)之间或者基板处理装置5与其他基板处理装置之间搬运F0UP3。作为自动物料搬运系统 7 例如能够列举 AVG (Automatic Guided Vehicle)、0HT (Overhead Hoist Transport)等的AMHS (Automated Material Handling Systems)。在本实施例中，作为一例米用了多个0HT17在两个基板处理装置5的周边循环移动的结构。主计算机9在上述基板处理装置5与自动物料搬运系统7之间进行通信。主计算机9对应于基板处理装置5的状况指示自动物料搬运系统7搬运F0UP3。在此所说的“搬运”表示用于向基板处理装置5搬入F0UP3的搬运即“搬入”和用于从基板处理装置5搬出F0UP3的搬运即“搬出”。如图2所示，基板处理装置5具有主计算机对应控制部21、装载台管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25，该主计算机对应控制部21、装载台管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25构成装载台控制装置20。构成该装载台控制装置20的主计算机对应控制部21、装载台管理部23、自动物料搬运系统对应控制部25具有与通常的基板处理装置所包含的结构相同的功能。即，在通常的基板处理系统中，装载台管理部23与设置在基板 处理装置5上的装载台13的物理装载台R-LP1、R-LP2及内部缓冲部15相连接，与它们进行通信，识别它们的状态，控制它们的动作等，来这样进行管理。另外，在通常的基板处理系统中，主计算机对应控制部21与主计算机9相连接，并且參照装载台管理部23所识别的物理装载台R-LP1、R-LP2的状态，向主计算机9发出F0UP3的搬入请求等的通信。另外，在通常的基板处理系统中，自动物料搬运系统对应控制部25与自动物料搬运系统7相连接，參照装载台管理部23识别的物理装载台R-LPl、R-LP2的状态等，进行与自动物料搬运系统7间的F0UP3的搬入动作的控制相关的通信(后述的CS信号等)。并且，在本实施方式中，与上述的通常的基板处理系统不同，在主计算机对应控制部21与主计算机9之间以及在自动物料搬运系统对应控制部25与自动物料搬运系统7之间，连接有虚拟装载台控制部19。即，本实施方式的基板处理系统I是在通常的基板处理装置与主计算机9及自动物料搬运系统7之间追加插入虚拟装载台控制装置19而构成的。在此，追加连接的虚拟装载台控制装置19也包含在基板处理装置5中。虚拟装载台控制装置19分别对两个物理装载台R-LPl、R-LP2分配多个虚拟装载台。并且，使自动物料搬运系统7和主计算机9将多个虚拟装载台视为多个物理装载台。换言之，虚拟装载台控制装置19以使自动物料搬运系统7和主计算机9认为存在比实际存在的两个物理装载台R-LPl、R-LP2更多的物理装载台的方式，与自动物料搬运系统7和主计算机9进行信号处理及通信。另外，针对在认为存在比实际存在的物理装载台更多的物理装载台的前提下进行动作的主计算机9及自动物料搬运系统7的动作，基板处理装置5的主计算机对应控制部21和自动物料搬运系统对应控制部25将与上述动作对应的信息分配给实际存在的两个物理装载台R-LP1、R-LP2。具体来说，虚拟装载台控制装置19具有主计算机对应控制部27、虚拟装载台管理部29、自动物料搬运系统对应控制部31。虚拟装载台管理部29具有转换表存储部33。在转换表存储部33中预先存储规定了物理装载台与虚拟装载台的对应关系的“转换表”。该转换表由操作员通过设定部35适当地设定。主计算机对应控制部27接收来自装载台管理部23的与物理装载台R-LPl、R_LP2相关的通知，參照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与分配给上述物理装载台的虚拟装载台相关的通知，并发送给主计算机9。自动物料搬运系统对应控制部31接收来自自动物料搬运系统7的与虚拟装载台V-LPl V-LP4相关的通知，參照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与被分配了上述虚拟装载台的物理装载台相关的通知，并发送给自动物料搬运系统对应控制部25，或者反之接收来自动物料搬运系统对应控制部25的与物理装载台R-LPl、R-LP2相关的通知，參照虚拟装载台管理部29的信息，将接收的通知变换为与分配给上述物理装载台的虚拟装载台相关的通知，并发送给自动物料搬运系统7。< A :搬入处理〉接着，參照图3 图13、图26，对上述的基板处理系统I搬入F0UP3的“搬入”的流程进行说明。此外，图3是表不搬入处通时的顺序的时序图。另外，图4 图13是表不搬入处理时的过程的示意图，图4是表示向主计算机通知的图，图5是表示主计算机的搬运指示的图，图6是表示自动物料搬运系统的移动的图，图7是表示通过自动物料搬运系统开始搬入的图，图8是表示装载台的对应关系的图，图9是表示报告虚拟装载台的状态变化的图，图 10是表不接受:搬入的图，图11是表不自动物料搬运系统的移动的图，图12是表不将FOUP向内部缓冲部移动的图，图13是表不报告搬入状况的图，图26是表不搬入处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。在下面的说明中，如图4所示，使物理装载台R-LPl与两个虚拟装载台V_LP1、2对应，使物理装载台R-LP2与两个虚拟装载台V-LP3、4对应。该对应关系由上述转换表存储部33的转换表規定。另外，在此，将两个虚拟装载台V-LP1、2设定为用于搬入的装载台，在下面的说明中，为了便于理解，仅对虚拟装载台V-LPI、2进行说明。I.基板处理装置5向主计算机9通知是否能够向两个虚拟装载台V_LP1、2搬入F0UP3(图4)。具体来说，虚拟装载台控制装置19的主计算机对应控制部27參照虚拟装载台管理部29，通知主计算机9能够向被称为虚拟装载台V-LP1、2的装载台搬入F0UP3。更详细地说，首先，管理物理装载台R-LPl的装载台管理部23将物理装载台R-LPl的状态识别为“能够搬入”。对应于此，主计算机对应控制部21參照装载台管理部23的识别结果，输出“能够搬入”的通知。如果为现有的通常结构，该输出被直接发送到主计算机
9。但是，在本发明中，主计算机对应控制部21输出的“能够搬入”的通知被发送到虚拟装载台控制装置19的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收该通知，參照内部的转换表存储部33所存储的转换表识别出被通知为“能够搬入”的物理装载台R-LPl与虚拟装载台V-LP1、V-LP2对应。然后，虚拟装载台管理部29向主计算机对应控制部27通知虚拟装载台V-LP1、V-LP2处于“能够搬入”的状态，从而使主计算机对应控制部27取代被通知为“能够搬入”的物理装载台R-LPl而将虚拟装载台V-LPl、V-LP2视为处干“能够搬入”的状态。主计算机对应控制部27基于上述通知向主计算机9通知虚拟装载台V-LP1、V-LP2处于“能够搬入”的状态。2.接收了上述通知的主计算机9对自动物料搬运系统7进行指示，将应该被基板处理装置5处理的两个F0UP3分别向虚拟装载台V-LP1、2搬入(图5)。3.自动物料搬运系统7从前ー个エ序的基板处理装置或者保管库中取出第一、第ニ F0UP3，将第一 F0UP3保持在第一 0HT17内，将第二 F0UP3保持在第二 0HT17内，并且分别开始向下达了搬入指示的基板处理装置5移动。在此，假设第一 0HT17、第二 0HT17都搬入到同一个基板处理装置5中，第一 0HT17位于最先到达基板处理装置5的位置，第二 0HT17位于比第一 0HT17晚到达基板处理装置5的位置。4.当第一 0HT17移动并到达基板处理装置5吋，自动物料搬运系统7通知基板处理装置5 :向虚拟装载台V-LPl搬入第一 F0UP3 (图7)。具体来说，自动物料搬运系统7接通CSO信号(CS0信号0N)，并且接通表示搬运开始的VALID信号(VALID信号0N)，且发送给自动物料搬运系统对应控制部31。此外，CS信号是用来指定装载台的搬运器/载物台信号，由SEMI规格E84来規定。5.基板处理装置5參照从自动物料搬运系统7接收的CSO信号(表示虚拟装载台V-LPl)和转换表，将虚拟装载台V-LPl和相应的ー个物理装载台R-LPl对应(图8)。具体来说，虚拟装载台管理部29基于自动物料搬运系统对应控制部31接收的信号，建立对应关系O6-1.基板处理装置5将已经开始向虚拟装载台V-LPl进行搬入的情况作为“状态发生变化”，报告给主计算机9 (图9)。具体来说，虚拟装载台管理部29经由主计算机对应控制部27向主计算机9进行报告。 6-2.接收了报告的主计算机9识别出在虚拟装载台V-LPl中已经开始进行搬入动作(图9)。7.基板处理装置5向物理装载台R-LPl发出接收的指示，并且请求自动物料搬运系统7进行搬入，以便于使物理装载台R-LPl接受由自动物料搬运系统7向虚拟装载台V-LPl搬运的第一 F0UP3(图10)。具体来说，虚拟装载台管理部29经由自动物料搬运系统对应控制部31，向自动物料搬运系统对应控制部25发出向物理装载台R-LPl搬入的通信指示。自动物料搬运系统对应控制部25接收上述通信后，向装载台管理部23发出向物理装载台R-LPl进行搬入动作的指示，并且向自动物料搬运系统对应控制部31发出开始向物理装载台R-LPl搬入的“搬入开始”的请求。此外，如果为现有的基板处理系统，则上述请求向自动物料搬运系统7发送，而在本发明中，上述请求向虚拟装载台控制装置19的自动物料搬运系统对应控制部31发送。自动物料搬运系统对应控制部31能够识别出来自自动物料搬运系统对应控制部25的上述“搬入开始”的请求信号为与在上述“4. ”中从自动物料搬运系统7接收的向虚拟装载台V-LPl搬入第一 F0UP3的搬入通知对应的信号。然后，基于上述识别，自动物料搬运系统对应控制部31将上述“搬入开始”的请求信号作为开始向虚拟装载台V-LPl搬入的“搬入开始”的请求，发送给自动物料搬运系统7。作为上述请求信号，自动物料搬运系统对应控制部31针对自动物料搬运系统7接通L REQ信号(L REQ信号0N)。此外，L REQ信号为装载请求信号，表示搬入的请求。8.自动物料搬运系统7根据自动物料搬运系统对应控制部31的“搬入开始”的请求，进行将第一 0HT17保持的第一 F0UP3向虚拟装载台V-LPl搬运的动作。在此，在自动物料搬运系统7中，将此时的搬运目的地即虚拟装载台V-LPl的位置信息设定为物理装载台R-LPl的真实的位置，自动物料搬运系统7向虚拟装载台V-LPl的搬运实际上是执行向物理装载台R-LPl的搬运(图11)。9.基板处理装置5将搬入到物理装载台R-LPl的第一 F0UP3搬运到内部缓冲部15中的适当的位置(图12)。10.基板处理装置5在上述的搬入过程中，将完成向物理装载台R-LPl内搬入第一 F0UP3的搬入结束的状况作为向虚拟装载台V-LPl的搬入结束的状况报告给主计算机9(图13)。具体来说，装载台管理部23识别物理装载台R-LPl的状况，经由主计算机对应控制部21、主计算机对应控制部27将其报告给主计算机9。此时，主计算机对应控制部21将来自装载台管理部23的向物理装载台R-LPl的“搬入結束”的报告向主计算机对应控制部27报告。主计算机对应控制部27能够识别出来自主计算机对应控制部21的上述“搬入結束”的报告是与在上述“6-1. ”和“6-2. ”中从虚拟装载台管理部29接收的向虚拟装载台V-LPl开始搬入第一 F0UP3的搬入开始通知相对应的报告。并且，基于上述识别，主计算机对应控制部27将上述“搬入結束”的报告作为向虚拟装载台V-LPl的“搬入結束”的报告，发送给主计算机9。另外，在通过上述“9. ”而搬入到物理装载台R-LPl的第一 F0UP3被搬运到内部缓冲部15时，物理装载台R-LPl再次变为能够接收F0UP3的状态，因此与上述“I. ”相同，装载台管理部23将物理装载台R-LPl的状态识别为“能够搬入”的状态。对应于此，主计算机对应控制部21參照装载台管理部23的识别，将“能够搬入”的通知发送给虚拟装载台控 制装置19的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收了上述“能够搬入”的通知，与上述“搬入结束”的报告相同，认定虚拟装载台V-LPl为“能够搬入”的状态，并通知给主计算机9。根据向内部缓冲部15搬运F0UP3的时间的不同，上述“能够搬入”的通知紧接着上述“搬入结束”的报告或者稍微晚ー些。此外，在上述“ I.”中已经发出虚拟装载台V-LP2为“能够搬入”的状态的通知，与此对应的第二 0HT17已经开始搬运第二 F0UP3，因此在此不进行与虚拟装载台V-LP2相关的新通知。11.在第二 0HT17稍微迟于第一 0HT17到达基板処置装置5时，与上述“ 4.”相同，自动物料搬运系统7向基板处理装置5通知向虚拟装载台V-LP2搬入第二 F0UP3。具体来说，自动物料搬运系统7接通(ON) CS_1信号(表示虚拟装载台V-LP2)，接通表示开始搬运的VALID信号(VALID信号0N)，且发送给自动物料搬运系统对应控制部31。下面，与上述相同，进行向物理装载台R-LPl搬入的动作来作为向虚拟装载台V-LP2搬入的动作。此外，如果在上述“2. ”的时刻，在应该通过基板处理装置5处理的F0UP3只有第一 F0UP3时,主计算机9指示向虚拟装载台V-LPl进行搬运,但不立即指示向虚拟装载台V-LP2进行搬运，而是等待应该处理的第二 F0UP3被准备完毕。根据这样的实施方式，对ー个物理装载台R-LPl分配两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2，能够使该两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2成为“能够搬入”的状态，同时移动两个OHT17来分别对两个虚拟装载台V-LP1、V-LP2进行搬运动作，从而与向ー个物理装载台R-LPl只进行ー个0HT17的搬运动作的情况相比，能够增大每单位时间能够搬运的F0UP3的个数,换言之,能够缩短每搬运ー个F0UP3所需要的时间。另外，从图26也能够清楚地了解到，虚拟装载台控制装置19，与基板处理装置5本来具有的主计算机对应控制部21及自动物料搬运系统对应控制部25之间仅处理与物理装载台R-LPl相关的信号，与主计算机9及自动物料搬运系统7之间仅处理与虚拟装载台V-LPUV-LP2相关的信号。即，虚拟装载台控制装置19在基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间，建立物理装载台R-LPl与虚拟装载台V-LPl、V-LP2的对应关系并进行信号的变换。因此，不改变现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7的任何的硬件或软件的结构，只在现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间插入虚拟装载台控制装置19，就能够简单地实施本发明的控制，另外只拆除虚拟装载台控制装置19，就能够简单地还原成现有的基板处理系统的结构。此外，虚拟装载台V-LP2为与同一个物理装载台R-LPl建立对应关系的另ー个虚拟装载台。在上述的搬入过程中，从自动物料搬运系统7的0HT17为了搬运ー个F0UP3而开始向基板处理装置5移动的时刻到实际上将该F0UP3载置到与一个虚拟装载台V-LPl对应的物理装载台R-LPl上为止，虚拟装载台控制装置19向主计算机9报告能够向另ー个虚拟装载台即虚拟装载台V-LP2进行搬入动作。另外，在开始将F0UP3从与ー个虚拟装载台V-LPl相对应的物理装载台R-LPl向内部缓冲部15搬运的时刻，向主计算机9报告能够向与对应于虚拟装载台V-LPl的物理装载台R-LPl对应的、与虚拟装载台V-LPl不同的另ー个虚拟装载台V-LP2进行搬入动作。因此，主计算机9在上述期间内，能够使自动物料搬运系统7接通表示虚拟装载台V-LP2的CS_1信号(CS_1信号0N)，指示向同一个物理装载台R-LPl进行搬入动作。因此，即使在以往搬入时所占用的期间内，主计算机9也能够进行搬入的指示。因此，能够高效率地进行搬入处理。
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此外，在上述的例子中，在被搬运到虚拟装载台V-LPl的前ー个(第一)F0UP3的搬运结束之后，F0UP3被搬入到内部缓冲部15，此后，向被分配到同一个物理装载台R-LPl的虚拟装载台V-LP2搬入下ー个(第二)F0UP3。因此，向同一物理装载台R-LPl的搬入过程不会产生问题。假如导入前ー个(第一)F0UP3需要时间而下ー个(第二)F0UP3已经到达同一个物理装载台R-LPl，此时也让下ー个(第二)F0UP3在现场待机。该控制例如能够通过进行下面的处理实现。即，在上述“4.”中，在从自动物料搬运系统7向自动物料搬运系统对应控制部31输入开始向虚拟装载台V-LPl搬入第一 F0UP3的搬入开始通知之后，即使立即输入开始向另ー个虚拟装载台V-LP2搬入第二 F0UP3的搬入开始通知，针对该第二 F0UP3的搬入开始通知，也不转移到接下来的“5. ”，而将其保留。并且，在上述“ 10. ”的阶段中的第一 F0UP3搬入物理装载台R-LPl的“搬入結束”通知发送给了主计算机对应控制部27吋，可以从主计算机对应控制部27向自动物料搬运系统对应控制部31发出通知来解除上述的保留的状态。或者，还可以考虑进行如下的其他的处理，即，在上述“4.”中，在从自动物料搬运系统7向自动物料搬运系统对应控制部31输入开始向虚拟装载台V-LPl搬入第一F0UP3的搬入开始通知之后，在从此时起经过规定时间(例如，能够充分地进行从装载台13选拔个内部缓冲部15搬运的时间)内，即使输入了开始向另ー个虚拟装载台V-LP2搬入第ニ F0UP3的搬入开始通知，针对该搬入开始通知，也不转移到接下来的“ 5. ”，而将其保留。另外，即使以上述的方式保留下ー个F0UP3的搬入开始动作，与现有的基板处理系统那样，在向内部缓冲部15取入F0UP3而物理装载台R-LPl能够接收搬入下ー个F0UP3之后，指示搬运下ー个(第二)F0UP3的方式相比，本发明很早地开始搬运下ー个(第二)F0UP3，因此即使产生上述的待机状况，与以往相比也能够进行高效率的搬运。<8:搬出处理>接着，參照图14 图25、图27，对上述基板处理系统I搬出F0UP3的搬出的流程进行说明。此外，图14是表示搬出处理时的顺序的时序图。另外，图15 图25是搬出处理时的过程的示意图，图15是表示来自主计算机的搬出指示的图，图16是通知主计算机能够搬出的图，图17是表示来自主计算机的搬出的指示的图，图18是表示自动物料搬运系统的移动的图，图19是表示通过自动物料搬运系统开始搬出的图，图20是表示装载台的对应关系的图，图21是表示报告虚拟装载台的状态变化的图，图22是表示送出的图，图23是表示向自动物料搬运系统发送的搬运请求的图，图24是表示通过自动物料搬运系统搬出FOUP的图，图25是表示报告搬出状况的图，图27是表示搬出处理时的各部之间的信号等的收发的示意图。在下面的说明中，如图15所示，使物理装载台R-LPl与两个虚拟装载台V_LP1、2对应，使物理装载台R-LP2与两个虚拟装载台V-LP3、4对应。另外，在此，将两个虚拟装载台V-LP3、4设定为用于搬出的虚拟装载台。在下面的说明中，为了便于理解，仅对虚拟装载台V-LP3、4进行说明。I.主计算机9向基板处理装置5发出将容纳有处理完成的基板W的F0UP3送出的指示(图15)。在此，例如，发出指示按顺序将容置于基板处理装置5的内部缓冲部15内的处理完成的F0UP3，送到图中没有示出的下一个エ序的基板处理装置或者F0UP3的保管库中。上述指示经由主计算机对应控制部27及主计算机对应控制部21传达给装载台管理 部23 (图27中省略图示)。2.当能够将指定的F0UP3送出到物理装载台R-LP2时，基板处理装置5实际上不进行送出，而是通知主计算机9能够进行搬出(图16)。进ー步详细地说明，首先，管理用于搬出的物理装载台R-LP2的装载台管理部23确认物理装载台R-LP2及内部缓冲部15的状态。然后，根据来自主计算机9的指示识别出容纳在内部缓冲部15内的处理完成的F0UP3a、3b从物理装载台R_LP2“能够搬出”。基于此，主计算机对应控制部21參照装载台管理部23的识别，输出从物理装载台R-LP2能够搬出F0UP3a、3b的“能够搬出”的通知。如果为现有的通常的结构，则该输出被直接发送到主计算机9。但是，在本发明中，主计算机对应控制部21输出的“能够搬出”的通知，被发送到虚拟装载台控制装置19的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收该通知，且将其发送并通知给虚拟装载台管理部29。虚拟装载台管理部29接收该通知，并參照内部的转换表存储部33所存储的转换表识别出被通知为“能够搬出”的物理装载台R-LP2与虚拟装载台V-LP3、V-LP4对应。然后，虚拟装载台管理部29向主计算机对应控制部27通知从虚拟装载台V-LP3、V-LP4 “能够搬出”F0UP3a、3b，从而使主计算机对应控制部27取代被通知为“能够搬出”物理装载台R-LP2而视为从虚拟装载台V-LP3、V-LP4 “能够搬出”F0UP3a、3b。主计算机对应控制部27基于上述通知向主计算机9通知从虚拟装载台 V-LP3、V-LP4 双方“能够搬出” F0UP3a、3b。3.主计算机9指示自动物料搬运系统7进行搬运，来取得被指示的F0UP3a、3b(图17)。4.自动物料搬运系统7为了进行搬出，使两个0HT17a、17b向具有被指定的F0UP3a、3b的基板处理装置5移动(图18)。在此，OHT17a负责将F0UP3a从虚拟装载台V-LP3搬出，0HT17b负责将F0UP3b从虚拟装载台V-LP4搬出。在此，在自动物料搬运系统7中，作为此时的作为搬运目的地即虚拟装载台V-LP3、V-LP4的位置信息，设定对应的物理装载台R-LP2的真实的位置，因此自动物料搬运系统7的0HT17a、17b的移动，实际上为向物理装载台R-LP2的移动。
5.当预定搬出F0UP3a的0HT17a移动并到达基板处理装置5的虚拟装载台V-LP3(物理装载台R-LP2)时，为了开始进行从虚拟装载台V-LP3搬出的动作，自动物料搬运系统7接通表示虚拟装载台V-LP3的CS O信号(CS O信号0N)，并接通(ON)VALID信号(搬运开始)(图19)。虚拟装载台管理部29经由自动物料搬运系统对应控制部31接收上述CS O信号和VALID信号。6.基板处理装置5接收CS_0信号，确定虚拟装载台V-LP3 (图20)。具体来说，虚拟装载台管理部29确定虚拟装载台V-LP3。7-1.由于已经开始用虚拟装载台V-LP3进行搬出，所以基板处理装置5向主计算机9报告虚拟装载台V-LP3的状态发生变化(图21)。具体来说，虚拟装载台管理部29经由主计算机对应控制部27向主计算机9进行报告。7-2.接收报告的主计算机9识别出已经开始用虚拟装载台V-LP3进行搬运(图21)。 8.基板处理装置5将被指示的F0UP3a送到虚拟装载台V-LP3中(图22)。由于虚拟装载台V-LP3与物理装载台R-LP2对应，所以实际上是将F0UP3a送到物理装载台R-LP2。具体来说，在上述“6. ”中确定了虚拟装载台V-LP3的虚拟装载台管理部29根据转换表存储部33所存储的转换表识别出被确定的虚拟装载台V-LP3与物理装载台R-LP2相对应；从而向自动物料搬运系统对应控制部31发出从物理装载台R-LP2搬出的指示。自动物料搬运系统对应控制部31接收上述指示，并向自动物料搬运系统对应控制部25发出从物理装载台R-LP2搬出的通信指示。自动物料搬运系统对应控制部25接收上述通信，指示装载台管理部23进行向物理装载台R-LP2搬出F0UP3a的搬出动作，并且向自动物料搬运系统对应控制部31发送从物理装载台R-LP2搬出的“搬出开始”的请求信号。此外，如果为现有的基板处理系统，上述请求信号被发送到自动物料搬运系统7，而在本发明中，上述请求信号被发送到虚拟装载台控制装置19的自动物料搬运系统对应控制部31中。装载台管理部23基于上述指示，进行将容纳在内部缓冲部15中的F0UP3a送到物理装载台R-LP2的动作。9.基板处理装置5向自动物料搬运系统7导通表示搬运请求的信号(信号0N)(图23)。具体来说，自动物料搬运系统对应控制部31识别出来自自动物料搬运系统对应控制部25的从上述物理装载台R-LP2搬出的“搬出开始”的请求信号与在上述“ 5. ”中从自动物料搬运系统7接收到的从虚拟装载台V-LP3搬出F0UP3a的搬出通知相对应。另外，基于上述识别，自动物料搬运系统对应控制部31将上述“搬出开始”的请求信号作为从虚拟装载台V-LP3搬出的“搬出开始”的请求，发送给自动物料搬运系统7。作为上述请求信号，自动物料搬运系统对应控制部31针对自动物料搬运系统7接通U_REQ信号(U_REQ信号0N)。该U_REQ信号为卸载请求信号。10.自动物料搬运系统7从虚拟装载台V-LP3搬出F0UP3a (图24)。由于虚拟装载台V-LP3与物理装载台R-LP2相对应，所以实际上是从物理装载台R-LP2搬出F0UP3a。11.基板处理装置5在上述的搬出过程中向主计算机9报告在虚拟装载台V-LP3中进行了搬出动作(图25)。具体来说，装载台管理部23识别物理装载台R-LP2的状况，经由主计算机对应控制部21、主计算机对应控制部27向主计算机9进行报告。此时，主计算机对应控制部21，将来自装载台管理部23的从物理装载台R-LP2搬出的“搬出结束”的报告向主计算机对应控制部27报告。主计算机对应控制部27识别出来自主计算机对应控制部21的上述“搬出结束”报告与在上述“7.”中从虚拟装载台管理部29接收的从虚拟装载台V-LP3开始搬出F0UP3a的搬出开始通知相对应。另外，基于上述识别，主计算机对应控制部27将上述“搬出结束”的报告作为从虚拟装载台V-LP3的“搬出结束”的报告，发送给主计算机9。另外，在此之后，当将容纳有处理完成的基板W的下ー个F0UP3C搬运到内部缓冲部15时，物理装载台R-LP2再次变为能够搬出的状态。即，由干与物理装载台R-LP2相对应的虚拟装载台V-LP3再次变为能够搬出的状态，所以与上述“2. ”相同，装载台管理部23将物理装载台R-LP2的状态识别为“能够搬出”的状态。对应于此，主计算机对应控制部21參照装载台管理部23的识别，将“能够搬出”的通知发送给虚拟装载台控制装置19的主计算机对应控制部27。主计算机对应控制部27接收该通知，与上述“搬出结束”报告同样，识别为虚拟装载台V-LP3变为“能够搬出”的状态，并通知给主计算机9。根据向内部缓冲部15搬运F0UP3C的时间的不同，上述“能够搬出”的通知紧接在上述的“搬出结束”报告之后或者稍微晚ー些。此外，由于在上述“2. ”中已经发出了虚拟装载台V-LP4为“能够搬 出，，的通知，并且与此对应的0HT17b为了搬出F0UP3b已经开始向基板处理装置5移动，所以在此不进行虚拟装载台V-LP4相关的新通知。12.在0HT17b稍微迟于0HT17a到达基板处理装置5时，与上述“ 4. ”相同，自动物料搬运系统7向基板处理装置5通知从虚拟装载台V-LP4搬出F0UP3b。具体来说，自动物料搬运系统7接通(ON) CS_1信号(表示虚拟装载台V-LP4)，还接通表示搬运开始的VALID信号(VALID信号0N)，并发送给自动物料搬运系统对应控制部31。下面，与上述相同，进行从物理装载台R-LP2搬出的动作来作为从虚拟装载台V-LP4搬出的动作。此外，虚拟装载台V-LP4为与同一物理装载台R-LP2对应的另ー个虚拟装载台。在上述的搬出过程中，在上述搬出处理的“ I.”的阶段中，即使在被容纳在内部缓冲部15内的处理完成的FOUP只有F0UP3a的情况下，虚拟装载台控制装置19也一直向主计算机9通知被分配给与ー个虚拟装载台V-LP3相对应的物理装载台R-LP2的另ー个虚拟装载台V-LP4能够用于搬出。因此，主计算机9在上述的期间内，能够使自动物料搬运系统7导通表示虚拟装载台V-LP4的CS_1信号(CS_1信号0N)，发出向同一物理装载台R-LP2进行搬出的指示。因此，能够高效率地进行搬出处理。根据上述本实施方式，对ー个物理装载台R-LP2分配两个虚拟装载台V-LP3、V-LP4，如果分配两个虚拟装载台V-LP3、V-LP4且该两个虚拟装载台V_LP3、V_LP4都为“能够搬出”的状态，则能够同时移动两个OHT17分别针对该两个虚拟装载台V-LP3、V-LP4进行搬运动作，从而与针对ー个物理装载台R-LP2仅进行ー个0HT17的搬运动作的情况相比，能够增大每单位时间内能够搬运的FOUP的个数。换言之，能够缩短每搬运ー个FOUP所需要的时间。另外，从图27能够清楚地了解到，虚拟装载台控制装置19，与基板处理装置5本来具有的主计算机对应控制部21及自动物料搬运系统对应控制部25之间仅处理与物理装载台R-LP2相关的信号，与主计算机9及自动物料搬运系统7之间仅处理与虚拟装载台V-LP3、V-LP4相关的信号。即，虚拟装载台控制装置19在基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间，建立物理装载台R-LP2与虚拟装载台V-LP3、V-LP4的对应关系并进行信号的变换。因此，不改变现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7的任何的硬件或软件的结构，只在现有的基板处理装置5与主计算机9及自动物料搬运系统7之间插入虚拟装载台控制装置19，就能够简单地实施本发明的控制，另外只拆除虚拟装载台控制装置19，就能够简单地还原成现有的基板处理系统的结构。如上所述，根据本实施例装置，虚拟装载台控制装置19对物理装载台R_LP1、2分别分配两个虚拟装载台V-LP1、2和V-LP3、4。而且，虚拟装载台控制装置19使自动物料搬运系统7和主计算机9将四个虚拟装载台V-LP1、2、3、4视为四个物理装载台。因此，能够以存在比真实的物理装载台的个数更多的装载台的方式搬运F0UP3，能够虚拟地増加装载台的个数。其结果，不仅能控制装置成本，还能够提高F0UP3的搬运效率。本发明不限于上述实施方式，还能够如下述那样进行变形。 (I)在上述的实施例中，对ー个物理装载台R-LPl分配了两个虚拟装载台V-LPI、
2。本发明不限定于此。例如，还可以对ー个物理装载台R-LPl分配三个以上的虚拟装载台。(2)在上述的实施例中，对ー个物理装载台R-LPl分配了两个虚拟装载台V-LPI、
2、对于另ー个物理装载台R-LP2分配了虚拟装载台V-LP3、4，并将这些虚拟装载台分配为用于搬入或者用于搬出。本发明除此以外，还可以将分配给ー个物理装载台的两个虚拟装载台中的ー个虚拟装载台用于搬入，将另ー个虚拟装载台用于搬出。另外，还可以仅对搬入用或搬出用的物理装载台分配虚拟装载台。(3)在上述的实施例中，经由设定部35固定地设定存储在转换表存储部33中的转换表，但还能够根据状况适当地改写转换表，来动态地改变虚拟装载台使用与否的情况，或者动态地改变虚拟装载台的分配的情況。因此，能够根据基板处理系统I的状况灵活地运用。例如，在想要快速搬入时，可以增加分配给用于搬入的虚拟装载台。(4)在上述的实施例中，列举了自动物料搬运系统7具有0HT17的情况，还可以采用 AGV (Automatic Guided Vehicle)取而代之。(5)在上述实施方式中，在通常的基板处理装置与主计算机9及自动物料搬运系统7之间追加插入虚拟装载台控制装置19，通过在通常的基板处理装置或者在エ厂等已经设置的已有的基板处理装置上追加本发明的虚拟装载台控制装置19，来提高FOUP的搬运效率的结构，但不限于此，例如，还可以事先将具有装载台控制装置20和虚拟装载台控制装置19双方的功能的一个控制装置组装到基板处理装置5中。另外，还可以使虚拟装载台控制装置19与基板处理装置5独立，将虚拟装载台控制装置19设置在主计算机9与自动物料搬运系统7之间。另外，还可以将虚拟装载台控制装置19的功能嵌入到主计算机9形成一体化。(6)根据上述实施方式，在对基板处理装置5进行F0UP3搬入和搬出的两个阶段中，两个0HT17同时对于两个虚拟装载台进行搬运动作。例如，在搬入时，在内部缓冲部15有足够的空余容量的情况下有效，在搬出时，在内部缓冲部15容纳了足够多的要搬出的FOUP的情况下有效。假设在搬入时，在内部缓冲部15仅有容纳ー个FOUP的空余容量的情况下，如果两个0HT17同时对于两个虚拟装载台进行搬运动作，则即使想向基板处理装置5搬入搬送来的F0UP，在内部缓冲部15也没有能够容纳的空间，从而使0HT17在基板处理装置5前长时间等待。另外，假设在搬出时，在内部缓冲部15内仅容纳了ー个FOUP的情况下，如果两个0HT17同时对两个虚拟装载台进行搬运动作，则即使第二个0HT17到达基板处理装置5，由于不存在该第二个0HT17要搬出的FOUP，从而使0HT17在基板处理装置5前长时间等待。因此，优选考虑内部缓冲部15的状态，在判断或者确认为内部缓冲部15有足够空余容量的情况，或者在内部缓冲部15内容纳了足够多的要搬出的FOUP的情况，通过虚拟装载台控制装置19向主计算机9发出“能够搬入”或者“能够搬出”的通知。只要虚拟装载台控制装置19从装载台管理部23直接接收或者经由主计算机对应控制部21接收由装载 台管理部23识别的内部缓冲部15的状态，就能够进行上述判断或者确认。本发明能够在不脱离其思想或本质的情况下以其他的具体方式实施，因而并不是由以上的说明来确定发明的保护范围，而应该參照附加的权利要求书来确定发明的保护范围。
权利要求
1.ー种基板处理系统的控制装置， 该基板处理系统具有 基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器， 自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作； 所述基板处理系统的控制装置的特征在于，具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。
2.ー种基板处理方法，利用基板处理系统来进行基板处理， 该基板处理系统具有 基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器， 自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作； 所述基板处理方法的特征在于，包括以下步骤对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。
3.一种基板处理系统， 具有 基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器， 自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作； 其特征在于，具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。
4.ー种基板处理系统的运用方法， 该基板处理系统具有 基板处理装置，其具有物理装载台和物理装载台控制装置，所述物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器，所述物理装载台控制装置用于控制所述物理装载台的动作， 自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作； 所述基板处理系统的运用方法的特征在于，包括使虚拟装载台控制装置位于所述物理装载台控制装置和所述自动物料搬运系统之间的步骤， 所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。
5.如权利要求4所述的基板处理系统的运用方法，其特征在干，所述虚拟装载台控制装置执行如下的步骤 将从所述物理装载台控制装置向自动物料搬运系统发送的信号转换为从所述虚拟装载台发送的信号并发送给所述自动物料搬运系统； 将从所述自动物料搬运系统向所述虚拟装载台发送的信号转换为向所述物理装载台发送的信号并发送给所述物理装载台控制装置。
6.如权利要求I所述的基板处理系统的控制装置，其特征在干， 所述虚拟装载台控制装置对ー个所述物理装载台分配多个虚拟装载台。
7.如权利要求I所述的基板处理系统的控制装置，其特征在干， 所述虚拟装载台控制装置向所述虚拟装载台发出的进行搬运动作的指示，为搬运到分配有该虚拟装载台的物理装载台的所在场所的搬运动作的指令。
8.一种装载台控制装置，用于控制基板处理系统的装载台，该基板处理系统具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机； 所述基板处理装置具有 基板处理单元，其对基板进行规定的处理， 装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，所述装载台与所述基板处理单元交接容纳器， 内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，该内部缓冲部与所述基板 处理单元交接基板，该内部缓冲部与所述装载台交接容纳器，而且用于容置已交接的容纳器， 所述自动物料搬运系统与所述装载台交接容纳器， 所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器； 所述装载台控制装置的特征在于，具有虚拟装载台管理部，所述虚拟装载台管理部对所述物理装载台分配多个虚拟装载台，并且使所述自动物料搬运系统和所述主计算机将所述多个虚拟装载台视为多个物理装载台。
9.如权利要求8所述的装载台控制装置，其特征在干， 所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表， 在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬入的装载台的情况下， (Al)所述虚拟装载台管理部向所述主计算机通知是否能够向所述多个虚拟装载台中的每个虚拟装载台进行搬入动作， (A2)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于将容纳器搬入到所述多个虚拟装载台中的任一个虚拟装载台的指示， (A3)为了将容纳器搬运到被指示的ー个虚拟装载台，所述自动物料搬运系统在保持容置器的状态下向所述基板处理装置移动， (A4)为了开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器，所述自动物料搬运系统向所述虚拟装载台管理部发出向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器的通知， (A5)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表来将所述一个虚拟装载台与ー个物理装载台建立对应关系， (A6)所述虚拟装载台管理部向所述主计算机通知已经开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器， (A7)所述虚拟装载台管理部接收向所述ー个虚拟装载台搬入的通知，向所述自动物料搬运系统发出搬入请求， (AS)所述自动物料搬运系统向分配有所述ー个虚拟装载台的物理装载台搬运容纳器， (A9)所述基板处理装置将搬入到所述ー个虚拟装载台的容纳器搬运到所述内部缓冲部，(AlO)所述虚拟装载台管理部在所述搬入过程中向所述计算机通知向所述ー个虚拟装载台的搬入状况时，从所述自动物料搬运系统为了搬运被指示的一个容纳器而开始向所述基板处理装置移动的时间点到将被指示的一个容纳器载置到与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台之前，向所述主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入； 并且在从与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台开始向所述内部缓冲部搬运容纳器的时间点，向所述主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入。
10.如权利要求8所述的装载台控制装置，其特征在干， 所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表， 在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬出的装载台的情况下， (BI)所述主计算机指示所述基板处理装置向多个虚拟装载台中的任一个虚拟装载台送出被指示的容纳器， (B2)所述基板处理装置在能够将被指示的容纳器送出到所述ー个虚拟装载台时通知所述主计算机能够搬出， (B3)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于搬运被指示的容纳器的指示， (B4 )所述自动物料搬运系统向具有被指示的容纳器的所述基板处理装置移动， (B5)所述自动物料搬运系统指示所述虚拟装载台管理部向所述ー个虚拟装载台送出容纳器，以便从所述ー个虚拟装载台搬出被指示的容纳器， (B6)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表来将所述ー个虚拟装载台与ー个物理装载台建立对应关系， (B7)所述基板处理装置向所述主计算机通知已经开始将被指示的容纳器向所述ー个虚拟装载台送出， (B8)所述基板处理装置向分配有所述ー个虚拟装载台的物理装载台送出被指示的容纳器， (B9)所述基板处理装置向所述自动物料搬运系统发出搬出请求的通知， (BlO)所述自动物料搬运系统从所述ー个虚拟装载台搬出所述容纳器， (Bll)所述虚拟装载台管理部在所述搬出过程中向所述主计算机通知从所述一个虚拟装载台的搬出状况时，除了在特定期间以外，向主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬出， 所述特定期间是指，从将被指示的容纳器从所述内部缓冲部送出到与所述ー个虚拟装载台对应的所述物理装载台的时间点到所述自动物料搬运系统从所述物理装载台开始搬出所述容纳器的时间点为止的期间。
11.如权利要求8或9所述的装载台控制装置，其特征在于，所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为仅用于搬入。
12.如权利要求8或10所述的装载台控制装置，其特征在于，所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为仅用于搬出。
13.如权利要求8所述的装载台控制装置，其特征在于，所述虚拟装载台管理部将所述多个虚拟装载台设定为用于搬入或者用于搬出。
14.ー种基板处理系统，用于处理基板，其特征在于，具有基板处理装置、自动物料搬运系统、主计算机、装载台控制装置， 所述基板处理装置具有 基板处理单元，其对基板进行规定的处理， 装载台，其具有用以载置用于容纳基板的容纳器的物理装载台，所述装载台与所述基板处理单元交接容纳器， 内部缓冲部，其位于所述基板处理单元与所述装载台之间，该内部缓冲部与所述基板处理单元交接基板，该内部缓冲部与所述装载台交接容纳器，而且用于容置已交接的容纳器， 所述自动物料搬运系统与所述装载台交接容纳器， 所述主计算机与所述基板处理装置及所述自动物料搬运系统进行通信，根据所述基板处理装置的状况来指示所述自动物料搬运系统搬运容纳器； 所述装载台控制装置具有虚拟装载台管理部，所述虚拟装载台管理部对所述物理装载台分配多个虚拟装载台，并且使所述自动物料搬运系统和所述主计算机将所述多个虚拟装载台视为多个物理装载台。
15.如权利要求14所述的基板处理系统，其特征在干， 所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表， 在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬入的装载台的情况下， (Al)所述虚拟装载台管理部向所述主计算机通知是否能够向所述多个虚拟装载台中的每个虚拟装载台进行搬入动作， (A2)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于将容纳器搬入到所述多个虚拟装载台中的任一个虚拟装载台的指示， (A3)为了将容纳器搬运到被指示的ー个虚拟装载台，所述自动物料搬运系统在保持容置器的状态下向所述基板处理装置移动， (A4)为了开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器，所述自动物料搬运系统向所述虚拟装载台管理部发出向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器的通知， (A5)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表来将所述一个虚拟装载台与ー个物理装载台建立对应关系， (A6)所述虚拟装载台管理部向所述主计算机通知已经开始向所述ー个虚拟装载台搬入容纳器， (A7)所述虚拟装载台管理部接收向所述ー个虚拟装载台搬入的通知，向所述自动物料搬运系统发出搬入请求， (AS)所述自动物料搬运系统向分配有所述ー个虚拟装载台的物理装载台搬运容纳器， (A9)所述基板处理装置将搬入到所述ー个虚拟装载台的容纳器搬运到所述内部缓冲部， (AlO)所述虚拟装载台管理部在所述搬入过程中向所述计算机通知向所述ー个虚拟装载台的搬入状况时，从所述自动物料搬运系统为了搬运被指示的一个容纳器而开始向所述基板处理装置移动的时间点到将被指示的一个容纳器载置到与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台之前，向所述主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入； 并且在从与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台开始向所述内部缓冲部搬运容纳器的时间点，向所述主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬入。
16.如权利要求14所述的基板处理系统，其特征在干， 所述虚拟装载台管理部具有用于规定所述多个虚拟装载台与所述物理装载台之间的对应关系的转换表， 在将所述多个虚拟装载台设定为用于搬出的装载台的情况下， (BI)所述主计算机指示所述基板处理装置向多个虚拟装载台中的任一个虚拟装载台·送出被指示的容纳器， (B2)所述基板处理装置在能够将被指示的容纳器送出到所述ー个虚拟装载台时通知所述主计算机能够搬出， (B3)所述主计算机向所述自动物料搬运系统发出用于搬运被指示的容纳器的指示， (B4)所述自动物料搬运系统向具有被指示的容纳器的所述基板处理装置移动， (B5)所述自动物料搬运系统指示所述虚拟装载台管理部向所述ー个虚拟装载台送出容纳器，以便从所述ー个虚拟装载台搬出被指示的容纳器， (B6)所述虚拟装载台管理部基于所述转换表来将所述一个虚拟装载台与ー个物理装载台建立对应关系， (B7)所述基板处理装置向所述主计算机通知已经开始将被指示的容纳器向所述ー个虚拟装载台送出， (B8)所述基板处理装置向分配有所述ー个虚拟装载台的物理装载台送出被指示的容纳器， (B9)所述基板处理装置向所述自动物料搬运系统发出搬出请求的通知， (BlO)所述自动物料搬运系统从所述ー个虚拟装载台搬出所述容纳器， (Bll)所述虚拟装载台管理部在所述搬出过程中向所述主计算机通知从所述一个虚拟装载台的搬出状况时，除了在特定期间以外，向主计算机通知分配给与所述ー个虚拟装载台对应的物理装载台的另ー个虚拟装载台能够用于搬出， 所述特定期间是指，从将被指示的容纳器从所述内部缓冲部送出到与所述ー个虚拟装载台对应的所述物理装载台的时间点到所述自动物料搬运系统从所述物理装载台开始搬出所述容纳器的时间点为止的期间。
全文摘要
一种基板处理系统的控制装置，该基板处理系统，具有基板处理装置，其具有物理装载台，该物理装载台用以载置用于容纳基板的容纳器；自动物料搬运系统，其搬运所述容纳器，相对于所述物理装载台进行搬运动作，所述基板处理系统的控制装置具有虚拟装载台控制装置，所述虚拟装载台控制装置对所述物理装载台分配虚拟装载台，并且将所述虚拟装载台视为实际存在的装载台，来指示所述自动物料搬运系统相对于该虚拟装载台进行搬运动作。
文档编号H01L21/677GK102867763SQ20121023196
公开日2013年1月9日 申请日期2012年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者柴田英树 申请人:大日本网屏制造株式会社