一种基于SOI衬底的应变SiGe平面Si基BiCMOS集成器件及制备方法技术资料下载

技术编号:7103798

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本发明属于半导体集成电路,尤其涉及。背景技术半导体集成电路技术是高科技和信息产业的核心技术,已成为衡量一个国家科学技术水平、综合国力和国防力量的重要标志,而以集成电路为代表的微电子技术则是半导体技术的关键。半导体产业是国家的基础性产业,其之所以发展得如此之快,除了技术本身对经济发展的巨大贡献之外,还与它广泛的应用性有关。 英特尔(Intel)创始人之一戈登 摩尔(Gordon Moore)于1965年提出了 “摩尔定律”,该定理指出集成电路芯片上的晶体管数...
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