技术编号：7105188
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体，特别是涉及一种利用双面图形化蓝宝石衬底来提高AlGaN基紫外LED发光效率的方法。背景技术紫外发光二极管(LED)是一种在电流驱动下发射紫外波段的半导体器件。研究、开发该类器件成为当前宽禁带半导体光电子器件领域的一个焦点，也是利用宽禁带半导体材料实现紫外光源的一个研究热点。目前，常用的紫外光源有汞灯、氙灯、荧光灯。但是这些灯体积大、工作电压高而且不是很环保，从而使用起来不是很方便。与之相反，AlGaN基紫外LED是一种半导体固体光源，具有...
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