技术编号:7105481
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板表面处理系统及一种基板表面处理方法,更具体而言,涉及一种具有紧凑结构的基板表面处理系统及一种基板表面处理方法。背景技术在用于形成有机发光显示元件或液晶显示元件的基板上形成有包括多个薄膜晶体管(thin-film transistor, TFT)的驱动兀件。为形成此种驱动元件,在基板上形成硅膜,例如多晶硅膜 。多晶硅膜是通过以结晶工艺(例如ELA)使非晶硅膜结晶而形成。多晶硅膜被图案化,以用作TFT的有源层(activelayer)。然而,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。