技术编号:7114097
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种电池背刻滚轮。背景技术在电池片清洗机背面蚀刻时,电池背刻滚轮携带药液对硅片进行背面蚀刻。目前已有的两种滚轮技术分为 I、横向槽滚轮滚轮上刻槽方向和滚轮轴向方向一致,和硅片前进方向垂直;2、竖向槽滚轮滚轮上刻槽方向和滚轮轴向方向垂直,和硅片前进方向一致;此两种技术的滚轮在蚀刻时都对硅片同一个方向进行蚀刻,导致蚀刻不均匀。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种电池背刻滚轮,提高药液蚀刻时的均匀性及蚀刻量。本实用新型解决其技术问题所...
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