专利名称：电池背刻滚轮的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电池背刻滚轮。
背景技术：
在电池片清洗机背面蚀刻时，电池背刻滚轮携带药液对硅片进行背面蚀刻。目前已有的两种滚轮技术分为 I、横向槽滚轮滚轮上刻槽方向和滚轮轴向方向一致，和硅片前进方向垂直；2、竖向槽滚轮滚轮上刻槽方向和滚轮轴向方向垂直，和硅片前进方向一致；此两种技术的滚轮在蚀刻时都对硅片同一个方向进行蚀刻，导致蚀刻不均匀。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种电池背刻滚轮，提高药液蚀刻时的均匀性及蚀刻量。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种电池背刻滚轮，在滚轮表面密布蜂窝状凹槽。蜂窝状凹槽的形状为等边六边形、边长0. 4-0. 6mm,深度0. 7-0. 9mm。本实用新型的有益效果是对滚轮表面进行刻槽，刻出后蜂窝状凹槽后，滚轮所携带的药液比已有的横向槽滚轮及竖向槽滚轮携带更多的药液，使药液蚀刻时更加均匀及蚀
刻量更高。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进一步说明；图I是本实用新型的结构示意图；图2是本实用新型的使用状态图；图中，I.蜂窝状凹槽。
具体实施方式
如图I所示，一种电池背刻滚轮，在滚轮表面密布蜂窝状凹槽I。图I中为清晰的显示凹槽的结构，蜂窝状凹槽I已放大显示。蜂窝状凹槽I的形状为等边六边形、边长为0.4-0. 6mm，最优为0.5mm，深度
0.7-0. 9mm，最优为0. 8mm，两个蜂窝状凹槽I的间距为0. 3mm，如此设计，即可保障本电池背刻滚轮上有足够多的蜂窝状凹槽I吸取药液，也保障液体不会因为表面张力而进入不到蜂窝状凹槽I中如图2所示，电池片在本电池背刻滚轮上滚动时，药液在本电池背刻滚轮的蜂窝状凹槽I中被带到电池片下边，从而蚀刻电池片。
权利要求1.一种电池背刻滚轮，其特征是在所述的滚轮表面密布蜂窝状凹槽(I)。
2.根据权利要求I所述的电池背刻滚轮，其特征是所述的蜂窝状凹槽(I)的形状为等边六边形、边长O. 4-0. 6mm,深度O. 7-0. 9mm。
专利摘要本实用新型涉及一种电池背刻滚轮，在滚轮表面密布蜂窝状凹槽。蜂窝状凹槽的形状为等边六边形、边长0.4-0.6mm，深度0.7-0.9mm。本实用新型的有益效果是对滚轮表面进行刻槽，刻出后蜂窝状凹槽后，滚轮所携带的药液比已有的横向槽滚轮及竖向槽滚轮携带更多的药液，使药液蚀刻时更加均匀及蚀刻量更高。
文档编号H01L31/18GK202585506SQ201220152708
公开日2012年12月5日 申请日期2012年4月11日 优先权日2012年4月11日
发明者卫志敏, 杨延德 申请人:常州天合光能有限公司