技术编号:7117556
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及LED照明应用领域,尤其是一种蓝宝石衬底晶片。背景技术LED照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于生产的衬底有蓝宝石A1203衬底、碳化硅SiC衬底以及Si衬底。随着以蓝宝石为衬底的高亮度LED的应用范围越来越广,白光LED进入家庭将逐步取代传统照明。蓝宝石衬底的衬底倒角多数沿用半导体行业的R形倒角,在后续研磨抛光过程中易出现塌边现象,且在研磨抛光过程中,磨料不易运动到衬底表面,加工效率不高实用新型内容 本实用新型要解决的技术问题是提供...
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