技术编号:7117757
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种安放装置,具体涉及一种舟托。背景技术现在,在半导体芯片(主要是石英芯片)的生产过程中,扩散工序需要用到石英舟或碳化硅舟进、出炉的工装夹具,一般石英舟或碳化硅舟的存放处为石英管或碳化硅管或操作箱内,在石英舟或碳化硅舟的传递过程中所用的舟托的材质为不锈钢,这样的话会导致在石英舟或碳化硅舟传递过程中造成石英舟或碳化硅舟金属离子的沾污,从而导致系统的沾污,影响制作产品的电参数,还存在不易拿取的问题。市场上的一些石英舟托的使用面也是矩形面,所以在使...
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