专利名称：一种新型防掉落舟托的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种安放装置，具体涉及一种舟托。
背景技术：
现在，在半导体芯片(主要是石英芯片)的生产过程中，扩散工序需要用到石英舟或碳化硅舟进、出炉的工装夹具，一般石英舟或碳化硅舟的存放处为石英管或碳化硅管或操作箱内，在石英舟或碳化硅舟的传递过程中所用的舟托的材质为不锈钢，这样的话会导致在石英舟或碳化硅舟传递过程中造成石英舟或碳化硅舟金属离子的沾污，从而导致系统的沾污，影响制作产品的电参数，还存在不易拿取的问题。市场上的一些石英舟托的使用面也是矩形面，所以在使用过程中，会产生掉落现象，从而影响产品质量。
发明内容发明目的本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构简单，防掉落的新型舟托。技术方案为了解决上述技术问题，本实用新型所述的一种新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面，在所述矩形舟托底面上部设有四根连接柱，在所述连接柱上设有弧形舟托使用面，在所述弧形舟托使用面两端设有开口的挡板。所述矩形舟托底面、连接柱、弧形舟托使用面和挡板都是采用石英材质。有益效果本实用新型与现有技术相比，其显著优点是本实用新型舟托结构设计合理，实用性强，可防掉落，所运用的材质均为石英，便于清洗，可以最大程度的减少石英舟或碳化硅舟在传递或存放过程中所导致的沾污。
图I为本实用新型的结构示意图。其中I、矩形舟托底面；2、连接柱；3、弧形舟托使用面；4、挡板。
具体实施例
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。如图I所示，本实用新型所述的一种新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面1，在所述矩形舟托底面I上部设有四根连接柱2，在所述连接柱2上设有弧形舟托使用面3，在所述弧形舟托使用面3两端设有开口的挡板4 ;所述矩形舟托底面I、连接柱2、弧形舟托使用面3和挡板4都是采用石英材质。本实用新型结构设计合理，实用性强，可防掉落，所运用的材质均为石英，便于清洗，可以最大程度的减少石英舟或碳化硅舟在传递或存放过程中所导致的沾污。 本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
权利要求1.一种新型防掉落舟托，其特征在于它包括矩形舟托底面(I)，在所述矩形舟托底面(I)上部设有四根连接柱(2 )，在所述连接柱(2 )上设有弧形舟托使用面(3 )，在所述弧形舟托使用面(3 )两端设有开口的挡板(4 )。
2.根据权利要求I所述的新型防掉落舟托，其特征在于所述矩形舟托底面(I)、连接柱(2 )、弧形舟托使用面(3 )和挡板(4 )都是采用石英材质。
专利摘要本实用新型涉及一种新型防掉落舟托，它包括矩形舟托底面，在所述矩形舟托底面上部设有四根连接柱，在所述连接柱上设有弧形舟托使用面，在所述弧形舟托使用面两端设有开口的挡板。本实用新型结构简单，防掉落。
文档编号H01L21/677GK202712140SQ20122021428
公开日2013年1月30日 申请日期2012年5月14日 优先权日2012年5月14日
发明者孙东芹 申请人:太仓子午电气有限公司