技术编号:7124821
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体装置,特别涉及一种具有由多晶硅膜构成的电阻元件的半导体装置。背景技术 作为装在半导体装置内部的电阻元件,现在,由多晶硅膜构成的电阻元件被广泛使用。这是因为具有由多晶硅膜形成电阻元件的工序与其他半导体装置的制造程序的兼容性良好,以及由多晶硅膜构成的电阻元件的偏置依存性小等优点。一般的,用于电阻元件的多晶硅膜,与作为晶体管的栅电极使用的多晶硅膜同时形成。因此,将由多晶硅膜构成的电阻元件设置于在半导体基板上划定元件区域的元件分离绝缘膜上或栅极...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。