技术编号:7126245
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石墨框承载装置,具体应用于太阳能电池生产过程中PECVD设备上使用的石墨框。背景技术常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。因此,太阳能电池得到了世界各国的重视,目前也已经取得了极大的发展。现有技术中,在太阳能电池的制备过程中,一般需要对硅片进行镀减反射膜的步骤。目前,氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜,同时它也起到表面钝化和 体内钝化的作用,以提高太阳能电池的转换效...
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