专利名称：一种石墨框承载装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石墨框承载装置，具体应用于太阳能电池生产过程中PECVD设备上使用的石墨框。
背景技术：
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。因此，太阳能电池得到了世界各国的重视，目前也已经取得了极大的发展。现有技术中，在太阳能电池的制备过程中，一般需要对硅片进行镀减反射膜的步骤。目前，氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜，同时它也起到表面钝化和 体内钝化的作用，以提高太阳能电池的转换效率。现有技术中，制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法，如可以采用德国R0TH&RAU公司的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中，需要使用一种承载硅片的石墨框。现有的石墨框呈网状结构，其网格的尺寸要比要承载的硅片尺寸略大一些，在网格的四边上均匀分布有多个挂钩，用来承载硅片，以防止硅片掉下去。由于目前硅片的尺寸以156型(156X 156mm)为主，因此现有的石墨框的网格尺寸一般都是固定的，即都是配合156型硅片来设计的。然而，对于技术人员而言，在研究氮化硅薄膜特性的过程中，经常会使用到一些抛光片和石英片，以进行一些仪器测试。但目前市场上并没有与156型硅片尺寸相同的抛光片和石英片(目前市场上的抛光片以圆形为主，尺寸一般有2寸及以上)，即现有的抛光片和石英片与石墨框上的网格形状和尺寸不一致，因此无法直接采用现有的石墨框进行实验研究。针对上述问题，现有的方法是定做抛光片和石英片，但是定做的费用非常昂贵，而且如果购买量少的情况下，一般供应商也不肯做；同时，大尺寸的抛光片和石英片本身就非常贵；从而大大提高了研发成本。
发明内容本实用新型目的是提供一种石墨框承载装置。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种石墨框承载装置，包括承载板本体和至少2个挂钩；所述承载板本体的四周与石墨框的网格配合，承载板本体上设有通孔；通孔的内边上均匀分布有所述挂钩。上文中，所述承载板本体的四周与石墨框的网格配合，是指承载板本体的大小尺寸与石墨框的网格配合，优选与156型娃片的外形尺寸相同，以便于承载板本体放入石墨框的网格内。所述承载板本体上设有通孔，通孔的内边上均匀分布有挂钩，其作用是承载抛光片和石英片，以进行相关实验；通孔的大小和形状应该根据实际情况设置，优选与市售的抛光片或石英片产品的大小相同，以便于直接应用。所述通孔的内边是指通孔的内框周边，其可以是圆形周边或正方形周边。当然，石英片也可以通过玻璃刀切割成小的，减少在实验过程中的消耗。使用时，将石墨框承载装置放置于石墨框的网格里，让其在腔体里空跑几圈，使其均匀受热，接着，只要将实验样片(如抛光片和石英片)放在石墨框承载装置的通孔里，按正常镀膜流程，所镀的氮化硅膜可以满足仪器的测试要求，就可以研究氮化硅膜的一些特性。拿走本实用新型的石墨框承载装置就可以恢复原来石墨框的网格，产线就可以正常生产，不会耽误生产产量。所述石墨框承载装置所用材料可以是制备石墨框时切割石墨框网格的方形石墨纤维块，该石墨纤维块本身没有利用价值，因此，用此石墨纤维块加工本实用新型石墨框承载装置，只需加工成本，成本非常低。 优选的技术方案，所述通孔与承载板本体为同心结构。上述技术方案中，所述通孔呈圆形或正方形。优选的技术方案，所述挂钩为4个，周向均匀分布于所述通孔的内边上。上述技术方案中，所述承载板本体的四角设有倒角。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是I、本实用新型设计得到了一种新的石墨框承载装置，承载板本体上设有通孔，专门用来放置实验样片(如抛光片和石英片)，从而满足对氮化硅薄膜特性的研究。2.本实用新型的石墨框承载装置不需要改变原来石墨框的尺寸大小就可以生产通常实验室用的样片，满足仪器测试的要求，成本较低；而且，拿走石墨框承载装置就可以恢复原来石墨框的网格，产线就可以正常生产，不会耽误生产产量。3、本实用新型结构简单，便于制备，适用性强。
图I是本实用新型实施例一中石墨框的网格的结构示意图；图2是本实用新型实施例一的结构示意图；图3是本实用新型实施例一安装在石墨框网格里的组装结构示意图；图4是本实用新型实施例二的结构示意图。其中11、网格；12、挂钩；13、承载板本体；14、通孔。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一参见图2 3所示，一种石墨框承载装置，包括承载板本体13和挂钩12，承载板本体13的外边框的尺寸与石墨框的网格11内边尺寸一致，同时在承载板本体13的外边框的四个角设计成倒角形式，因为石墨框的网格形状有正方形也有四个角带倒角的网格，这样承载板本体13的通用性比较强，在本实用新型中是网格11形状是正方形；承载板本体13上还有个通孔14，其中心与石墨框的网格中心同心，其形状和尺寸与所要承载的圆形抛光片寸尺寸一致。挂钩12有4个，对称均匀分布在通孔内边，这样承载的试验样片比较稳定，不会掉在PECVD腔体里。图I是石墨框的一个正方形网格的结构示意图。如图3所示，将本实用新型的石墨框承载装置放置于石墨框的网格11里。使用时，让它和石墨框一起在腔体里空跑几圈，让其均匀受热，接着只要将抛光片放在通孔14里，按正常镀膜流程，所镀的氮化硅膜可以满足仪器的测试要求，可以研究氮化硅膜的一些特性。最后拿走石墨框承载装 置就可以恢复原来石墨框的网格，就可以正常产线生产，不会耽误生产产量。实施例二参见图4所示，一种石墨框承载装置，包括承载板本体13和8个挂钩12 ;所述承载板本体的四周与石墨框的网格11配合，承载板本体上设有通孔14 ;通孔的内边上均匀对称分布有所述挂钩。所述通孔与承载板本体为同心结构。所述通孔呈正方形。所述挂钩为8个，周向均匀分布于所述通孔的内边上。所述承载板本体的四角设有倒角。
权利要求1.ー种石墨框承载装置，其特征在干包括承载板本体(13)和至少2个挂钩(12);所述承载板本体的四周与石墨框的网格(11)配合，承载板本体上设有通孔(14);通孔的内边上均匀分布有所述挂钩。
2.根据权利要求I所述的石墨框承载装置，其特征在于所述通孔与承载板本体为同心结构。
3.根据权利要求I所述的石墨框承载装置，其特征在于所述通孔呈圆形或正方形。
4.根据权利要求I所述的石墨框承载装置，其特征在于所述挂钩为4个，周向均匀分布于所述通孔的内边上。
5.根据权利要求I所述的石墨框承载装置，其特征在于所述承载板本体的四角设有倒角。
专利摘要本实用新型公开了一种石墨框承载装置，包括承载板本体和至少2个挂钩；所述承载板本体的四周与石墨框的网格配合，承载板本体上设有通孔；通孔的内边上均匀分布有所述挂钩。本实用新型设计得到了一种新的石墨框承载装置，承载板本体上设有通孔，专门用来放置实验样片(如抛光片和石英片)，从而满足对氮化硅薄膜特性的研究。
文档编号H01L21/673GK202758857SQ201220367380
公开日2013年2月27日 申请日期2012年7月27日 优先权日2012年7月27日
发明者张春华, 周剑, 向宏伟, 李栋, 高文丽, 孟祥熙, 辛国军 申请人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司, 阿特斯(中国)投资有限公司