技术编号:7126840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶体硅太阳能电池,具体涉及一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉。背景技术扩散工序在晶体硅太阳能生产过程中形成PN结的工段,其主要原理是在含硼的高纯硅基体上沉积一层磷原子的过程。该工序要求洁净度高,所用工装夹具不能被金属离子或粉尘污染,其中包括作为硅片载体的石英舟亦是如此。石英舟作为硅片的载体将硅片支撑与垂直方向呈5°的倾斜角放入高温扩散炉(> 600°C)内沉积磷原子,以形成PN结。目前大多厂家选择小石英舟用于生产,但在运转小石英...
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