专利名称：用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池技术领域，具体涉及一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉。
背景技术：
扩散工序在晶体硅太阳能生产过程中形成PN结的工段，其主要原理是在含硼的高纯硅基体上沉积一层磷原子的过程。该工序要求洁净度高，所用工装夹具不能被金属离子或粉尘污染，其中包括作为硅片载体的石英舟亦是如此。石英舟作为硅片的载体将硅片支撑与垂直方向呈5°的倾斜角放入高温扩散炉(> 600°C)内沉积磷原子，以形成PN结。目前大多厂家选择小石英舟用于生产，但在运转小石英舟时，为避免污染石英舟，需有种运转石英舟的石英舟叉。目前扩散工序使用的石英舟叉结构复杂，损坏其中一个部件时即将整个石英舟叉报废，生产成本高。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、便于操作、成本低的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉。为解决上述问题，本实用新型提供一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，该石英舟叉包括底板、用于固定石英舟的U形挡板，所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板和右侧用于手握的握杆，所述挡板与握杆连接且挡板的两侧支脚朝向底板的平板。U形挡板即挡板的形状为U形，即挡板的两端有两个伸出的支脚，在使用过程中石英舟侧面垂直的支杆可以被夹在挡板的两支脚之间从而实现从两侧对石英舟进行固定。挡板的两支脚长度根据石英舟侧面两支杆间距决定。采用以上结构后，本实用新型与现有技术相比，具有以下优点本实用新型用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉包括底板和挡板，底板包括平板和握杆，挡板和握杆之间连接。使用的时候，手握住握杆，利用底板的平板铲起放置在平面上的石英舟，平板从底部支撑石英舟的重量，挡板从侧向固定住石英舟，该石英舟叉结构简单，使用非常方便。而当其中一块底板或挡板损坏时，只要更换该底板或挡板即可，减少了石英舟叉的更换成本,这也相对使该石英舟叉成本降低。所述挡板中间设置有一刚好卡于握杆的缺口，所述挡板和握杆在缺口处通过螺钉进行连接。该缺口可以让挡板和握杆之间更好地通过螺钉结合与固定起来，使挡板和握杆之间的结合更为牢固。所述平板与握杆之间为一体成型。一体成型的结构方便制作，且平板与握杆之间的连接也更为牢固。所述底板和挡板的材料均为塑料，进一步优选为玻璃纤维增强PEEK复合材料。该材料使底板和挡板耐热性高、不易变形，且质量轻、成本低。所述平板的左侧沿平板长度方向设置有一延伸板，所述延伸板的厚度小于平板的厚度，所述延伸板和平板之间为一体成型。延伸板的设置使得铲起放置在平面上的石英舟时更为容易和方便。所述平板在长度方向上设置有用于卡住石英舟底部支杆的卡槽。该卡槽从底部卡住石英舟，有固定作用，使石英舟不易从石英舟叉掉落。
图I所示的是本实用新型用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉的结构示意图；图2所示的是本实用新型用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉的底板的结构示意图；图3所示的是本实用新型用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉的挡板的结构示意图。 其中1、挡板；2、平板；3、握杆；4、支脚；5、缺口 ；6、螺钉；7、延伸板；8、卡槽。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详述。如图I、图2、图3所示，本实用新型用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉包括底板、用于固定石英舟的U形挡板I。所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板2和右侧用于手握的握杆3。所述平板2与握杆3之间为一体成型。所述平板2的左侧沿平板2长度方向设置有一延伸板7，所述延伸板7的厚度小于平板2的厚度，所述延伸板7和平板2之间为一体成型。所述底板及与之一体成型的延伸板7的材料为塑料，进一步优选为玻璃纤维增强PEEK复合材料。所述平板2在长度方向上设置有用于卡住石英舟底部支杆的卡槽8。所述U形挡板I即挡板I的形状为U形，即挡板I的两端有两个伸出的支脚4，挡板I的两支脚4长度根据石英舟侧面两支杆间距决定。所述挡板I的材料为塑料，进一步优选为玻璃纤维增强PEEK复合材料。所述挡板I与握杆3连接且挡板I的两侧支脚4朝向底板的平板2。所述挡板I中间设置有一刚好卡于握杆3的缺口 5，所述挡板I和握杆3在缺口 5处通过螺钉6进行连接。以上实施例是对本实用新型的说明和进一步解释，而不是对本实用新型的限制，在本实用新型的权利范围内所作的任何修改，都落入本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于包括底板、用于固定石英舟的U形挡板(I)，所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板(2 )和右侧用于手握的握杆(3)，所述挡板(I)与握杆(3)连接且挡板(I)的两侧支脚(4)朝向底板的平板(2)。
2.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述挡板(I)中间设置有一刚好卡于握杆(3)的缺口(5)，所述挡板(I)和握杆(3)在缺口(5 )处通过螺钉(6 )进行连接。
3.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述平板(2 )与握杆(3 )之间为一体成型。
4.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述底板和挡板(I)的材料均为塑料。
5.根据权利要求4所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述底板和挡板(I)的材料均为玻璃纤维增强PEEK复合材料。
6.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述平板(2)的左侧沿平板(2)长度方向设置有一延伸板(7)，所述延伸板(7)的厚度小于平板(2)的厚度，所述延伸板(7)和平板(2)之间为一体成型。
7.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于所述平板(2 )在长度方向上设置有用于卡住石英舟底部支杆的卡槽(8 )。
专利摘要本实用新型提供一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，它包括底板、用于固定石英舟的U形挡板(1)，所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板(2)和右侧用于手握的握杆(3)，所述挡板(1)与握杆(3)连接且挡板(1)的两侧支脚( 4)朝向底板的平板(2)。该用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉结构简单、便于操作、成本低。
文档编号H01L31/18GK202678394SQ201220375859
公开日2013年1月16日 申请日期2012年8月1日 优先权日2012年8月1日
发明者吴艳芬, 詹国平, 余涛, 陈筑, 刘晓巍, 刘伟 申请人:宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司