技术编号:7128319
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种石墨舟片。背景技术太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在娃片表面镀上一层膜。 石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片,然后,将...
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