专利名称：石墨舟片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石墨舟片。
背景技术：
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。 石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟片是组成石墨舟的重要组成部分，是用于固定镀膜硅片的装置。实际工艺中硅片插在石墨舟片上，完成镀膜工艺。现有的石墨舟舟片的硅片定位腔为一个个穿孔，是将石墨片挖空形成的，这样的石墨舟片由于娃片与石墨舟片之间的空隙，存在娃片固定不紧的问题，
实用新型内容本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率闻的石墨舟片。实现本实用新型目的技术方案是一种石墨舟片，包括石墨舟片本体、位于石墨舟片本体中部的娃片定位腔体，固定在每个娃片定位腔体的周边石墨舟工艺钉，所述娃片定位腔的横截面为字母I型。上述石墨舟片，所述硅片定位腔为石墨舟片本体表面的凹腔。上述石墨舟片，所述硅片定位腔在石墨舟片本体正反表面均设有，其为深度为占石墨舟片本体厚度1/5的不贯穿石墨舟本体的凹腔。上述石墨舟片，所述硅片定位腔在石墨舟片本体正反表面均设有，其为深度为O. 5毫米的不贯穿石墨舟本体的凹腔。上述石墨舟片,所述石墨舟片本体单面有硅片定位腔7 13个。上述石墨舟片，所述硅片定位腔水平中心线与水平面形成5 10度的夹角。上述石墨舟片，所述石墨舟工艺钉设置在每个石墨舟本体的凹腔周边，每个凹腔周边有3个石墨舟工艺钉。上述石墨舟片，石墨舟本体的正反面均开有联通硅片定位腔体的凹槽。本实用新型具有积极的效果(1)结构简单；(2)在石墨舟片上开设硅片定位腔体，并在石墨舟片上开槽，硅片镀膜过程中抽真空，使得硅片更加紧密的固定在石墨舟片上；(3)硅片定位腔体与成5 10度的角度，便于硅片的更好的安装和抽取。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图I为本实用新型结构示意图。 其中I石墨舟片本体，2硅片定位腔体，3石墨舟工艺钉，4槽。
具体实施方式
实施例(I)见图1，本实用新型具有石墨舟片本体I、位于石墨舟片本体I中部的硅片定位腔体2，固定在每个硅片定位腔体2的周边石墨舟工艺钉3，所述硅片定位腔体2的横截面为字母I型，在石墨舟片本体I正反表面均设有硅片定位腔体2，其为深度为占石墨舟片本体I厚度1/5的不贯穿石墨舟本体I的凹腔，石墨舟片本体厚度2. 5毫米，硅片定位腔体深度
O.5毫米，整个硅片定位腔体为正方形，数量为正反面各7个。硅片定位腔体2水平中心线与水平面形成5度的夹角；石墨舟工艺钉3设置在每个石墨舟本体I的凹腔周边，每个凹腔周边有3个石墨舟工艺钉3 ;石墨舟本体I的正反面均开有联通硅片定位腔体2的槽4。以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种石墨舟片，包括石墨舟片本体(I)、位于石墨舟片本体(I)中部的硅片定位腔体(2)，固定在每个硅片定位腔体(2)的周边石墨舟工艺钉(3)，其特征在于所述硅片定位腔体(2)的横截面为字母I型。
2.根据权利要求I所述石墨舟片，其特征在于所述硅片定位腔体(2)为石墨舟片本体(I)表面的凹腔。
3.根据权利要求I或2所述石墨舟片，其特征在于在石墨舟片本体(I)正反表面均设有硅片定位腔体(2)，其为深度为占石墨舟片本体(I)厚度1/5的不贯穿石墨舟本体(I)的凹腔。
4.根据权利要求3所述石墨舟片，其特征在于所述硅片定位腔体(2)在石墨舟片本体 (O正反表面均设有，其为深度为O. 5毫米的不贯穿石墨舟本体(I)的凹腔。
5.根据权利要I所述石墨舟片，其特征在于所述石墨舟片本体(I)单面有硅片定位腔体(2) 7 13个。
6.根据权利要求I所述石墨舟片，其特征在于所述硅片定位腔体(2)水平中心线与水平面形成5 10度的夹角。
7.根据权利要求I所述石墨舟片，其特征在于所述石墨舟工艺钉(3)设置在每个石墨舟本体(I)的凹腔周边，每个凹腔周边有3个石墨舟工艺钉(3)。
8.根据权利要求I所述石墨舟片，其特征在于石墨舟本体(I)正反面均开有联通硅片定位腔体(2)的凹槽(4)。
专利摘要一种石墨舟片，包括石墨舟片本体(1)、位于石墨舟片本体(1)中部的硅片定位腔体(2)，固定在每个硅片定位腔体(2)的周边石墨舟工艺钉(3)，其特征在于所述硅片定位腔体(2)的横截面为字母I型。
文档编号H01L21/673GK202796887SQ20122040416
公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月15日 优先权日2012年8月15日
发明者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司