专利名称：石墨舟的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石墨舟。
背景技术：
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定·数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。现有的石墨舟舟片之间间距小，镀成的硅片膜的颜色深浅不一，致使硅片的太阳能转化效率不一，质量受到影响。
实用新型内容本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种能够使硅片的镀膜均匀、太阳能转化效率闻的石墨舟片。实现本实用新型目的技术方案是一种石墨舟，包括石墨舟片、陶瓷杆、石墨舟工艺钉，石墨舟片的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片之间的间距为15mm。上述石墨舟，所述石墨舟片串联在陶瓷杆上。上述石墨舟，所述石墨舟片，每片石墨舟片之间均夹有一个陶瓷圈来控制舟片之间的距离。上述石墨舟，所述陶瓷圈串联在陶瓷杆上。本实用新型具有积极的效果(I)结构简单；(2)合理的石墨舟片的间距，使得硅片的锻I旲均勻，提闻娃片的品质、提闻太阳能转化效率闻。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图I为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的局部放大图。其中I石墨舟片，2陶瓷杆，3石墨舟工艺钉，4陶瓷圈。
具体实施方式
实施例(I)见图1，本实用新型具有石墨舟片I、位于石墨舟上部串联石墨舟片I的陶瓷杆2、固定在石墨舟片上的工艺钉3，石墨舟片I的数量为19片，石墨舟片I之间的间距为15mm，每片石墨舟片I之间均夹有一个陶瓷圈4来控制舟片之间的距离，石墨舟片I串联在陶瓷杆2上。陶瓷圈4串联在陶瓷杆2上，石墨舟片I之间。以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种石墨舟，包括固定在石墨舟底座上的石墨舟片(1)，位于石墨舟上部的陶瓷杆(2)，固定在石墨舟片上的工艺钉(3)，其特征在于石墨舟片(I)的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片(I)之间的间距为15mm。
2.根据权利要求I所述石墨舟，其特征在于所述石墨舟片(I)串联在陶瓷杆(2)上。
3.根据权利要求I所述石墨舟，其特征在于所述石墨舟片(1)，每片石墨舟片(I)之间均夹有一个陶瓷圈(4)来控制舟片之间的距离。
4.根据权利要求3所述石墨舟，其特征在于所述陶瓷圈(4)串联在陶瓷杆(2)上。
专利摘要本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片(1)、陶瓷杆(2)、石墨舟工艺钉(3)，石墨舟片(1)的数量为两片或两片以上，所述石墨舟片(1)之间的间距为15mm，本实用新型结构简单；且合理的石墨舟片的间距，使得硅片的镀膜均匀，提高硅片的品质、提高太阳能转化效率高。
文档编号H01L21/673GK202796886SQ201220404149
公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月15日 优先权日2012年8月15日
发明者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司