技术编号:7132234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体设备,尤其涉及一种基于蓝宝石基板的半导体设备。背景技术目前,大多数的半导体材料主要是外延生长在蓝宝石基板上,在外延生长过程中,容易引起蓝宝石基板的翘曲,严重时,导致蓝宝石基板的破裂,造成后续工艺的复杂,增加了工艺难度,同时,也增加了成本。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种基于蓝宝石基板的半导体设备,旨在解决现有技术半导体材料在外延生长过程中,容易引起蓝宝石基板的翘曲,严重时,导致蓝宝石基板的破裂,造成后续工艺的复杂,增加了工艺难度...
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