技术编号:7134663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造领域,尤其涉及一种电荷耦合装置支架。背景技术众所周知,导片机的作用在于通过校对器将晶圆旋转至预设的角度,进而传输到后续的工艺中,通常,为了确定其位置是否到达了预设的旋转位置,在校对器的上方设置有电荷耦合装置,将其镜头正对晶圆槽口预设的旋转位置,如果采集到了槽口,则认为晶圆旋转到了预设的角度,如果没有采集到槽口图像,则认为晶圆未被旋转到预设的角度。在现有的技术流程中,仅仅能够从电荷耦合装置中采集信号,以确定其旋转位置的正确与否,而不能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。