专利名称：电荷耦合装置支架与导片机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种电荷耦合装置支架。
背景技术：
众所周知，导片机的作用在于通过校对器将晶圆旋转至预设的角度，进而传输到后续的工艺中，通常，为了确定其位置是否到达了预设的旋转位置，在校对器的上方设置有电荷耦合装置，将其镜头正对晶圆槽口预设的旋转位置，如果采集到了槽口，则认为晶圆旋转到了预设的角度，如果没有采集到槽口图像，则认为晶圆未被旋转到预设的角度。在现有的技术流程中，仅仅能够从电荷耦合装置中采集信号，以确定其旋转位置的正确与否，而不能对其进行反馈的控制。·同时，在现有的电荷耦合装置支架中，请参考图1，其为现有技术中的导片机的结构不意图，其中，101—竖直杆；102—旋转件；103 —电荷I禹合装置；104 —晶圆；105—校对器。所述电荷耦合装置支架包括竖直杆101与旋转件102，电荷耦合装置103安装在旋转件102上，电荷耦合装置103正对晶圆104，晶圆104安置在校对器105上旋转。在使用现有的导片机的过程中，将电荷耦合装置103的镜头位置固定之后，由于运输晶圆的操作臂需要进行运输的工作，而荷耦合装置103由于电荷耦合装置支架的旋转件102的位置较为固定，导致了电荷耦合装置支架将会影响到操作臂的正常运作。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种运行位置更灵活的电荷耦合装置支架，进而提高电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。为了解决这一技术问题，本实用新型提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。所述调节电荷耦合装置相对于所述第二旋转件沿水平方向滑动连接。所述第二旋转件上设有若干沿水平方向设置的长条孔，所述调节电荷耦合装置通过若干螺栓组件与所述长条孔安装于所述第二旋转件上。若干所述长条孔沿竖直方向排列。 所述长条孔的数量为两个。所述第一旋转件通过设在所述竖直杆上的环形槽固定所述第一旋转件的位置。所述第一旋转件内部设有与所述环形槽匹配的环形紧固装置。所述环形紧固装置包括紧固件、第一半环以及与所述第一半环匹配的第二半环，所述第一半环与所述第二半环的开口相对，所述第一半环与所述第二半环的两端分别互相连接，其中一端通过所述紧固件连接。所述紧固件连通至所述第一旋转件的外表面。所述环形槽的数量为多个，均匀分布在所述竖直杆上。所述电荷耦合装置支架为金属材质。本实用新型还提供了一种导片机，包括水平设置的校对器，正对所述校对器设置的电荷耦合装置，还包括本实用新型提供的电荷耦合装置支架。本实用新型通过在第一旋转件的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运 动轨迹，另外，将电荷耦合装置与第二旋转件通过长条孔滑动连接，可以有助于电荷耦合装置能够在水平方向上做平移，从而提高了电荷耦合装置的活动范围，进而提高了电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。
图I是现有技术中导片机的结构示意图；图2是本实用新型一实施例提供的导片机的结构示意图；图3是本实用新型一实施例提供的环形紧固装置的机构示意图；图中，101—竖直杆；102—旋转件；103—电荷耦合装置；104—晶圆；105—校对器；201—竖直杆；202—第一旋转件；203—第二旋转件；204—电荷耦合装置；205—长条孔；206—紧固件；207—螺钉；208—旋转轴；209—环形槽；210—晶圆；211—校对器301—第一半环；302—第二半环。
具体实施方式
以下将结合图2对本实用新型提供的电荷耦合装置支架和导片机进行详细的介绍，其仅为本实用新型一优选的实施例，可以认为本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围内，根据本领域的公知的常识对本实用新型进行润色和修改。请参考图2，本实施例提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置204，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆201以及沿水平方向设置的第一旋转件202，所述第一旋转件202的一端与所述竖直杆201旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆201转动，所述第一旋转件202 —端设有供所述竖直杆穿过的通孔(图未示)，且通过所述通孔与所述竖直杆201旋转连接，即第一旋转件202能够通过通孔绕所述竖直杆201进行旋转，本实施例提供的电荷耦合装置支架还包括沿水平方向设置的第二旋转件203，所述第二旋转件203的一端与所述第一旋转件202的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件203上。在本实施例中，第一旋转件202与第二旋转件203通过旋转轴208在水平方向上进行旋转连接。本实施例通过在第一旋转件202的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件203，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，提高了电荷耦合装置204的活动范围，进而提高了电荷耦合装置204可采集信号的覆盖范围。[0029]所述调节电荷耦合装置204相对于所述第二旋转件203沿水平方向滑动连接。所述第二旋转件203上设有若干沿水平方向设置的长条孔205，所述调节电荷耦合装置204通过若干螺栓组件与所述长条孔205安装于所述第二旋转件203上。在本实施例中，所述电荷耦合装置204通过设在所述第二旋转件203上的若干长条孔205和螺钉207与所述第二旋转件203滑动连接，所述长条孔205沿水平方向设置。将电荷耦合装置204与第二旋转件203通过长条孔205滑动连接，可以有助于电荷耦合装置204能够在水平方向上做平移，有效地提升了电荷耦合装置204的活动范围。同时，在本实施例中，请参考图2，将螺钉207穿过长条孔205，固定安装在电荷耦合装置204上，保证了耦合电荷装置204位置的稳固，同时也能实现电荷耦合装置204的水平移动。若干所述长条孔205沿竖直方向排列。所述长条孔205的数量为两个。两个长条孔205既能保证电荷耦合装置204的位置稳固，同样也能实现电荷耦合装置204的水平移 动。所述第一旋转件202通过设在所述竖直杆201上的环形槽209固定所述第一旋转件202的位置。所述第一旋转件202内部设有与所述环形槽209匹配的环形紧固装置。在本实施例中，所述环形槽209的数量为多个，均匀分布于所述竖直杆201上。请参考图3，其为本实施例提供的环形紧固装置，其仅仅为本实施例采用的技术手段，本领域的技术人员可对其进行修改，只需要满足将之与环形槽匹配连接，进而实现所述第一旋转件202与所述竖直杆201之间连接的环形紧固的作用即可。本实施例提供的环形紧固装置包括紧固件206、第一半环301与与所述第一半环301匹配的第二半环302，所述第一半环301与所述第二半环302的开口相对，所述第一半环301与所述第二半环302的两端分别互相连接，其中一端通过所述紧固件206连接。在本实施例中，所述第一半环301与第二半环302的一端固定连接，另一端通过紧固件206连接，通过控制紧固件206能够改变第一半环301与第二半环302之间的紧固状态，进而改变第一旋转件202与竖直杆201之间的紧固状态。在本实施例中，通过紧固件206将第一半环301与第二半环302紧固后，其内径与所述环形槽209的直径相匹配。所述紧固件206连通至所述第一旋转件202的外表面。所述环形紧固装置通过连通至所述第一旋转件202外表面的紧固件206控制所述第一旋转件202与所述竖直杆201之间连接的紧固与放松。所述紧固件206的一端与所述第一半环301和第二半环302连接，另一端连通至所述第一旋转件202的外表面，以便于控制所述紧固件206的松紧。所述电荷耦合装置支架为金属材质。本实用新型还提供了一种导片机，包括水平设置的校对器211，正对所述校对器设置的电荷耦合装置204，还包括本实施例提供的电荷耦合装置支架。在使用本实施例提供的电荷耦合装置支架与导片机时，首先，确认第一旋转件202和第二旋转件203的高度，竖直移动第一旋转件202，选定位置后，将环形紧固装置与对应高度位置的环形槽209匹配，同时，旋转第一旋转件202到合适的位置，通过紧固件206将第一旋转件202的位置固定。然后旋转第二旋转件203，同时通过长条孔205水平移动电荷耦合装置204的位置，使其对准预设的晶圆210正确旋转时的晶圆槽口的位置。位置固定后，首先通过操作臂将晶圆210放置到校对器211，导片机开始运作，校对器211进行旋转，电荷耦合装置204的镜头竖直向下对准预设的晶圆210正确旋转时的晶圆槽口的位置，机台将根据采集到的信号进行判断，如果采集到了晶圆槽口的信息，则导片机继续正常运作，如果未能采集到晶圆槽口的信息，机台将自动停止运作，以便进行校正。综上所述，本实用新型通过在第一旋转件202的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件203，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，同时，将电荷耦合装置204与第二旋转件203通过长条孔207滑动 连接，可以有助于电荷耦合装置204能够在水平方向上做平移，从而提高了电荷耦合装置204的活动范围，进而提高了电荷耦合装置204可采集信号的覆盖范围。
权利要求1.一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，其特征在于还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。
2.如权利要求I所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述调节电荷耦合装置相对所述第二旋转件沿水平方向滑动连接。
3.如权利要求2所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述第二旋转件上设有若干沿水平方向设置的长条孔，所述调节电荷耦合装置通过若干螺栓组件与所述长条孔安装于所述第二旋转件上。
4.如权利要求3所述的电荷耦合装置支架，其特征在于若干所述长条孔沿竖直方向排列。
5.如权利要求4所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述长条孔的数量为两个。
6.如权利要求I所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述第一旋转件通过设在所述竖直杆上的环形槽固定所述第一旋转件的位置。
7.如权利要求6所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述第一旋转件内部设有与所述环形槽匹配的环形紧固装置。
8.如权利要求7所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述环形紧固装置包括紧固件、第一半环以及与所述第一半环匹配的第二半环，所述第一半环与所述第二半环的开口相对，所述第一半环与所述第二半环的两端分别互相连接，其中一端通过所述紧固件连接。
9.如权利要求8所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述紧固件连通至所述第一旋转件的外表面。
10.如权利要求6所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述环形槽的数量为多个，均匀分布在所述竖直杆上。
11.如权利要求I所述的电荷耦合装置支架，其特征在于所述电荷耦合装置支架为金属材质。
12.—种导片机，包括水平设置的校对器，正对所述校对器设置的电荷耦合装置，其特征在于还包括如权利要求I至11任意之一所述的电荷耦合装置支架。
专利摘要本实用新型提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。本实用新型通过在第一旋转件的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，进而提高了电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。
文档编号H01L21/677GK202796884SQ20122052049
公开日2013年3月13日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者苏陶炯, 闫晓东, 严峻, 关业群 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司