技术编号:7134667
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体制作领域,尤其涉及一种V型手臂的辅助工具。背景技术在半导体制作领域中,通常使用V型手臂对晶圆进行运输,V型手臂通常包括第一手臂与第二手臂,两个手臂一端的位置共同固定,另一端围绕固定端做旋转运动,从而完成对晶圆的传输。V型手臂是传送系统中非常重要的一个环节,它的主要作用是和阻隔室配合将晶圆从大气中传送进入高真空的阻隔室,位置不能偏离阻隔室的槽。目前V型手臂的正确位置是通过阻隔室的上下反复运动,由工程师观察晶圆在阻隔室中是否有偏离,如果...
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