专利名称：V型手臂校正工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体制作领域，尤其涉及一种V型手臂的辅助工具。
背景技术：
在半导体制作领域中，通常使用V型手臂对晶圆进行运输，V型手臂通常包括第一手臂与第二手臂，两个手臂一端的位置共同固定，另一端围绕固定端做旋转运动，从而完成对晶圆的传输。V型手臂是传送系统中非常重要的一个环节，它的主要作用是和阻隔室配合将晶圆从大气中传送进入高真空的阻隔室，位置不能偏离阻隔室的槽。目前V型手臂的正确位置是通过阻隔室的上下反复运动，由工程师观察晶圆在阻隔室中是否有偏离，如果有，则需要重新设定V型马达参数，然后再重复上面的操作。这样费时、费力，还不准确。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置的工具。为解决这一技术问题，本实用新型提供了一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。所述固定部通过设在V型手臂上的类椭圆形洞与所述V型手臂连接，所述固定部的横截面形状与所述类椭圆形洞相同。所述固定部的横截面包括两个互相对称的第一半圆形和第二半圆形，以及一个矩形，所述第一半圆形和第二半圆形分别设置于所述矩形的长度方向的两端，所述第一半圆形和第二半圆形的直径等于所述矩形的宽度，所述第一半圆形和第二半圆形的直径边与所述矩形的短边相接。所述第二半圆形的圆心到检测孔圆心的距离与阻隔室的环形载入槽的圆心到晶圆感应器的圆心的距离相同。所述检测孔的圆心与所述第二半圆形的圆心的连接线垂直于所述固定部，所述检测孔的圆心与所述第二半圆形的圆心的连接线与所述延伸部的纵向中心线重合。所述固定部上与类椭圆形洞连接处比所述延伸部厚。所述检测孔的尺寸与晶圆感应器相匹配。所述V型手臂校正工具为一体成型的部件。所述延伸部的厚度为4毫米，所述固定部的厚度为8毫米，所述检测孔的直径为4毫米。[0014]本实用新型将V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的类椭圆形洞中，同时根据阻隔室的环形载入槽与晶圆感应器的形状和位置，在延伸部上设置检测孔，进而通过一个标准尺寸的V型手臂校正工具实现更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置。
图1是本实用新型一实施例的V型手臂和阻隔室的局部结构示意图；图2是本实用新型一实施例的V型手臂校正工具的俯视结构示意图；图3是本实用新型一实施例的V型手臂校正工具的侧视结构示意图；图4是本实用新型一实施例的V型手臂校正工具的使用状态机构示意图；图中，101—V型手臂；102—类椭圆形洞；103—环形载入槽；104—晶圆感应器；201—延伸部；202—固定部；203—检测孔；204—第一半圆形；205—平行直线；206—第二半圆形。
具体实施方式
以下将结合各附图对本实用新型所提供的V型手臂校正工具进行比较详细的介绍。本实施例提供了ー种V型手臂校正工具，设于V型手臂的类椭圆形洞102中，请參考图1，所述类椭圆形洞102包括两个互相对称第一半圆结构与第二半圆结构，以及ー个矩形结构，所述矩形结构设在两个半圆形结构之间，分别与所述的两个半圆形结构的开ロ端连接。请參考图2和图4，本实施例提供的V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽103上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞102中，所述V型手臂校正工具包括固定部202和延伸部201，所述延伸部201的一端与所述固定部202的一端垂直连接，所述延伸部201的另一端设有ー个检测孔203，所述固定部202可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽103上方正确位置时，所述检测孔203对准位于阻隔室内的晶圆感应器104的位置。本实用新型将V型手臂校正工具的固定部202安置在V型手臂的类椭圆形洞102中，同时根据阻隔室的环形载入槽103与晶圆感应器104的形状和位置，在延伸部201上设置检测孔203，进而通过ー个标准尺寸的V型手臂校正工具实现更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置。所述固定部202通过设在V型手臂上的类椭圆形洞102与所述V型手臂连接，所述固定部202的横截面形状与所述类椭圆形洞102相同。从而能够保证固定部202能够被安置在类椭圆形洞102中而不至于发生移动。请參考图2和图4，所述固定部202的横截面包括两个互相対称的半圆形(即第一半圆形204和第二半圆形205)和ー个矩形，所述第一半圆形204和第二半圆形205分别设置于所述矩形的长度方向的两端，所述第一半圆形204和第二半圆形205的直径等于所述矩形的宽度，所述第一半圆形204和第二半圆形205的直径边与所述矩形的短边相接。所述第二半圆形205的圆心到检测孔203圆心的距离与阻隔室的环形载入槽103的圆心到晶圆感应器104的圆心的距离相同。[0027]请参考图1，并结合图2至图4，本实施例提供的V型手臂校正工具为根据现有的阻隔室而定制，所述阻隔室至少包括环形载入槽103与晶圆感应器104，由于第二半圆形206的圆心到检测孔203的圆心的距离与环形载入槽103的圆心到晶圆感应器104的圆心的距离相同，并通过实验验证，当第二半圆形206的圆心与检测孔203分别和环形载入槽103的圆心与晶圆感应器104的圆心在水平面投影重合时，恰好能够使得晶圆正确载入到环形载入槽103中。所述检测孔203的圆心与所述第二半圆形206的圆心的连接线垂直于所述固定部202，所述检测孔203的圆心与所述第二半圆形206的圆心的连接线与所述延伸部201的纵向中心线重合。进而保证了当V型手臂移动到正确位置时，检测孔203与晶圆感应器104在水平面上的投影重合，同时，第二半圆形206的圆心与环形载入槽103的圆心在水平面上的投影重合。所述固定部202上与类椭圆形洞102连接处比所述延伸部厚，以便于将固定部202固定安置在所述类椭圆形洞102中。请参考图3，固定部202与延伸部201的上表面持平，固定部202的下表面比延伸部201的下表面低，即固定部202比延伸部201厚。从而通过将固定部202底部比延伸部201厚的部分放入椭圆形洞102中，固定所述固定部202的位置，进而固定本实施例提供的V型手臂校正工具的位置。。所述检测孔203的尺寸与晶圆感应器104相匹配。进而使得当检测孔203与晶圆感应器104在水平面的投影重合时，晶圆感应器203检测到检测孔203时将其视为晶圆感应器203未被挡住。所述V型手臂校正工具为一体成型的部件。最佳地保证了装置的稳定性和使用寿命O在本实施例中，所述延伸部的厚度为4毫米，所述固定部的厚度为8毫米，所述检测孔的直径为4毫米。请参考各附图，在使用本实施例提供的V型手臂校正工具时，只需将固定部202放置到类椭圆形洞102中，将延伸部201安置在设有晶圆感应器104的一侧。在实际使用过程中，V型手臂的水平移动是通过若干次点击计算机操作界面中的“jog”，从而控制V型手臂的水平移动的，即点击一次“jog” V型手臂进行一定距离的水平移动，本实施例通过多次点击“jog”来实现V型手臂位置的移动，由于V型手臂校正工具的存在，只需将V型手臂水平移动，即可通过判断晶圆感应器104与检测孔203在水平面的投影是否重合来确定V型手臂是否到达了标准的位置，而不需要将阻隔室进行上下的移动通过经验和尝试来判断移动的位置是否正确。晶圆感应器104设在阻隔室中，且位置是固定的，即环形载入槽103、晶圆感应器104的水平位置均是固定不变的，所述晶圆感应器104能够感应其竖直方向的上方是否被挡住，进而即时给出指示信号，在具体操作过程中，首先通过点击计算机操作界面中的“jog”来移动V型手臂101，参考图1和图4，V型手臂101向左移动，直至晶圆感应器104掠过检测孔203后完全被延伸部201挡住，然后往反方向移动V型手臂101，即向右移动，检测孔203和晶圆感应器104之间的关系会从晶圆感应器104完全被延伸部201挡住，发展为检测孔203和晶圆感应器104水平面上投影部分重合，而同时晶圆感应器104部分被延伸部201挡住，再到检测孔203与晶圆感应器104在水平面上投影全部重合，即晶圆感应器104完全未被挡住，继而随着V型手臂向右的移动，晶圆感应器104与检测孔203的水平投影的关系从全部重合到部分重合，最后晶圆感应器104再次被延伸部201完全挡住，记下这ー过程中点击“jog”的次数N，此时反向移动V型手臂，但只点击N/2次“ jog”，即可使得晶圆感应器104与检测孔203在水平面上的投影充分重合。本实施例仅重复一次这样的过程，也可以进行多次重复，进而使得其位置更准确。 综上所述，本实用新型将V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的类椭圆形洞中，同时根据阻隔室的环形载入槽与晶圆感应器的形状和位置，在延伸部上设置检测孔，进而通过ー个标准尺寸的V型手臂校正工具实现更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置。
权利要求1.ー种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于:所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有ー个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。
2.如权利要求1所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述固定部通过设在V型手臂上的类椭圆形洞与所述V型手臂连接，所述固定部的横截面形状与所述类椭圆形洞相同。
3.如权利要求2所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述固定部的横截面包括两个互相対称的第一半圆形和第二半圆形，以及ー个矩形，所述第一半圆形和第二半圆形分别设置于所述矩形的长度方向的两端，所述第一半圆形和第二半圆形的直径等于所述矩形的宽度，所述第一半圆形和第二半圆形的直径边与所述矩形的短边相接。
4.如权利要求3所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述第二半圆形的圆心到检测孔圆心的距离与阻隔室的环形载入槽的圆心到晶圆感应器的圆心的距离相同。
5.如权利要求3所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述检测孔的圆心与所述第ニ半圆形的圆心的连接线垂直于所述固定部，所述检测孔的圆心与所述第二半圆形的圆心的连接线与所述延伸部的纵向中心线重合。
6.如权利要求2所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述固定部上与类椭圆形洞连接处比所述延伸部厚。
7.如权利要求1所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述检测孔的尺寸与晶圆感应器相匹配。
8.如权利要求1所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述V型手臂校正工具为ー体成型的部件。
9.如权利要求1至8任意之一所述的V型手臂校正工具，其特征在于:所述延伸部的厚度为4毫米，所述固定部的厚度为8毫米，所述检测孔的直径为4毫米。
专利摘要本实用新型提供了一种V型手臂校正工具，用于协助调整V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置，设于V型手臂的类椭圆形洞中，其特征在于所述V型手臂校正工具包括固定部和延伸部，所述延伸部的一端与所述固定部的一端垂直连接，所述延伸部的另一端设有一个检测孔，所述固定部可拆卸式安装于所述V型手臂上，当V型手臂移动到阻隔室的环形载入槽上方正确位置时，所述检测孔对准位于阻隔室内的晶圆感应器的位置。本实用新型将V型手臂校正工具的固定部安置在V型手臂的类椭圆形洞中，同时通过一个标准尺寸的V型手臂校正工具实现更方便快捷地确定V型手臂和阻隔室的相对位置。
文档编号H01L21/677GK202957222SQ20122052060
公开日2013年5月29日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者陈中林, 刘群超, 陈晓, 单易飞 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司