技术编号:7141945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种异质接面双极晶体管(HBT)的制造方法,特别是一种有关于异质接面双极晶体管的射极/射极窗的反向(Reverse-Tone)制造方法。背景技术晶体管为一种多电极的半导体装置,其中流动于两电极间的电流量是由第三(控制)电极的电压所控制或调制(modulated)。晶体管大致可分为二大类双极性接面晶体管(BJT)和场效应晶体管(FET)。双极性接面晶体管是由点接触式的晶体管衍生而来,后者是由贝尔实验室的巴丁(Bardeen),布来登(Bratta...
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