紫外选择性硅雪崩光电探测芯片的制作方法技术资料下载

技术编号:7148895

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本发明属于紫外成像,涉及一种紫外选择性硅雪崩光电探测器的芯片结构。背景技术紫外光电探测器是紫外告警等紫外探测技术的核心关键元器件。紫外告警是利用"太阳光谱盲区"的紫外波段来探测导弹的火焰与尾焰。由于紫外告警系统避开了最强大的自然光源-太阳造成的复杂背景,〃太阳光谱盲区〃的紫外告警就为逼近告警提供了一种极其有效的手段。目前,紫外告警设备已发展成为装备量最大的逼近告警系统之一。而高灵敏度、低噪声紫外探测器件的研制是紫外告警设备的一个重要基础工作。对于硅材料来讲...
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