技术编号：7149140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例大致涉及一基材支撑件。背景技术 薄膜晶体管(TFT)传统上被做在大型玻璃基材或板上，以用于监视器、平面显示器、太阳电池、个人数字助理(PDA)、大哥大等等。TFT通过依序沉积各种薄膜，包含非晶硅、掺杂及未掺杂氧化硅、氮化硅等，在多数真空处理室的集合式工具中完成，各真空室被典型设置在一中心传送室旁。该集合式工具典型连接至一工厂界面，其包含多数基材储存卡匣，该卡匣在处理前后固持基材。一真空隔绝室大致安排在工厂界面和集合式工具之间，以促成在集合式工...
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