技术编号:7149718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造,尤其涉及。背景技术石墨烯材料是一种碳基二维晶体,是目前已知最轻最薄的材料,单层仅原子厚度,它具有极其优异的物理化学性质,利用其极高的载流子迁移率(理论估计超过SXlO5Cm2W1s'是硅的数百倍),可以制成超高速电子器件;利用超强的机械性能(杨氏模量约IO3GPa),可以研制超轻超强度的复合材料;利用其极高的比表面积和极好的气敏特性,可以研制高灵敏度的气敏探测器;利用其极高的透明性和柔韧性,可以制备高柔韧性的透明电极;最奇特的是它具有...
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