与cmos逻辑工艺兼容的非挥发性记忆体的制作方法技术资料下载

技术编号:7152908

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本实用新型涉及一种非挥发性记忆体,尤其是一种与CMOS逻辑工艺兼容的非挥发性记忆体,属于集成电路的。背景技术对于片上系统(SoC)应用,它是把许多功能块集成到一个集成电路中。最常用的片上系统包括一个微处理器或微控制器、静态随机存取存储器(SRAM)模块、非挥发性记忆体以及各种特殊功能的逻辑块。然而,传统的非挥发性记忆体中的进程,这通常使用叠栅或分裂栅存储单元,与传统的逻辑工艺不兼容。非挥发性记忆体(NVM)工艺和传统的逻辑工艺是不一样的。非挥发性记忆体(N...
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