技术编号：7154645
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,氧化物粉末,固体的方法及其应用的制作方法本发明涉及一种的方法。本发明还涉及一种氧化物粉末及用氧化物粉末制造的固体以及它的应用。背景技术 本发明的主要应用领域是铟-锡氧化物(ITO)，它是一种透明的导电陶瓷材料。它的这一性质具有较广泛的用途，例如分隔液晶薄膜或等离子体显示，电磁屏蔽，加热器件或其他系统，大多数应用情况是在玻璃或塑料上。一种重要的应用是在玻璃上的阴极溅射。这种应用要求有尽可能高的导电率并且接下来是一个蚀刻周期。在阴极溅射中，靶材料的或多或少的...
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