技术编号:7157068
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有选择栅、浮栅、控制栅以及擦除栅的非易失性闪速存储单元, 其中所述擦除栅具有与浮栅呈一定尺寸比例的突出部分。本发明还涉及该闪速存储单元的阵列,以及该单元和阵列的制造方法。背景技术具有选择栅、浮栅、控制栅以及擦除栅的分裂栅非易失性闪速存储单元在本领域中是公知的,例如参见美国专利6,747’ 310。本领域中还公知的是在浮栅上具有突出部分的擦除栅,例如参见美国专利5,M2,848。通过全部引用而将上述两个在先公开包含于此。迄今为止,在现有技术中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。