非易失性闪速存储单元、阵列及其制造方法技术资料下载

技术编号:7157068

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本发明涉及一种具有选择栅、浮栅、控制栅以及擦除栅的非易失性闪速存储单元, 其中所述擦除栅具有与浮栅呈一定尺寸比例的突出部分。本发明还涉及该闪速存储单元的阵列,以及该单元和阵列的制造方法。背景技术具有选择栅、浮栅、控制栅以及擦除栅的分裂栅非易失性闪速存储单元在本领域中是公知的,例如参见美国专利6,747’ 310。本领域中还公知的是在浮栅上具有突出部分的擦除栅,例如参见美国专利5,M2,848。通过全部引用而将上述两个在先公开包含于此。迄今为止,在现有技术中...
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