技术编号:7158883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的示例性实施例总体涉及一种存储器件及其制造方法,更具体而言涉及一种存储器单元层叠在衬底上的。背景技术诸如快闪存储器的非易失性存储器件即使在断电时也能保持所储存的数据。非易失性存储器件包括具有存储器单元的单元区,以及具有对存储器单元执行访问操作所需的具有单位元件的各种电路。单元区中的存储器单元具有隧道绝缘层、浮栅、电荷阻挡层与控制栅的层叠结构。外围电路区中的各种电路包括各种单位元件,诸如晶体管、电容、电阻等。例如,在外围电路区中可以设置图1所示的包括至...
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