技术编号:7163013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于对例如特别是平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查的检查装置。背景技术近年来,在玻璃基板、半导体基板、印刷电路板(以下称作基板)等的制造中,具有用于对基板进行检查等处理的检查装置。检查装置具有用于利用摄像等对基板进行检查处理的处理部、以及用于自外部向处理部输送基板或者自处理部向外部输送基板的输送部。关于处理部,例如是对基板的表面照射照明光,在利用线扫描摄像机(line sensor camera)接受其反射光而获得整体图...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。