专利名称：检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于对例如特别是平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板等进行检查的检查装置。
背景技术：
近年来，在玻璃基板、半导体基板、印刷电路板(以下称作基板)等的制造中，具有用于对基板进行检查等处理的检查装置。检查装置具有用于利用摄像等对基板进行检查处理的处理部、以及用于自外部向处理部输送基板或者自处理部向外部输送基板的输送部。关于处理部，例如是对基板的表面照射照明光，在利用线扫描摄像机(line sensor camera)接受其反射光而获得整体图像之后，使用显微镜等获得基板上的规定位置的布线图案等图像，然后进行基板的检查。输送部包括浮起用板，其在用于输送基板的输送面上具有多个空气孔，并通过自该空气孔吹出空气而使基板浮起；吸盘，其具有用于吸附保持基板的吸附部，并能够沿输送方向移动。输送部通过以吸附部将利用浮起用板而浮起的基板进行吸附保持的状态使吸盘移动，从而进行基板的输送。另外，基板的支承也存在取代浮起用板而使用支承构件的情况，该支承构件利用能够沿输送方向旋转的自由辊来支承基板。但是，作为上述输送部，公开了在通过基板的大致重心的直线上设置吸附部、并用于吸附支承基板的重心而输送基板的输送装置(例如参照专利文献1)。在该输送装置中， 抑制由于基板输送时的基板的重量和输送速度所产生的转矩的作用来输送基板，因此能够稳定地进行基板的输送。专利文献1 日本特开2007-28U85号公报但是，由于专利文献1所公开的输送装置的吸附部处于基板的重心位置，因此在处理部中进行基板的摄像时，存在吸附部被拍摄进去而使得使用了所获得的基板图像的检查的精度降低这样的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种在对基板进行摄像时能够减少吸附保持基板的吸附部被拍摄进去的检查装置。为了解决上述问题并达到目的，本发明的一种检查装置包括检查部，其用于对检查对象的基板实施规定的处理；以及输送台，其用于载置上述基板而输送该基板，其特征在于，上述输送台包括支承部件，其至少能够沿输送上述基板的输送方向移动，并用于直接或间接地支承上述基板；多个保持部，其以能够沿与上述输送方向平行地延伸的输送轴移动的方式保持上述基板，并且能够升降；以及驱动部，其用于使上述保持部沿上述输送轴移动；上述检查装置还包括控制部，该控制部在上述保持部位于上述检查部的处理位置的情况下进行使该保持部下降的控制。本发明的检查装置由于在用于保持基板的吸附部处于线扫描摄像机的摄像区域内的情况下使吸附部与基板分离，因此起到在对基板进行摄像时能够减少吸附部被拍摄进去这样的效果。
图1是示意性地表示本发明的实施方式1的平板显示器(FPD)检查装置的结构的俯视图。图2是示意性地表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的结构的侧视图。图3是表示图1所示的FPD检查装置的A-A剖面的局部剖视图。图4是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。图5是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。图6是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。图7是表示本发明的实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。图8是表示本实施方式1的FPD检查装置的变形例的示意图。图9是表示本实施方式1的FPD检查装置的变形例的示意图。图10是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的基板输送的示意图。图11是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的基板输送的示意图。图12是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。图13是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。图14是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。图15是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。图16是示意性地表示本发明的实施方式4的FPD检查装置的结构的俯视图。
具体实施例方式以下，结合附图详细地说明用于实施本发明的实施方式。另外，本发明不限于以下的实施方式。此外，在以下的说明中，所参照的各图只是以能够理解本发明的内容的程度概略地表示出形状、大小以及位置关系。即，本发明不限于在各图中例示的形状、大小以及位
置关系。(实施方式1)首先，参照附图详细地说明本发明的实施方式1的检查装置。另外，在以下的说明中，以基板的检查装置为例进行说明。检查装置既可以是在线型，也可以是离线型。图1是表示本实施方式1的平板显示器(FPD)检查装置的概略结构的俯视图。图 2是示意性地表示本实施方式1的FPD检查装置的结构的侧视图。如图1所示，FPD检查装置1包括基板处理部la，其用于检测被输送来的、呈矩形的基板W的缺陷；以及控制部 lb，其用于进行基板处理部Ia整体的控制。此外，基板处理部Ia包括龙门载物台(gantry stage) 10，其用于保持检查单元100，该检查单元100用于检测基板W的缺陷；输送台12、 20、21，其用于输送基板W;以及整体图像获得部13，其用于获得基板W的整体图像。龙门载物台10、输送台12、20、21及整体图像获得部13固定于例如图1、2所示的这种架台11上。架台11由将例如块状的大理石、钢材组合而成的框架等耐震性较高的构件构成。除此之外，在架台11和设置面(例如地板)之间设置由例如弹簧、液压减震器等构成的振动吸收机构14。由此进一步地防止龙门载物台10、输送台12、20、21及整体图像获得部13的振动。输送台12、20、21具有例如多个板状构件沿与基板W的输送方向D垂直的方向排列成帘子状的构造。通过沿输送方向D排列该输送台12、20、21而形成基板W的输送路径。 在各输送台12、20、21的板状构件上分别设置用于以上表面保持基板W并能够沿输送方向 D旋转的作为支承部件的自由辊121、201、211。在输送台20的与输送方向D垂直的方向即宽度方向的中央设置用于向输送方向D驱动并吸附输送基板W的驱动机构30。此外，在输送台20的外周设置用于使载置的基板W定位的定位机构40、41，利用定位机构40、41确定被搬入的基板W的载置位置。另外，优选自由辊121、201、211如拉格朗日点那样以不会产生基板W的弯曲这样的间隔配置。驱动机构30包括驱动部32，其在与输送方向D平行的输送轴31上移动；支承构件33，其支承于驱动部32，与输送轴31平行地延伸；以及吸盘34，其支承于支承构件33， 用于利用未图示的泵的吸气来吸附保持基板W。吸盘34由沿支承构件33设置的3个吸盘 34A 34C构成。驱动机构30通过使用线性电动机引导件作为输送轴31、并且使用线性电动机作为驱动部32来实现。另外，通过将驱动机构30设置于输送台的宽度方向的中央，能够保持包括被搬入到输送台的基板W的重心位置在内的区域，从而能够进行稳定的基板输送。此外，只要能够使输送轴31通过至少线扫描摄像机1 和/或检查单元100的摄像范围内不损伤基板W 地进行输送，则驱动机构30的相对于输送台的宽度方向的配设位置可以是任意的位置，也可以设置有多个驱动机构30。图3是表示图1所示的FPD检查装置的A-A剖面的局部剖视图。另外，在图3中表示出检查单元100位于输送台12的宽度方向的中央的情况。如图3所示，吸盘34A 34C 分别包括吸附部34a (保持部)，其用于利用未图示的泵的吸气来吸附保持基板W ；以及升降部34b，其用于沿铅垂方向可升降地支承吸附部34a。另外，升降部34b在控制部Ib的控制下而利用气压缸、电动马达等使吸附部3 升降。定位机构40、41设置于输送台20的外周侧，在控制部Ib的控制下使基板W能够在被自由辊201的上端支承的高度和输送台20的下部之间升降。定位机构40、41包括抵接构件40a、41a，其呈大致圆筒状，用于与基板W抵接；以及延伸部40b、41b，其用于支承抵接构件40a、41a，并能够与输送方向D平行地延伸。定位机构40、41与基板W的各边相对应地设置有1 2个，各延伸部40b、41b分别延伸而使抵接构件40a、41a与基板W的所对应的边抵接并夹持基板W的所对应的边，从而进行基板W的定位。例如，定位机构40以夹持基板W中的对边的方式分别配置定位机构 40A 40C。此外，同样地在定位机构41中也以夹持基板W的其他对边的方式分别配置定位机构41A 41C。在对基板W进行定位之后，若利用吸盘34吸附保持基板W，则定位机构 40,41解除基板W的夹持状态而退避到输送台20的下方。如图3所示，整体图像获得部13包括照明构件13A，其用于对基板W进行照明； 以及线扫描摄像机13B，其用于接受来自照明构件13A的照明光的反射光而获得基板W的整体图像。线扫描摄像机13B配设在如图3中的虚线所示那样的能够接受来自照明构件13A 的照明光被基板W反射而成的反射光的位置。
检查单元100包括未图示的摄像部，该摄像部设定在输送台12所形成的输送路径上，并用于借助显微镜101对通过与输送台12的宽度方向平行的检查线L 1的基板W进行摄像。通过解析利用该检查单元100获得的图像，能够检测基板W是否存在缺陷。另外，检查单元100能够沿检查线Ll移动。在本说明中，检查单元100所设置的区域称为检查空间
检查部)。此外，检查空间PRl以外的区域称为输送空间TRl、TR2。另外，检查单元100可替换成例如用于对基板W的缺陷部分进行激光照射修复、 涂布修正等的修复单元、用于观察、保存图像的摄像单元、用于在规定的位置实施布线等的尺寸测量、膜厚测量、颜色测量等测量单元等的处理的其他处理单元。即，处理单元包括检查单元、修复单元、摄像单元、曝光单元、测量单元等。此外，本实施方式的FPD检查装置也包括由上述处理单元在用于载置基板W的台上对基板W进行各处理的结构。此外，由于FPD检查装置1只要包括用于包围检查空间PRl及输送空间TRl、TR2 的外壳就能够形成内部空间(无尘室)，故为优选。该无尘室是除了基板的搬入口、搬出口及下部的管道以外被密闭的空间。外壳在检查单元100的上方具有用于向内部空间送入洁净的空气(以下称作洁净空气)的FFU。FFU用于送出已去除了例如微粒等粉尘的洁净空气。其结果，特别是使检查单元 100附近及检查线Ll周边(检查空间rai)成为粉尘较少的洁净的状态。此外，向检查单元 100附近及检查线Ll周边集中送出的洁净的空气在无尘室内形成下降流(down flow)之后，自排气口排出。在上述FPD检查装置1中，对于自外部搬入到输送台20的基板W，在控制部Ib的控制下，在由定位机构40对基板W的载置位置进行调整之后，利用吸盘34吸附保持基板W 而沿着输送方向D进行输送，由整体图像获得部13获得整体图像，并利用检查单元100进行基板W的缺陷检查等。此时，吸盘34在使基板W通过整体图像获得部13之后，使基板W 再次回到输送台20，并再次向输送方向D移动而利用检查单元100进行缺陷检查。另外，在自整体图像获得部13至检查单元100的距离相对于基板W足够长的情况下，在利用整体获得部13获得整体图像之后，可以不使基板W回到输送台20就利用检查单元100进行缺陷检查。图4 7是表示本实施方式1的FPD检查装置的基板输送的示意图。首先，如图 4所示，若驱动部32驱动(图中箭头方向)，则吸附保持于吸盘34的基板W向线扫描摄像机13B的方向移动。在这里，输送轴31具有线性标尺31a，该线性标尺31a具有沿输送轴 31的座标信息。此外，驱动部32具有用于自线性标尺31a读取座标信息的读取部32a。如图5所示，当吸盘34A达到线扫描摄像机13B的摄像区域时，读取部32a自线性标尺31a读取该位置的座标，而向控制部Ib输出座标信息。控制部Ib自所获得的座标信息判断吸盘34A是否在摄像区域内。若控制部Ib判断为吸盘34A处于摄像区域内，则控制部Ib驱动升降部34b而使所对应的吸盘34下降(图6)。此时，控制部Ib使吸附部3 下降，直到至少吸附部34a的上端处于比用于拍摄基板W的线扫描摄像机13B的焦点深度靠下方的位置。之后，读取部32a与驱动部32的移动连动而自线性标尺31a读取座标信息，并依次向控制部Ib输出。控制部Ib重复进行自所获得的座标信息判断吸盘是否处于摄像区域内的判断，在如图7那样吸盘34B进入了摄像区域内的情况下，使吸盘34B的吸附部3 下降。另外，对吸盘34C也利用相同的处理使吸附部下降。如上述实施方式1那样，在用于保持基板W的吸附部3 处于线扫描摄像机13B 的摄像区域内的情况下，由于设为使吸附部34a自基板离开，因此在对基板进行摄像时能够减少吸附部被拍摄进去。另外，由于即使使任意的吸附部与基板分离，也能够由其他吸附部吸附保持基板，因此能够对基板的保持及输送无影响地进行处理。此外，通过使吸附部下降来防止基板在检查位置弯曲，因此也可以在不妨碍检查的位置例如板状构件之间设置防弯曲辊。另外，在本实施方式1中说明了具有3个吸盘的情况，但只要能够进行基板的保持、输送，则可以具有2个，也可以具有4个以上。此外，为了防止吸附部的下降所引起的振动，也可以使剩下的吸附部上升或下降。(变形例)图8、9是表示本实施方式1的FPD检查装置的变形例的示意图。图8、9与图4等所示的示意图相对应。驱动机构30a包括分别相邻配设的3组吸盘341A、342A、341B、342B、 341C、342C。吸附保持及升降的机构与实施方式1相同地由吸附部及升降部进行。如图8 所示，对于利用各吸盘341A、342A、341B、342B、341C，342C吸附保持而进行输送的基板W，由读取部3 读取线性标尺31a的座标信息而向控制部Ib输出。此时，如图9所示，若吸盘341A进入线扫描摄像机13B的摄像区域，则控制部Ib 根据自读取部3 输出的座标信息而判断为吸盘341A处于摄像区域，从而使吸盘341A的吸附部3 下降。之后，对各吸盘342A、341B、342B、341C、342C也利用控制部Ib进行相同的判断，在摄像区域中使吸附部3 下降。由于上述实施方式1的变形例的驱动机构30a是与吸盘相邻地设置，因此能够减少吸附部在对基板进行摄像过程中被拍摄进去，并且与实施方式1相比能够更稳定地进行基板的输送。(实施方式2)图10、11是表示本发明的实施方式2的FPD检查装置的基板输送的示意图。在实施方式2的驱动机构30b中，在输送轴31中的与线扫描摄像机13B的摄像区域的铅垂下方相对应的位置设置位置检测传感器(位置检测部件)，并且在支承构件33的与吸盘34A 34C相对应的位置设置检测对象。另外，对与图1等所示的构成相同的构成标注相同的附图标记。如图10所示，位置检测传感器使用例如磁性接近传感器31b来实现，检测作为检测对象所使用的磁铁等磁性材料33a 33c中的任意一个而向控制部Ib输出检测结果。如图11所示，若控制部Ib自磁性接近传感器31b接收磁性检测的检测结果，则使对应的吸盘 34A下降。上述实施方式2与上述实施方式1相同，在用于保持基板的吸附部处于线扫描摄像机的摄像区域内的情况下，使吸附部与基板分离，因此能够减少吸附部在对基板进行摄像时被拍摄进去。另外，在本实施方式2中，也可以是如下结构支承构件具有与各吸盘相对应地设置并用于朝向输送轴31侧发出光的照明部(检测对象)，输送轴31具有用于检测该照明部的光的光电传感器(位置检测部件)。
(实施方式3)图12 15是表示本发明的实施方式3的FPD检查装置的基板输送的示意图。在实施方式3的驱动机构30c中，未设置用于检测吸盘的位置的机构，而是由控制部根据驱动部的驱动速度及驱动时间来求出吸盘的位置，从而进行下降的控制。另外，对与图1等所示的构成相同的构成标注相同的附图标记。首先，如图12所示，在驱动部32的驱动开始位置，例如在本实施方式3中以支承构件33的端部为基准，设该位置为时间TO。之后，当驱动驱动部32而经过了时间Tl时，由于吸盘34A进入线扫描摄像机13B的摄像区域内，因此控制部Ib使吸盘34A的吸附部34a 下降(图13)。此时的吸附部3 的下降时间根据驱动部32的移动速度设定为在上升而再次吸附基板W的情况下使吸附部3 不会被拍摄到图像中的时间。接着，如图14所示，在经过时间T2时，使吸盘34B的吸附部3 下降。此外，如图 15所示，在经过时间T3时，使吸盘34C的吸附部3 下降。这样一来，以使各吸盘34A 34C进入线扫描摄像机1 的摄像区域内的时机与驱动部32的规定驱动时间相对应的方式使各吸附部下降。另外，由于驱动部32在利用已知的速度程序移动成为条件，但为了容易进行控制，因此更优选以恒定的速度进行移动。上述实施方式3与上述实施方式1相同，在用于保持基板的吸附部处于线扫描摄像机的摄像区域内的情况下，使吸附部与基板分离，因此能够减少吸附部在对基板进行摄像时被拍摄进去，并且由于无需设置用于检测位置的机构，因此能够使装置结构简略化，从而能够缩短处理时间。另外，在上述实施方式2、3中，可以适用实施方式1的变形例的吸盘的结构。(实施方式4)图16是示意性地表示本发明的实施方式4的FPD检查装置的结构的俯视图。如图16所示，FPD检查装置2包括基板处理部加，其用于检测被输送来的、呈矩形的基板W 的缺陷；以及控制部2，其用于进行基板处理部加整体的控制。在实施方式4中，利用作为支承部件的空气使载置于浮起输送台50 52的基板W浮起，从而以消除与基板W的摩擦并防止摩擦引起的基板W的损伤的方式进行输送。此外，与实施方式1相同地设具有用于在检查线L2上移动的检查单元100的龙门载物台10等所设置的区域为检查空间冊2(检查部)，设检查空间PR2以外的区域为输送空间TR3、TR4。另外，对与图1等所示的构成相同的构成标注相同的附图标记。浮起输送台50 52包括呈大致板状的多个浮起用板，该多个浮起用板沿输送方向D延伸，用于在输送面上使基板W浮起而进行载置。通过沿输送方向D排列各浮起输送台50 52而形成基板W的输送路径。例如，浮起输送台51具有各浮起用板沿与输送方向D垂直的方向排列成帘子状而成的构造。在各浮起用板中设置用于利用自空气供给部60供给的空气而朝向铅垂上方吹出空气的多个吹出孔511。另外，在浮起输送台50、52中，各浮起用板也具有吹出孔501、 521。此外，在浮起输送台50 52的宽度方向的中央设置上述驱动机构30。利用与实施方式1 3相同的构成吸附保持基板W而进行输送，并且在控制部2b的控制下使吸附部下降，从而防止吸附部在对基板进行摄像时被拍摄进去。此外，浮起输送台50支承于图2所示的振动吸收机构14。上述实施方式4与上述实施方式1相同，在用于保持基板W的吸附部3 处于线扫描摄像机13B的摄像区域内的情况下，使吸附部与基板分离，因此能够减少吸附部在对基板进行摄像时被拍摄进去，并且由于利用空气来支承基板，因此能够消除对基板施加的摩擦力从而更可靠地防止基板的损伤。另外，在上述实施方式1 4中，在检查空间PR 1、PR2中未设置检查单元100(龙门载物台10)，而是仅有整体图像获得部13的结构，也可以适用于用来获得基板的整体图像的检查装置。此外，驱动机构30只要是能够分别进行控制则也可以设置有多个。如上所述，本发明的检查装置在获得基板的图像时减少其他构件被拍摄进去这一点是有用的。附图标记说明1、2、FDP检查装置；la、2a、基板处理部；lb、2b、控制部；10、龙门载物台；11、架台； 12、20、21、输送台；13、整体图像获得部；13A、照明构件；13B、线扫描摄像机；14、振动吸收机构；30、30a、30b、30c、驱动机构；31、输送轴；32、驱动部；33、支承构件；34.34A 34C、 吸盘；34a、吸附部；34b、升降部；40、41、定位机构；50 52、浮起输送台；60、空气供给部； 100、检查单元；101、显微镜；121、201、211、自由辊；501、511、521、吹出孔；Li、L2、检查线； rai、ra2、检查空间；TRl TR4、输送空间；W、基板。
权利要求
1.一种检查装置，其包括检查部，其用于对检查对象的基板实施规定的处理；以及输送台，其用于载置上述基板而输送该基板，其特征在于，上述输送台包括支承部件，其至少能够沿输送上述基板的输送方向移动，并用于直接或间接地支承上述基板；多个保持部，其以能够沿与上述输送方向平行地延伸的输送轴移动的方式保持上述基板，并且能够升降；以及驱动部，其用于使上述保持部沿上述输送轴移动；上述检查装置还包括控制部，该控制部在上述保持部位于上述检查部的处理位置的情况下进行使该保持部下降的控制。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述检查装置还包括线性标尺，其具有沿着上述输送轴的座标信息；以及读取部，其用于自上述线性标尺读取上述座标信息； 上述控制部根据上述读取部所读取的座标信息来使该保持部下降。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述检查装置还包括位置检测部件，其设置于与上述处理位置对应的位置；以及上述位置检测部件的检测对象，其与各保持部对应地设置；上述控制部根据上述位置检测部件检测出上述检测对象这样的信息来使该保持部下降。
4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述控制部根据上述驱动部的驱动速度及驱动时间而在规定的时机使该保持部下降。
5.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述检查部具有用于对上述基板进行摄像的摄像部，上述控制部使上述保持部下降到比上述摄像部的焦点深度靠下方的位置。
6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述输送轴至少通过上述处理位置。
7.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于， 上述驱动部设置于上述输送台的宽度方向的中央。
8.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述支承部件具有能够沿上述输送方向旋转的多个自由辊。
9.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，上述支承部件具有利用自空气供给部供给的空气而朝向上述输送台的上方吹出空气的多个吹出孔。
全文摘要
本发明提供在对基板进行摄像时能够减少用于吸附保持基板的吸附部被拍摄进去的检查装置。FPD检查装置(1)包括用于对检查对象的基板(W)实施规定的处理的检查单元(100)及整体图像获得部(13)；及用于载置基板而输送该基板的输送台(12、20、21)；输送台包括至少以能够沿输送基板的输送方向(D)移动的方式支承基板的自由辊(121、201、211)；及具有用于吸附保持基板的吸附部、以及支承吸附部并使吸附部沿与输送方向平行地延伸的输送轴(31)移动的驱动部(32)的驱动机构(30)；该检查装置还包括在吸附部位于整体图像获得部(13)的处理位置的情况下进行使该吸附部下降的控制的控制部(1b)。
文档编号H01L21/677GK102455303SQ201110332038
公开日2012年5月16日 申请日期2011年10月27日 优先权日2010年10月27日
发明者木内智一, 赤羽至 申请人:奥林巴斯株式会社