检查装置制造方法
检查装置制造方法
【专利摘要】提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
【专利说明】检查装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具备对如液晶面板那样的显示面板等被检查体进行电性检查的探测单元机构的检查装置。
【背景技术】
[0002]以往，如液晶显示面板那样的显示面板等被检查体一般在该被检查体的侧端部设置有多个电极。检查装置使探针与上述被检查体的各电极接触而通电，通过点亮确认等来进行电性检查。
[0003]关于如液晶显示面板那样的显示面板等被检查体，不仅由于该被检查体的大小的不同还由于规格等的差异，该被检查体的种类也各式各样。这种各式各样的被检查体的侧端部的电极的数量、配置也与该被检查体的种类对应地各不相同。因此，对于每个不同种类的被检查体需要改变了探针的配置以接触上述电极的不同的多个探测单元机构。
[0004]以往的检查装置是以被检查体与探测单元机构为--对应的关系而构成的。SP，
与一种被检查体对应地设置有一种探测单元机构。因此，在一台检查装置中仅能够进行一种被检查体的检查。为了检查不同种类的被检查体，需要准备具备与各个被检查体对应的探测单元机构的多种检查装置以进行检查。
[0005]或者，需要在一台检查装置中进行与被检查体的种类相应地更换探测单元机构的操作。
[0006]存在一种能够与大小不同的被检查体的电极位置对应地变更上述探针的位置的检查装置(专利文献1、专利文献2)。
[0007]该检查装置具备如下的探测单元机构:具备探针的多个探测单元能够沿着引导件进行移动。即，构成为用户通过使上述探测单元沿着引导件进行移动并进行调整，能够使各个探针与上述大小不同的被检查体的电极位置相向。
[0008]专利文献1:日本特开2007-316022号公报
[0009]专利文献2:日本特开2008-122145号公报
【发明内容】
[0010]发明要解决的问题
[0011]以往的检查装置是与一种被检查体对应地设置一种探测单元机构。因此，在一台检查装置中仅能够进行一种被检查体的检查。
[0012]用户通能够过将上述探测单元机构更换为其它种类的探测单元机构，来在一台检查装置中进行不同种类的被检查体的检查。但是，无法在进行该更换操作的期间进行检查。
[0013]在上述探测单元机构是专利文献1、专利文献2所记载的构造的情况下，也能够通过使上述探测单元进行移动并进行调整，来在一台检查装置中进行不同种类的被检查体的检查。但是，无法在进行上述调整操作的期间进行检查。
[0014]上述调整操作通常花费大量时间，因此存在检查装置的运转率低、该被检查体的检查工序的生产率低这样的问题。
[0015]本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种检查装置，在一台检查装置中应对不同种类的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。
[0016]用于解决问题的方案
[0017]为了达成上述课题，本发明的第一方式的检查装置是一种检查被检查体的检查装置，该检查装置的特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
[0018]本方式的检查装置在一台检查装置中可移动地具备多个探测单元机构，且在其移动线上配置有被检查体的检查位置。因而，能够通过与种类不同的被检查体对应地安装多个不同的探测单元机构，来容易地以一台检查装置实现对种类不同的被检查体的检查。
[0019]另外，能够在使一个探测单元机构移动到相应的上述检查位置处并执行相应的被检查体的检查的期间，使其它探测单元机构移动到与上述检查位置不同的调整操作位置，并进行上述探测单元机构所具有的探测单元的位置调整或者上述探测单元机构的更换、保养等调整操作。由此，能够在开始利用上述其它探测单元机构进行的检查工序之前，预先结束对该其它探测单元机构进行的调整操作来使该其它探测单元机构成为准备完成的状态。
[0020]因而，能够一旦到利用上述其它探测单元机构进行的检查工序的开始时刻就立即开始检查，能够提高该检查装置的运转率。即，能够在一台检查装置中检查种类不同的被检查体，并且能够提高上述被检查体的检查工序的生产率。
[0021]并且，根据本方式，多个上述探测单元机构在相同的方向线上移动，因此能够共用用于使多个各探测单元机构移动的驱动机构，从而使结构简化。另外，在上述移动的方向线上存在上述检查位置，因此只要使位于上述调整操作位置的探测单元机构相对于上述检查位置在直线上移动就能够到达上述检查位置来进行检查。因而，易于使上述探测单元机构进入上述检查位置。
[0022]此夕卜，在此“被检查体”设为不仅包括液晶显示面板，还包括有机EL(ElectroLuminescence:电致发光)面板、等离子体面板、FED (场发射)面板等平面型显示面板。
[0023]本发明的第二方式的检查装置的特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述探测单元机构能够与上述检查位置相接触地进行移动和与上述检查位置相分离地进行移动。
[0024]本方式的检查装置在一台检查装置中可移动地具备多个探测单元机构，且上述多个探测单元机构能够与检查位置相接触地进行移动和与检查位置相分离地进行移动。因而，能够通过与种类不同的被检查体对应地安装多个不同的探测单元机构，来容易地以一台检查装置实现对不同种类的被检查体的检查。
[0025]另外，根据本方式，能够在一个探测单元机构接近位于上述检查位置的上述被检查体并执行检查的期间，使其它探测单元机构移动到远离上述检查位置的位置处并进行上述探测单元机构所具有的探测单元的位置调整、保养或者上述探测单元机构的更换等调整操作。由此，能够在开始利用上述其它探测单元机构进行的检查工序之前，预先结束对该其它探测单元机构进行的调整操作来使该其它探测单元机构成为准备完成的状态。
[0026]因而，能够一旦到利用上述其它探测单元机构进行的检查工序的开始时刻就立即开始检查，能够提高检查装置的运转率。即，能够在一台检查装置中检查种类不同的被检查体，并且能够提高被检查体的检查工序的生产率。
[0027]本发明的第三方式的特征在于，在第一方式或者第二方式所涉及的检查装置中，上述检查位置被上述多个探测单元机构所共用。
[0028]根据本方式，多个上述探测单元机构共用上述被检查体的上述检查位置，因此能够简化上述检查装置的结构，能够使上述检查装置小型化。另外，能够降低上述检查装置的成本。
[0029]本发明的第四方式的特征在于，在第一方式至第三方式中的任一方式所涉及的检查装置中，上述检查装置在各探测单元机构进行移动的线上具备与各探测单元机构分别对应的调整操作位置。
[0030]根据本方式，各探测单元机构在该探测单元机构进行移动的线上具备相应的调整操作位置。因而，通过使一个上述探测单元机构进行移动而位于上述调整操作位置，能够与执行和中断针对位于上述检查位置的上述被检查体的检查相独立地，对当该探测单元机构进行上述调整操作。
[0031]另外，例如通过将位于上述移动线上的上述调整操作位置设置在用户容易接近的位置、例如能够从上述检查装置的周围或者外部进行调整的位置，易于对移动到该调整操作位置的上述探测单元机构进行上述调整操作。
[0032]本发明的第五方式的特征在于，在第四方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备一对上述探测单元机构，上述探测单元机构一体地进行移动，当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
[0033]根据本方式，使上述一对探测单元机构移动的驱动单元使上述一对探测单元机构一体地进行移动，因此与使各探测单元机构个别地进行移动的驱动单元相比能够使结构简化。
[0034]并且，根据本方式，只要使上述探测单元机构移动到规定的位置的一个工序的动作就能够使一对上述探测单元机构的其中一个上述探测单元机构位于上述被检查体的上述检查位置，使另一个上述探测单元机构位于该探测单元机构的上述调整操作位置。即，在一个上述探测单元机构对载置于上述检查位置的上述被检查体进行检查的状态下，另一个上述探测单元机构为退避到上述调整操作位置的状态。
[0035]因而，能够以上述一对探测单元机构向规定位置移动这样的一个工序来进行开始对一个上述被检查体的检查和开始对另一个被检查体的检查的准备，因此能够实现检查工序整体的时间缩短，能够提高检查效率。另外，能够通过缩短时间来提高上述被检查体的检
查工序的生产率。
[0036]本发明的第六方式的特征在于，在第四方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备:一对上述探测单元机构，其构成为能够各自进行移动；以及控制部，其对上述一对上述探测单元机构各自的移动进行控制，其中，上述控制部使上述一对上述探测单元机构进行移动，使得当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
[0037]根据本方式，在一对上述探测单元机构中，上述控制部使上述一对探测单元机构进行移动，使得当其中一个上述探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该探测单元机构的上述调整操作位置。由此，能够在其中一个上述探测单元机构在上述检查位置处进行上述被检查体的检查的期间，对位于相应的上述调整操作位置的另一个上述探测单元机构进行上述调整操作。因而，能够在一台检查装置中应对种类不同的上述被检查体的检查，并且提高上述检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。
[0038]本发明的第七方式的特征在于，在第一方式至第五方式中的任一方式所涉及的检查装置中，还具备通过线缆与上述多个探测单元机构分别连接的电信号接收部，上述电信号接收部构成为能够向与上述多个探测单元机构的移动方向相同的方向移动。
[0039]根据本方式，通过线缆与多个上述探测单元机构分别连接的电信号接收部构成为能够向与多个上述探测单元机构相同的方向移动。由此，当上述探测单元机构进行移动时，上述电信号接收部也能够与上述探测单元机构一起向相同的方向移动。因此，即使上述探测单元机构与上述电信号接收部进行移动，两者的相对的位置关系也不变。
[0040]因而，能够使将上述探测单元机构与上述电信号接收部相连接的上述线缆的长度短于固定结构。其结果是，能够在上述线缆中使从外部收到的噪声的影响最小，能够提高上述被检查体的检查的测量精度。
[0041]本发明的第八方式的特征在于，在第一方式至第七方式中的任一方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备一对探测单元机构，各探测单元机构具备多个探测单元，其中的一个探测单元机构的探测单元被设置在上述一个探测单元机构的、与另一个探测单元机构相向的一侧的相反侧，上述另一个探测单元机构的探测单元被设置在上述另一个探测单元机构的、与上述一个探测单元机构相向的一侧的相反侧。
[0042]根据本方式，在其中一个上述探测单元机构中，多个上述探测单元被设置在与另一个上述探测单元机构相反一侧。由此,能够在使上述探测单元机构移动到上述调整操作位置时，使作为调整对象的上述探测单元位于用户能够从上述检查装置的周围或者外部接近的一侧。
[0043]因而，当进行上述探测单元的保养更换或者位置对准之类的调整操作时，用户能够从检查装置的周围操作性良好地进行上述探测单元的上述调整操作。
[0044]本发明的第九方式的特征在于，在第二方式中，一个上述探测单元机构的移动方向与至少一个其它的上述探测单元机构的移动方向交叉。
[0045]根据本方式，在具备多个上述探测单元机构的检查装置中，能够使各探测单元的移动方向交叉，因此能够还应对具有设置在上述被检查体的交叉的两条边的侧端部的电极、即被矩阵型地配置的上述电极的上述被检查体。
【专利附图】
【附图说明】
[0046]图1是本发明的第一实施例所涉及的检查装置的立体图。
[0047]图2是在第一实施例中第一探测单元机构位于维护位置时的侧视图。[0048]图3是在第一实施例中第一探测单元机构位于被检查体的检查位置时的侧视图。
[0049]图4的(A)是第一实施例中的检查装置的第一检查工序的俯视图，图4的(B)是第一实施例中的检查装置的第二检查工序的俯视图。
[0050]图5的(A)是第一实施例中的检查装置的第三检查工序的俯视图，图5的(B)是第一实施例中的检查装置的第四检查工序的俯视图。
[0051]图6是第二实施例所涉及的检查装置的俯视图。
[0052]图7的(A)是在第二实施例中的检查装置中表示第一探测单元机构的检查位置的俯视图，图7的(B)是在第二实施例中的检查装置中表示第二探测单元机构的检查位置的俯视图。
[0053]图8是第三实施例所涉及的检查装置的俯视图。
[0054]图9是第四实施例所涉及的检查装置的俯视图
[0055]附图标记说明
[0056]10、46、60、70:检查装置；12:被检查体检查部；14:检查部驱动机构；16:被检查体检查台；18:被检查体提供部；20、48、50、62、66、74:基座；22:第一探测单元机构；24 --第二探测单元机构；26、52、54、78:电信号接收部；28:探测单元；30:导轨；32:探针;34、36:直线驱动机构；38:载置面；40:带式输送机；42:被检查体输送爪；44、56、58、80:线缆；51:控制部；64:第一检查部驱动机构；68、76:第二检查部驱动机构；72:第三探测单元机构；P:被检查体；P1、P2、P3:电极；X1:第一探测单元机构维护位置；X2:第二探测单元机构检查位置；X3:第一探测单元机构检查位置；X4:第二探测单元机构维护位置；Z1:被检查体安置位置；Z2:被检查体检查位置。
【具体实施方式】
[0057]下面，基于【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式。此外，在各实施例中对相同的结构附加相同的附图标记，仅在最初的实施例中进行说明，而在之后的实施例中省略其结构的说明。
[0058]<第一实施例>
[0059]参照图1，检查装置10具备被检查体检查部12、检查部驱动机构14、被检查体检查台16以及被检查体提供部18。被检查体检查部12具备基座20、第一探测单元机构22、第二探测单元机构24、电信号接收部26以及控制部51。
[0060]基座20构成为矩形。第一探测单元机构22在基座20的上面被配置在X轴方向上的+X侧的端部。另一方面，第二探测单元机构24在基座20的上面被配置在X轴方向上的-X侧的端部。即，在基座20上在X轴方向上隔开间隔地设置有一对探测单元机构22、24。
[0061]第一探测单元机构22和第二探测单元机构24各自具备多个探测单元28。在第一探测单元机构22和第二探测单元机构24中分别具备在基座20上沿Y轴方向延伸的导轨30。第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28分别以能够调整Y轴方向上的间隔的方式被安装于相应的导轨30上。
[0062]在各探测单元28的前端，以从探测单元28突出并在Y轴方向上隔开规定间隔的方式设置有多个探针32。另`外，探测单元28构成为能够将探针32的前端位置在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上进行微调。各探测单元28的各探针32构成为在检查被检查体P时，在设置于被检查体P的侧端部的多个电极处与分别对应于探针32的电极接触来进行通电检查。
[0063]另外，本实施例的第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28在各探测单元间的间隔是等距离的情况下，通过被控制部51控制的探测单元驱动机构(未图示)来等间隔地配置。并且，各探测单元28在各探测单元间的间隔不是等距离的情况下，在后述的第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)和第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)处由用户调整Y轴方向的间隔。
[0064]此外，能够将本实施例中的第一探测单元机构22、第二探测单元机构24、各探测单元28以及探针32分别设为与日本特开2008-122145号公报和日本特开2007-316022号公报中公开的可动式探测单元机构、探测单元以及探针等的结构相同。
[0065]上述检查部驱动机构14构成为在Y轴方向上隔开间隔地配置且在X轴方向上延伸的一对直线驱动机构34、36。检查部驱动机构14通过未图示的驱动源使基座20以能够与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24 —体地沿着X轴方向进行往复运动的方式进行移动。即基座20在后述第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)与后述第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)之间进行移动，该维护位置Xl在检查部驱动机构14中位于X轴方向上的+X侧的端部，该维护位置X4在检查部驱动机构14中位于X轴方向上的-X侧的端部。
[0066]被检查体检查台16在Y轴方向上位于检查部驱动机构14的一对直线驱动机构34,36之间，并且在X轴方向上配置在第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)与第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)之间。被检查体检查台16构成为XYZ Θ台，构成为能够使设置在最上部的被检查体的载置面38向X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及Θ方向(旋转)位移。
[0067]另外，在被检查体检查部12的基座20在X轴方向上移动时，被检查体检查台16使载置面38位移到基座20的下方，使得被检查体检查台16与基座20不发生干扰。
[0068]并且，被检查体检查台16使载置面38在被检查体安置位置Zl (参照图2)与被检查体检查位置Z2 (参照图2)之间进行位移，该被检查体安置位置Zl是在Z轴方向上从被检查体提供部18提供被检查体P并载置于载置面38的位置，该被检查体检查位置Z2是通过第一探测单元机构22和第二探测单元机构24对载置于载置面38的被检查体P进行检查的位置。
[0069]另外，能够在被检查体检查台16的载置面38上载置与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的被检查体P。因此，被检查体检查台16是与第一探测单元机构22对应的检查台即检查位置，并且兼作与第二探测单元机构24对应的检查台即检查位置。因此，被检查体检查台16构成为与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24对应的共用的检查位置。
[0070]被检查体提供部18在本实施例中提供带式输送机40和被检查体输送爪42。带式输送机40在Y轴方向上被配置在与直线驱动机构34的侧面、S卩与直线驱动机构36相向的一侧(-Y方向)相反的一侧(+Y方向)。带式输送机40构成为沿着X轴方向延伸，能够在进行检查装置10的前一工序的位置与检查装置10之间以及进行检查装置10的后一工序的位置与检查装置10之间输送被检查体P。[0071]被检查体输送爪42在X轴方向上被配置在与被检查体检查台16对应的位置处。被检查体输送爪42在Z轴方向上被配置成与被检查体检查台16的被检查体安置位置Z1对应的高度。另外，被检查体输送爪42构成为在待机位置(图4的(B)中的位置)与载置面38之间在Y轴方向上伸缩自如，且构成为能够从X轴方向两侧把持被检查体P。因此，被检查体输送爪42能够使通过带式输送机40从进行检查装置10的前一工序的位置处输送来的被检查体P从带式输送机40向被检查体安置位置Z1状态下的被检查体检查台16移动并载置于载置面38。
[0072]电信号接收部26利用用于发送接收电信号的线缆44分别与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28相连接。电信号接收部26具备如下的电路测试的功能:在使各探测单元28的探针32与被检查体P的电极接触来进行通电检查时，通过发送和接收电信号来确认各电极的断线、短路、不良。
[0073]另外，电信号接收部26在本实施例中以能够沿着X轴方向进行移动的方式被设置在直线驱动机构36的上部。并且，电信号接收部26构成为与基座20在X轴方向上的移动同步地在X轴方向上移动。
[0074]控制部51分别与检查部驱动机构14、被检查体检查台16、被检查体提供部18、第一探测单元机构22、第二探测单元机构24以及电信号接收部26电连接。控制部51经由检查部驱动机构14控制基座20的X轴方向的移动，控制被检查体检查台16的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及Θ旋转的移动，在被检查体提供部18中控制被检查体P搬入被检查体检查台16和从被检查体检查台16搬出。
[0075]并且，控制部51还控制第一探测单元机构22和第二探测单元机构24中的各探测单元28。此外，在图1、图6、图8以及图9中将控制部51与检查装置10、46、60、70的各构成要素连接的点划线示意性地示出各构成要素接受控制部51的控制的情况。
[0076]此外，在图2、图3、图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)、图5的(B)、图7的(A)以及图7的(B)中上述点划线省略。
[0077]参照图2和图3说明基座20、第一探测单元机构22以及第二探测单元机构24的X轴方向上的移动。
[0078]在图2中，基座20在X轴方向上位于检查部驱动机构14的+X侧端部。此时，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构维护位置XI。即，第一探测单元机构22的各探测单元28朝向检查装置10的外侧(周围)即+X方向突出。因此，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32为向检查装置10之外露出的状态，易于通过目视来进行各探测单元28的位置调整。
[0079]例如，使各探测单元28以不规则的间隔配置等变得容易。另外，易于对具有因多次检查而磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0080]并且，当第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构维护位置XI时，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构检查位置X2。在这种情况下，设置在被检查体P的侧端部的电极被设置在被检查体P的+X侧的侧端部，与第二探测单元机构24的探针32对应。
[0081]因此，能够在通过第二探测单元机构24对与第二探测单元机构24对应的被检查体P进行通电检查的期间，对第一探测单元机构22的各探测单元28进行位置调整、对具有磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0082]参照图3，示出使基座20从基座20位于检查部驱动机构14的+X侧端部的状态(参照图2)沿着X轴方向向-X方向移动从而位于检查部驱动机构14的-X侧端部的状态。
[0083]此时，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构维护位置X4。即，第二探测单元机构24的各探测单元28朝向检查装置10的外侧(周围)即-X方向突出。因此，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32为向检查装置10之外露出的状态，易于通过目视来进行各探测单元28的位置调整。例如使各探测单元28以不规则的间隔配置等变得容易。另外，易于对具有因多次检查而磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0084]并且，当第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构维护位置X4时，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构检查位置X3。在这种情况下，设置于被检查体P的侧端部的电极被设置在被检查体P的-X侧的侧端部，与第一探测单元机构22的探针32对应。
[0085]因此，能够在通过第一探测单元机构22对与第一探测单元机构22对应的被检查体P进行通电检查的期间，对第二探测单元机构24的各探测单元28进行位置调整、对具有磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0086]因而，在本实施例的检查装置10中，能够在第一探测单元机构22检查被检查体P的期间在第二探测单元机构24中进行位置调整、保养操作，能够在第二探测单元机构24检查被检查体P的期间在第一探测单元机构22中进行位置调整、保养操作。
[0087]即，在任一个探测单元机构的调整操作过程中，另一个探测单元机构都执行被检查体P的检查，因此能够提高检查装置10的运转率。由此，检查装置10的生产率提高。
[0088]并且，检查装置10能够设为使与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的被检查体P的种类不同的检查装置，因此能够以一台检查装置来应对多种被检查体。
[0089]接着，参照图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)以及图5的⑶说明本实施例中的检查装置10的检查工序。此外，在图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)以及图5的(B)中，被检查体P是与第一探测单元机构22对应的被检查体，其电极Pl的位置在被检查体中被设置在-X方向侧的侧端部。
[0090]图4的(A)示出第一检查工序。通过带式输送机40从检查装置10的前一工序输送来的被检查体P在X轴方向上的与被检查体检查台16对应的位置处由被检查体输送爪42把持X轴方向两侧，来从带式输送机40上被载置到被检查体检查台16上部的载置面38上。
[0091]此时，被检查体检查台16上部的载置面38在Z轴方向上位于被检查体安置位置Zlo因此，输送被检查体P的被检查体输送爪42和被检查体P不会与第二探测单元机构24发生干扰。
[0092]接着，图4的(B)示出第二检查工序。被检查体输送爪42在将被检查体P载置于被检查体检查台16上部的载置面38之后，在Y方向上收缩并退避到被检查体输送爪42的待机位置(图4的(B)的位置)。在被检查体输送爪42退避后，基座20沿着X轴方向从+X方向向-X方向移动。即，使第一探测单元机构22从第一探测单元机构维护位置Xl移动到第一探测单元机构检查位置X3。此时，电信号接收部26也与基座20的移动同步地向-X方向移动。此外，在该时间点，载置面38维持位于被检查体安置位置Z1的状态。
[0093]接着，图5的(A)示出第三检查工序。当第一探测单元机构22移动到第一探测单元机构检查位置X3时，被检查体检查台16使载置面38从被检查体安置位置Z1向+Z方向上升而位移到被检查体检查位置Z2。然后，被检查体检查台16使载置面38在X轴方向、Y轴方向以及Θ方向上微动来进行位置调整即对准动作。
[0094]而且，当被检查体P的电极P1与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32的位置一致时，再次使被检查体检查台16向+Z方向稍微上升以使探针32按压电极P1来进行通电检查。此外，本实施例中的通电检查是确认构成为被检查体P的多个电路群是否存在断线、短路、不良的开短路检查。
[0095]接着，图5的⑶示出第四检查工序。在通电检查结束后，被检查体检查台16使载置面38从被检查体检查位置Z2向-Z方向下降而位移到被检查体安置位置Z1。当载置面38位于被检查体安置位置Z1时，被检查体输送爪42从退避位置(参照图5的(A))伸长到载置面38的位置，来把持被检查体P的X轴方向的两侧端。之后，被检查体输送爪42将把持状态下的被检查体P移送到带式输送机40上，载置于带式输送机40。载置于带式输送机40的被检查体P被输送到检查装置10的后一工序。
[0096]并且，在通过第一探测单元机构22继续进行通电检查的情况下，利用被检查体输送爪42把持从带式输送机40上输送来的下一个检查对象的被检查体P并从带式输送机40上向载置面38移送，载置于载置面38。之后，反复进行第三工序和第四工序。
[0097]另外，在第四工序后对与第二探测单元机构24对应的被检查体P (在X轴方向上在+X方向侧的侧端部设置有电极P2。)进行检查的情况下，使基座20在X轴方向上向+X方向移动，使第二探测单元机构24从第二探测单元机构维护位置X4移动到第二探测单元机构检查位置X2。此外，此时电信号接收部26与基座20的移动同步地向+X方向移动。
[0098]接着，进行第三工序的对准动作，通过第二探测单元机构24进行被检查体P的通电检查。通电检查后，通过被检查体输送爪42将结束了检查的被检查体P从载置面38移回到带式输送机40上，将新的被检查体P从带式输送机40上载置于载置面38，通过第二探测单元机构24进行被检查体P的通电检查。
[0099]此外，在上述说明中，设为将第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28的各探针32分别配置在与检查对象的被检查体P的Y轴方向上的电极位置对应的位置处的状态。
[0100]另外，例如在图4的(A)中，在代替具备电极P1的被检查体P而将具备电极P2的其它种类的被检查体P载置于载置面38的状态下，第二探测单元机构24的各探测单元28的各探针32没有对应于等间隔地配置的电极P2的位置的情况下，如下面那样进行调整。用户以手动方式调整探测单元28的位置来进行位置对准。
[0101]此外，还能够在第二探测单元机构24中通过由控制部(未图示)控制的驱动机构(未图示)来自动地重新等间隔地配置各探测单元28，使其对应于电极P2的位置。
[0102]再次参照图4的(A)和图4的(B)，当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI时，电信号接收部26位于在X轴方向上与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32相距长度L1的距离的位置处(位置X5)。另外，在这种情况下，电信号接收部26位于在X轴方向上与第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32相距长度L2的距离的位置处(位置X5)。
[0103]参照图5的(A)和图5的(B)，当第一探测单元机构22从第一探测单元机构维护位置Xl起进行移动而位于第一探测单元机构检查位置X3时，电信号接收部26位于在X轴方向上与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32相距长度LI的距离的位置处(位置X6)。另外，在这种情况下，电信号接收部26位于在X轴方向上与第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32相距长度L2的距离的位置处(位置X6)。
[0104]g卩，电信号接收部26与基座20同步地在X轴方向上移动，因此电信号接收部26与第一探测单元机构22的相对关系以及电信号接收部26与第二探测单元机构24的相对关系在电信号接收部26的移动前后都不变。
[0105]因此，能够使将电信号接收部26和第一探测单元机构22相连接的线缆44的长度为固定长度，且为最短的长度。同样，能够使将电信号接收部26和第二探测单元机构24相连接的线缆44的长度也为最短。由此，能够减少电信号接收部26所接收的电信号中来自线缆44的噪声的影响，能够提高电信号接收部26的测量精度。
[0106]〈第二实施例〉
[0107]参照图6、图7的⑷以及图7的⑶说明第二实施例的检查装置46。第二实施例的检查装置46与第一实施例的不同之处在于，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24构成为能够在X轴方向上独立地移动。
[0108]在检查装置46中，第一探测单元机构22被设置在基座48上，构成为能够在X轴方向上移动。另外，第二探测单元机构24被设置在基座50上，构成为能够在X轴方向上移动。此外，通过控制部51来控制基座48、50的X轴方向上的移动。
[0109]另外，与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的电信号接收部52、54被设置在直线驱动机构36的上部。电信号接收部52、54构成为能够分别与具备第一探测单元机构22的基座48和具备第二探测单元机构24的基座50的X轴方向上的动作同步地进行移动。
[0110]参照图7的(A)，在第一探测单元机构22检查被检查体P的期间第二探测单元机构24位于维护位置，能够进行各探测单元28的位置调整以及保养操作。
[0111]另外，参照图7的(B)，在第二探测单元机构24检查被检查体P的期间第一探测单元机构22位于维护位置，能够进行各探测单元28的位置调整以及保养操作。
[0112]另外，第一探测单元机构22和电信号接收部52在移动后相对位置也不会变化，因此能够使将第一探测单元机构22和电信号接收部52相连接的线缆56的长度最短。同样地，第二探测单元机构24和电信号接收部54在移动后相对位置也不变化，因此能够使将第二探测单元机构24和电信号接收部54相连接的线缆58的长度最短。
[0113]<第一实施例以及第二实施例的变更例>
[0114](I)被检查体检查台16可以设为以下结构:代替配置一个该被检查体检查台的结构而在X轴方向上配置两个被检查体检查台，使第一被检查体检查台16对应于第一探测单元机构22，第二被检查体检查台16对应于第二探测单元机构24。
[0115](2)被检查体检查台16可以构成为代替XYZ Θ台而对基座20、48、50进行X方向的微调并且设为YZ Θ台，还可以构成为圆形索引台。[0116]〈第三实施例〉
[0117]参照图8说明第三实施例的检查装置60。第三实施例的检查装置60与第一实施例的不同之处在于，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24构成为能够各自独立地移动，第二探测单元机构24构成为能够在Y轴方向上移动。
[0118]在检查装置60中，第一探测单元机构22被设置在基座62上，构成为能够通过第一检查部驱动机构64来沿着X轴方向移动。另外，第二探测单元机构24被设置在基座66上，构成为能够通过第二检查部驱动机构68来沿着Y轴方向移动。此外，通过控制部51控制基座62的X轴方向上的移动，通过控制部51控制基座66的Y轴方向上的移动。
[0119]这样，具备能够在X轴方向上移动的第一探测单元机构22和能够在Y轴方向上移动的第二探测单元机构24，由此能够还与具备形成于X轴方向的一端部的电极Pl和形成于Y轴方向的一端部的电极P3的被检查体P、即矩阵状地配置有电极的被检查体P对应地进行检查。
[0120]〈第四实施例〉
[0121]参照图9说明第四实施例的检查装置70。第四实施例的检查装置70除了第二实施例的结构以外还在以下一点上与第一实施例不同:具备能够在Y轴方向上独立地进行移动的第三探测单元机构72。
[0122]检查装置70除了具备第二实施例的结构以外，还具备:第三探测单元机构72，其被设置在基座74上，构成为能够通过第二检查部驱动机构76沿着Y轴方向进行移动；电信号接收部78 ;以及线缆80，其将第三探测单元机构72与电信号接收部78相连接。此外，通过控制部51控制基座48、50的X轴方向上的移动，通过控制部51控制基座74的Y轴方向上的移动。
[0123]这样，通过具备能够在X轴方向上移动的第一探测单元机构22、第二探测单元机构24以及能够在Y轴方向上移动的第三探测单元机构72，能够应对具备形成于X轴方向的两侧端部的电极P1、P2和形成于Y轴方向的一个侧端部的电极P3的被检查体P、即在被检查体P的四条边中的三条边上设置有电极的被检查体P的检查。此外，图9示出被检查体P具备电极Pl和电极P3的情况。
[0124]〈其它变形例〉
[0125](I)在第四实施例中，也可以具备能够在Y轴方向上移动的第四探测单元机构。通过该结构能够应对在四条边上配置有电极的被检查体P的检查。
[0126](2)可以设为在被检查体检查台16的上方设置照相机的结构。通过该结构不仅能够在检查装置10、46、60、70中进行开短路检查，还能够进行被检查体P的点亮检查。
[0127](3)关于被检查体提供部18，可以构成为平板用的输送装载机、输送机器人、吸附被检查体并进行输送的装置等，来代替带式输送机40和被检查体输送爪42的结构。
[0128]综上所述，检查被检查体P的检查装置10、46、60、70具备检查被检查体P的多个探测单元机构22、24、72和与上述多个探测单元机构22、24、72对应的被检查体检查台16。多个探测单元机构22、24能够在相同的方向线上(X轴方向上)移动，在X轴方向线上存在上述检查台16。
[0129]检查被检查体P的检查装置10、46、60、70具备检查被检查体P的多个探测单元机构22、24、72和与多个探测单元机构22、24、72对应的被检查体P的检查台16。探测单元机构22、24、72能够与上述检查台16相接触地进行移动和与上述检查台16相分离地进行移动。
[0130]检查台16被多个探测单元机构22、24所共用。检查装置10、46、60、70在第一探测单元机构22和第二探测单元机构24进行移动的线上具备与各探测单元机构22、24分别对应的第一探测单元机构维护位置XI和第二探测单元机构维护位置X4。
[0131]检查装置10具有一对探测单元机构22、24，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24 —体地进行移动，当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构检查位置X3时，第二探测单元机构24位于第二探测单元机构维护位置X4，当第二探测单元机构24位于第二探测单元机构检查位置X2时，第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI。
[0132]检查装置46具备构成为能够各自地进行移动的一对探测单元机构22、24和对一对探测单元机构22、24各自的移动进行控制的控制部51。控制部51使上述一对探测单元机构22、24进行移动，使得当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构检查位置X3时，第二探测单元机构24位于第二探测单元机构维护位置X4，当第二探测单元机构24位于第二探测单元机构检查位置X2时，第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI。
[0133]具备通过线缆与多个探测单元机构22、24、72分别连接的电信号接收部26、52、54、78。电信号接收部26、52、54、78构成为能够向与多个探测单元机构22、24、72相同的方向移动。
[0134]上述检查装置10、46具有一对探测单元机构22、24，各探测单元机构22、24具备多个探测单元28，其中一个探测单元机构22、24的探测单元28被设置在与另一个探测单元机构22、24相向的一侧的相反侧，另一个探测单元机构22、24的探测单元28被设置在与其中一个探测单元机构22、24相向的一侧的相反侧。
[0135]在检查装置60、70中，一个探测单元机构22、24、72的移动方向与至少一个其它探测单元机构22、24、72的移动方向交叉。
[0136]此外，本发明并不限定于上述实施例，能够在专利权利要求书所记载的发明的范围内进行各种变形，这些变形当然也应包含于本发明的范围内。
【权利要求】
1.一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
2.一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述探测单元机构能够与上述检查位置相接触地进行移动和与上述检查位置相分离地进行移动。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查位置被上述多个探测单元机构所共用。
4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置在各探测单元机构进行移动的线上具备与各探测单元机构分别对应的调整操作位置。
5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备一对上述探测单元机构，上述探测单元机构一体地进行移动，当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
6.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备:一对上述探测单元机构，其构成为能够各自进行移动；以及控制部，其对上述一对上述探测单元机构各自的移动进行控制，其中，上述控制部使上述一对上述探测单元机构进行移动，使得当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，还具备通过线缆与上述多个探测单元机构分别连接的电信号接收部，上述电信号接收部构成为能够向与上述多个探测单元机构的移动方向相同的方向移动。
8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备一对探测单元机构，各探测单元机构具备多个探测单元，其中的一个探测单元机构的探测单元被设置在上述一个探测单元机构的、与另一个探测单元机构相向的一侧的相反侧， 上述另一个探测单元机构的探测单元被设置在上述另一个探测单元机构的、与上述一个探测单元机构相向的一侧的相反侧。
9.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于， 一个上述探测 单元机构的移动方向与至少一个其它的上述探测单元机构的移动方向交叉。
【文档编号】G01R31/00GK103728505SQ201310481443
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年10月15日 优先权日:2012年10月15日
【发明者】三浦一佳, 高木一也, 夏堀公士 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
【专利摘要】提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
【专利说明】检查装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具备对如液晶面板那样的显示面板等被检查体进行电性检查的探测单元机构的检查装置。
【背景技术】
[0002]以往，如液晶显示面板那样的显示面板等被检查体一般在该被检查体的侧端部设置有多个电极。检查装置使探针与上述被检查体的各电极接触而通电，通过点亮确认等来进行电性检查。
[0003]关于如液晶显示面板那样的显示面板等被检查体，不仅由于该被检查体的大小的不同还由于规格等的差异，该被检查体的种类也各式各样。这种各式各样的被检查体的侧端部的电极的数量、配置也与该被检查体的种类对应地各不相同。因此，对于每个不同种类的被检查体需要改变了探针的配置以接触上述电极的不同的多个探测单元机构。
[0004]以往的检查装置是以被检查体与探测单元机构为--对应的关系而构成的。SP，
与一种被检查体对应地设置有一种探测单元机构。因此，在一台检查装置中仅能够进行一种被检查体的检查。为了检查不同种类的被检查体，需要准备具备与各个被检查体对应的探测单元机构的多种检查装置以进行检查。
[0005]或者，需要在一台检查装置中进行与被检查体的种类相应地更换探测单元机构的操作。
[0006]存在一种能够与大小不同的被检查体的电极位置对应地变更上述探针的位置的检查装置(专利文献1、专利文献2)。
[0007]该检查装置具备如下的探测单元机构:具备探针的多个探测单元能够沿着引导件进行移动。即，构成为用户通过使上述探测单元沿着引导件进行移动并进行调整，能够使各个探针与上述大小不同的被检查体的电极位置相向。
[0008]专利文献1:日本特开2007-316022号公报
[0009]专利文献2:日本特开2008-122145号公报
【发明内容】
[0010]发明要解决的问题
[0011]以往的检查装置是与一种被检查体对应地设置一种探测单元机构。因此，在一台检查装置中仅能够进行一种被检查体的检查。
[0012]用户通能够过将上述探测单元机构更换为其它种类的探测单元机构，来在一台检查装置中进行不同种类的被检查体的检查。但是，无法在进行该更换操作的期间进行检查。
[0013]在上述探测单元机构是专利文献1、专利文献2所记载的构造的情况下，也能够通过使上述探测单元进行移动并进行调整，来在一台检查装置中进行不同种类的被检查体的检查。但是，无法在进行上述调整操作的期间进行检查。
[0014]上述调整操作通常花费大量时间，因此存在检查装置的运转率低、该被检查体的检查工序的生产率低这样的问题。
[0015]本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种检查装置，在一台检查装置中应对不同种类的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。
[0016]用于解决问题的方案
[0017]为了达成上述课题，本发明的第一方式的检查装置是一种检查被检查体的检查装置，该检查装置的特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
[0018]本方式的检查装置在一台检查装置中可移动地具备多个探测单元机构，且在其移动线上配置有被检查体的检查位置。因而，能够通过与种类不同的被检查体对应地安装多个不同的探测单元机构，来容易地以一台检查装置实现对种类不同的被检查体的检查。
[0019]另外，能够在使一个探测单元机构移动到相应的上述检查位置处并执行相应的被检查体的检查的期间，使其它探测单元机构移动到与上述检查位置不同的调整操作位置，并进行上述探测单元机构所具有的探测单元的位置调整或者上述探测单元机构的更换、保养等调整操作。由此，能够在开始利用上述其它探测单元机构进行的检查工序之前，预先结束对该其它探测单元机构进行的调整操作来使该其它探测单元机构成为准备完成的状态。
[0020]因而，能够一旦到利用上述其它探测单元机构进行的检查工序的开始时刻就立即开始检查，能够提高该检查装置的运转率。即，能够在一台检查装置中检查种类不同的被检查体，并且能够提高上述被检查体的检查工序的生产率。
[0021]并且，根据本方式，多个上述探测单元机构在相同的方向线上移动，因此能够共用用于使多个各探测单元机构移动的驱动机构，从而使结构简化。另外，在上述移动的方向线上存在上述检查位置，因此只要使位于上述调整操作位置的探测单元机构相对于上述检查位置在直线上移动就能够到达上述检查位置来进行检查。因而，易于使上述探测单元机构进入上述检查位置。
[0022]此夕卜，在此“被检查体”设为不仅包括液晶显示面板，还包括有机EL(ElectroLuminescence:电致发光)面板、等离子体面板、FED (场发射)面板等平面型显示面板。
[0023]本发明的第二方式的检查装置的特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述探测单元机构能够与上述检查位置相接触地进行移动和与上述检查位置相分离地进行移动。
[0024]本方式的检查装置在一台检查装置中可移动地具备多个探测单元机构，且上述多个探测单元机构能够与检查位置相接触地进行移动和与检查位置相分离地进行移动。因而，能够通过与种类不同的被检查体对应地安装多个不同的探测单元机构，来容易地以一台检查装置实现对不同种类的被检查体的检查。
[0025]另外，根据本方式，能够在一个探测单元机构接近位于上述检查位置的上述被检查体并执行检查的期间，使其它探测单元机构移动到远离上述检查位置的位置处并进行上述探测单元机构所具有的探测单元的位置调整、保养或者上述探测单元机构的更换等调整操作。由此，能够在开始利用上述其它探测单元机构进行的检查工序之前，预先结束对该其它探测单元机构进行的调整操作来使该其它探测单元机构成为准备完成的状态。
[0026]因而，能够一旦到利用上述其它探测单元机构进行的检查工序的开始时刻就立即开始检查，能够提高检查装置的运转率。即，能够在一台检查装置中检查种类不同的被检查体，并且能够提高被检查体的检查工序的生产率。
[0027]本发明的第三方式的特征在于，在第一方式或者第二方式所涉及的检查装置中，上述检查位置被上述多个探测单元机构所共用。
[0028]根据本方式，多个上述探测单元机构共用上述被检查体的上述检查位置，因此能够简化上述检查装置的结构，能够使上述检查装置小型化。另外，能够降低上述检查装置的成本。
[0029]本发明的第四方式的特征在于，在第一方式至第三方式中的任一方式所涉及的检查装置中，上述检查装置在各探测单元机构进行移动的线上具备与各探测单元机构分别对应的调整操作位置。
[0030]根据本方式，各探测单元机构在该探测单元机构进行移动的线上具备相应的调整操作位置。因而，通过使一个上述探测单元机构进行移动而位于上述调整操作位置，能够与执行和中断针对位于上述检查位置的上述被检查体的检查相独立地，对当该探测单元机构进行上述调整操作。
[0031]另外，例如通过将位于上述移动线上的上述调整操作位置设置在用户容易接近的位置、例如能够从上述检查装置的周围或者外部进行调整的位置，易于对移动到该调整操作位置的上述探测单元机构进行上述调整操作。
[0032]本发明的第五方式的特征在于，在第四方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备一对上述探测单元机构，上述探测单元机构一体地进行移动，当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
[0033]根据本方式，使上述一对探测单元机构移动的驱动单元使上述一对探测单元机构一体地进行移动，因此与使各探测单元机构个别地进行移动的驱动单元相比能够使结构简化。
[0034]并且，根据本方式，只要使上述探测单元机构移动到规定的位置的一个工序的动作就能够使一对上述探测单元机构的其中一个上述探测单元机构位于上述被检查体的上述检查位置，使另一个上述探测单元机构位于该探测单元机构的上述调整操作位置。即，在一个上述探测单元机构对载置于上述检查位置的上述被检查体进行检查的状态下，另一个上述探测单元机构为退避到上述调整操作位置的状态。
[0035]因而，能够以上述一对探测单元机构向规定位置移动这样的一个工序来进行开始对一个上述被检查体的检查和开始对另一个被检查体的检查的准备，因此能够实现检查工序整体的时间缩短，能够提高检查效率。另外，能够通过缩短时间来提高上述被检查体的检
查工序的生产率。
[0036]本发明的第六方式的特征在于，在第四方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备:一对上述探测单元机构，其构成为能够各自进行移动；以及控制部，其对上述一对上述探测单元机构各自的移动进行控制，其中，上述控制部使上述一对上述探测单元机构进行移动，使得当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
[0037]根据本方式，在一对上述探测单元机构中，上述控制部使上述一对探测单元机构进行移动，使得当其中一个上述探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该探测单元机构的上述调整操作位置。由此，能够在其中一个上述探测单元机构在上述检查位置处进行上述被检查体的检查的期间，对位于相应的上述调整操作位置的另一个上述探测单元机构进行上述调整操作。因而，能够在一台检查装置中应对种类不同的上述被检查体的检查，并且提高上述检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。
[0038]本发明的第七方式的特征在于，在第一方式至第五方式中的任一方式所涉及的检查装置中，还具备通过线缆与上述多个探测单元机构分别连接的电信号接收部，上述电信号接收部构成为能够向与上述多个探测单元机构的移动方向相同的方向移动。
[0039]根据本方式，通过线缆与多个上述探测单元机构分别连接的电信号接收部构成为能够向与多个上述探测单元机构相同的方向移动。由此，当上述探测单元机构进行移动时，上述电信号接收部也能够与上述探测单元机构一起向相同的方向移动。因此，即使上述探测单元机构与上述电信号接收部进行移动，两者的相对的位置关系也不变。
[0040]因而，能够使将上述探测单元机构与上述电信号接收部相连接的上述线缆的长度短于固定结构。其结果是，能够在上述线缆中使从外部收到的噪声的影响最小，能够提高上述被检查体的检查的测量精度。
[0041]本发明的第八方式的特征在于，在第一方式至第七方式中的任一方式所涉及的检查装置中，上述检查装置具备一对探测单元机构，各探测单元机构具备多个探测单元，其中的一个探测单元机构的探测单元被设置在上述一个探测单元机构的、与另一个探测单元机构相向的一侧的相反侧，上述另一个探测单元机构的探测单元被设置在上述另一个探测单元机构的、与上述一个探测单元机构相向的一侧的相反侧。
[0042]根据本方式，在其中一个上述探测单元机构中，多个上述探测单元被设置在与另一个上述探测单元机构相反一侧。由此,能够在使上述探测单元机构移动到上述调整操作位置时，使作为调整对象的上述探测单元位于用户能够从上述检查装置的周围或者外部接近的一侧。
[0043]因而，当进行上述探测单元的保养更换或者位置对准之类的调整操作时，用户能够从检查装置的周围操作性良好地进行上述探测单元的上述调整操作。
[0044]本发明的第九方式的特征在于，在第二方式中，一个上述探测单元机构的移动方向与至少一个其它的上述探测单元机构的移动方向交叉。
[0045]根据本方式，在具备多个上述探测单元机构的检查装置中，能够使各探测单元的移动方向交叉，因此能够还应对具有设置在上述被检查体的交叉的两条边的侧端部的电极、即被矩阵型地配置的上述电极的上述被检查体。
【专利附图】
【附图说明】
[0046]图1是本发明的第一实施例所涉及的检查装置的立体图。
[0047]图2是在第一实施例中第一探测单元机构位于维护位置时的侧视图。[0048]图3是在第一实施例中第一探测单元机构位于被检查体的检查位置时的侧视图。
[0049]图4的(A)是第一实施例中的检查装置的第一检查工序的俯视图，图4的(B)是第一实施例中的检查装置的第二检查工序的俯视图。
[0050]图5的(A)是第一实施例中的检查装置的第三检查工序的俯视图，图5的(B)是第一实施例中的检查装置的第四检查工序的俯视图。
[0051]图6是第二实施例所涉及的检查装置的俯视图。
[0052]图7的(A)是在第二实施例中的检查装置中表示第一探测单元机构的检查位置的俯视图，图7的(B)是在第二实施例中的检查装置中表示第二探测单元机构的检查位置的俯视图。
[0053]图8是第三实施例所涉及的检查装置的俯视图。
[0054]图9是第四实施例所涉及的检查装置的俯视图
[0055]附图标记说明
[0056]10、46、60、70:检查装置；12:被检查体检查部；14:检查部驱动机构；16:被检查体检查台；18:被检查体提供部；20、48、50、62、66、74:基座；22:第一探测单元机构；24 --第二探测单元机构；26、52、54、78:电信号接收部；28:探测单元；30:导轨；32:探针;34、36:直线驱动机构；38:载置面；40:带式输送机；42:被检查体输送爪；44、56、58、80:线缆；51:控制部；64:第一检查部驱动机构；68、76:第二检查部驱动机构；72:第三探测单元机构；P:被检查体；P1、P2、P3:电极；X1:第一探测单元机构维护位置；X2:第二探测单元机构检查位置；X3:第一探测单元机构检查位置；X4:第二探测单元机构维护位置；Z1:被检查体安置位置；Z2:被检查体检查位置。
【具体实施方式】
[0057]下面，基于【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式。此外，在各实施例中对相同的结构附加相同的附图标记，仅在最初的实施例中进行说明，而在之后的实施例中省略其结构的说明。
[0058]<第一实施例>
[0059]参照图1，检查装置10具备被检查体检查部12、检查部驱动机构14、被检查体检查台16以及被检查体提供部18。被检查体检查部12具备基座20、第一探测单元机构22、第二探测单元机构24、电信号接收部26以及控制部51。
[0060]基座20构成为矩形。第一探测单元机构22在基座20的上面被配置在X轴方向上的+X侧的端部。另一方面，第二探测单元机构24在基座20的上面被配置在X轴方向上的-X侧的端部。即，在基座20上在X轴方向上隔开间隔地设置有一对探测单元机构22、24。
[0061]第一探测单元机构22和第二探测单元机构24各自具备多个探测单元28。在第一探测单元机构22和第二探测单元机构24中分别具备在基座20上沿Y轴方向延伸的导轨30。第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28分别以能够调整Y轴方向上的间隔的方式被安装于相应的导轨30上。
[0062]在各探测单元28的前端，以从探测单元28突出并在Y轴方向上隔开规定间隔的方式设置有多个探针32。另`外，探测单元28构成为能够将探针32的前端位置在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上进行微调。各探测单元28的各探针32构成为在检查被检查体P时，在设置于被检查体P的侧端部的多个电极处与分别对应于探针32的电极接触来进行通电检查。
[0063]另外，本实施例的第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28在各探测单元间的间隔是等距离的情况下，通过被控制部51控制的探测单元驱动机构(未图示)来等间隔地配置。并且，各探测单元28在各探测单元间的间隔不是等距离的情况下，在后述的第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)和第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)处由用户调整Y轴方向的间隔。
[0064]此外，能够将本实施例中的第一探测单元机构22、第二探测单元机构24、各探测单元28以及探针32分别设为与日本特开2008-122145号公报和日本特开2007-316022号公报中公开的可动式探测单元机构、探测单元以及探针等的结构相同。
[0065]上述检查部驱动机构14构成为在Y轴方向上隔开间隔地配置且在X轴方向上延伸的一对直线驱动机构34、36。检查部驱动机构14通过未图示的驱动源使基座20以能够与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24 —体地沿着X轴方向进行往复运动的方式进行移动。即基座20在后述第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)与后述第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)之间进行移动，该维护位置Xl在检查部驱动机构14中位于X轴方向上的+X侧的端部，该维护位置X4在检查部驱动机构14中位于X轴方向上的-X侧的端部。
[0066]被检查体检查台16在Y轴方向上位于检查部驱动机构14的一对直线驱动机构34,36之间，并且在X轴方向上配置在第一探测单元机构的维护位置Xl (参照图2)与第二探测单元机构的维护位置X4(参照图3)之间。被检查体检查台16构成为XYZ Θ台，构成为能够使设置在最上部的被检查体的载置面38向X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及Θ方向(旋转)位移。
[0067]另外，在被检查体检查部12的基座20在X轴方向上移动时，被检查体检查台16使载置面38位移到基座20的下方，使得被检查体检查台16与基座20不发生干扰。
[0068]并且，被检查体检查台16使载置面38在被检查体安置位置Zl (参照图2)与被检查体检查位置Z2 (参照图2)之间进行位移，该被检查体安置位置Zl是在Z轴方向上从被检查体提供部18提供被检查体P并载置于载置面38的位置，该被检查体检查位置Z2是通过第一探测单元机构22和第二探测单元机构24对载置于载置面38的被检查体P进行检查的位置。
[0069]另外，能够在被检查体检查台16的载置面38上载置与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的被检查体P。因此，被检查体检查台16是与第一探测单元机构22对应的检查台即检查位置，并且兼作与第二探测单元机构24对应的检查台即检查位置。因此，被检查体检查台16构成为与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24对应的共用的检查位置。
[0070]被检查体提供部18在本实施例中提供带式输送机40和被检查体输送爪42。带式输送机40在Y轴方向上被配置在与直线驱动机构34的侧面、S卩与直线驱动机构36相向的一侧(-Y方向)相反的一侧(+Y方向)。带式输送机40构成为沿着X轴方向延伸，能够在进行检查装置10的前一工序的位置与检查装置10之间以及进行检查装置10的后一工序的位置与检查装置10之间输送被检查体P。[0071]被检查体输送爪42在X轴方向上被配置在与被检查体检查台16对应的位置处。被检查体输送爪42在Z轴方向上被配置成与被检查体检查台16的被检查体安置位置Z1对应的高度。另外，被检查体输送爪42构成为在待机位置(图4的(B)中的位置)与载置面38之间在Y轴方向上伸缩自如，且构成为能够从X轴方向两侧把持被检查体P。因此，被检查体输送爪42能够使通过带式输送机40从进行检查装置10的前一工序的位置处输送来的被检查体P从带式输送机40向被检查体安置位置Z1状态下的被检查体检查台16移动并载置于载置面38。
[0072]电信号接收部26利用用于发送接收电信号的线缆44分别与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28相连接。电信号接收部26具备如下的电路测试的功能:在使各探测单元28的探针32与被检查体P的电极接触来进行通电检查时，通过发送和接收电信号来确认各电极的断线、短路、不良。
[0073]另外，电信号接收部26在本实施例中以能够沿着X轴方向进行移动的方式被设置在直线驱动机构36的上部。并且，电信号接收部26构成为与基座20在X轴方向上的移动同步地在X轴方向上移动。
[0074]控制部51分别与检查部驱动机构14、被检查体检查台16、被检查体提供部18、第一探测单元机构22、第二探测单元机构24以及电信号接收部26电连接。控制部51经由检查部驱动机构14控制基座20的X轴方向的移动，控制被检查体检查台16的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向以及Θ旋转的移动，在被检查体提供部18中控制被检查体P搬入被检查体检查台16和从被检查体检查台16搬出。
[0075]并且，控制部51还控制第一探测单元机构22和第二探测单元机构24中的各探测单元28。此外，在图1、图6、图8以及图9中将控制部51与检查装置10、46、60、70的各构成要素连接的点划线示意性地示出各构成要素接受控制部51的控制的情况。
[0076]此外，在图2、图3、图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)、图5的(B)、图7的(A)以及图7的(B)中上述点划线省略。
[0077]参照图2和图3说明基座20、第一探测单元机构22以及第二探测单元机构24的X轴方向上的移动。
[0078]在图2中，基座20在X轴方向上位于检查部驱动机构14的+X侧端部。此时，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构维护位置XI。即，第一探测单元机构22的各探测单元28朝向检查装置10的外侧(周围)即+X方向突出。因此，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32为向检查装置10之外露出的状态，易于通过目视来进行各探测单元28的位置调整。
[0079]例如，使各探测单元28以不规则的间隔配置等变得容易。另外，易于对具有因多次检查而磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0080]并且，当第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构维护位置XI时，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构检查位置X2。在这种情况下，设置在被检查体P的侧端部的电极被设置在被检查体P的+X侧的侧端部，与第二探测单元机构24的探针32对应。
[0081]因此，能够在通过第二探测单元机构24对与第二探测单元机构24对应的被检查体P进行通电检查的期间，对第一探测单元机构22的各探测单元28进行位置调整、对具有磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0082]参照图3，示出使基座20从基座20位于检查部驱动机构14的+X侧端部的状态(参照图2)沿着X轴方向向-X方向移动从而位于检查部驱动机构14的-X侧端部的状态。
[0083]此时，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构维护位置X4。即，第二探测单元机构24的各探测单元28朝向检查装置10的外侧(周围)即-X方向突出。因此，第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32为向检查装置10之外露出的状态，易于通过目视来进行各探测单元28的位置调整。例如使各探测单元28以不规则的间隔配置等变得容易。另外，易于对具有因多次检查而磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0084]并且，当第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32位于第二探测单元机构维护位置X4时，第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32位于第一探测单元机构检查位置X3。在这种情况下，设置于被检查体P的侧端部的电极被设置在被检查体P的-X侧的侧端部，与第一探测单元机构22的探针32对应。
[0085]因此，能够在通过第一探测单元机构22对与第一探测单元机构22对应的被检查体P进行通电检查的期间，对第二探测单元机构24的各探测单元28进行位置调整、对具有磨损的探针32的探测单元28进行更换、修补。
[0086]因而，在本实施例的检查装置10中，能够在第一探测单元机构22检查被检查体P的期间在第二探测单元机构24中进行位置调整、保养操作，能够在第二探测单元机构24检查被检查体P的期间在第一探测单元机构22中进行位置调整、保养操作。
[0087]即，在任一个探测单元机构的调整操作过程中，另一个探测单元机构都执行被检查体P的检查，因此能够提高检查装置10的运转率。由此，检查装置10的生产率提高。
[0088]并且，检查装置10能够设为使与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的被检查体P的种类不同的检查装置，因此能够以一台检查装置来应对多种被检查体。
[0089]接着，参照图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)以及图5的⑶说明本实施例中的检查装置10的检查工序。此外，在图4的(A)、图4的(B)、图5的(A)以及图5的(B)中，被检查体P是与第一探测单元机构22对应的被检查体，其电极Pl的位置在被检查体中被设置在-X方向侧的侧端部。
[0090]图4的(A)示出第一检查工序。通过带式输送机40从检查装置10的前一工序输送来的被检查体P在X轴方向上的与被检查体检查台16对应的位置处由被检查体输送爪42把持X轴方向两侧，来从带式输送机40上被载置到被检查体检查台16上部的载置面38上。
[0091]此时，被检查体检查台16上部的载置面38在Z轴方向上位于被检查体安置位置Zlo因此，输送被检查体P的被检查体输送爪42和被检查体P不会与第二探测单元机构24发生干扰。
[0092]接着，图4的(B)示出第二检查工序。被检查体输送爪42在将被检查体P载置于被检查体检查台16上部的载置面38之后，在Y方向上收缩并退避到被检查体输送爪42的待机位置(图4的(B)的位置)。在被检查体输送爪42退避后，基座20沿着X轴方向从+X方向向-X方向移动。即，使第一探测单元机构22从第一探测单元机构维护位置Xl移动到第一探测单元机构检查位置X3。此时，电信号接收部26也与基座20的移动同步地向-X方向移动。此外，在该时间点，载置面38维持位于被检查体安置位置Z1的状态。
[0093]接着，图5的(A)示出第三检查工序。当第一探测单元机构22移动到第一探测单元机构检查位置X3时，被检查体检查台16使载置面38从被检查体安置位置Z1向+Z方向上升而位移到被检查体检查位置Z2。然后，被检查体检查台16使载置面38在X轴方向、Y轴方向以及Θ方向上微动来进行位置调整即对准动作。
[0094]而且，当被检查体P的电极P1与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32的位置一致时，再次使被检查体检查台16向+Z方向稍微上升以使探针32按压电极P1来进行通电检查。此外，本实施例中的通电检查是确认构成为被检查体P的多个电路群是否存在断线、短路、不良的开短路检查。
[0095]接着，图5的⑶示出第四检查工序。在通电检查结束后，被检查体检查台16使载置面38从被检查体检查位置Z2向-Z方向下降而位移到被检查体安置位置Z1。当载置面38位于被检查体安置位置Z1时，被检查体输送爪42从退避位置(参照图5的(A))伸长到载置面38的位置，来把持被检查体P的X轴方向的两侧端。之后，被检查体输送爪42将把持状态下的被检查体P移送到带式输送机40上，载置于带式输送机40。载置于带式输送机40的被检查体P被输送到检查装置10的后一工序。
[0096]并且，在通过第一探测单元机构22继续进行通电检查的情况下，利用被检查体输送爪42把持从带式输送机40上输送来的下一个检查对象的被检查体P并从带式输送机40上向载置面38移送，载置于载置面38。之后，反复进行第三工序和第四工序。
[0097]另外，在第四工序后对与第二探测单元机构24对应的被检查体P (在X轴方向上在+X方向侧的侧端部设置有电极P2。)进行检查的情况下，使基座20在X轴方向上向+X方向移动，使第二探测单元机构24从第二探测单元机构维护位置X4移动到第二探测单元机构检查位置X2。此外，此时电信号接收部26与基座20的移动同步地向+X方向移动。
[0098]接着，进行第三工序的对准动作，通过第二探测单元机构24进行被检查体P的通电检查。通电检查后，通过被检查体输送爪42将结束了检查的被检查体P从载置面38移回到带式输送机40上，将新的被检查体P从带式输送机40上载置于载置面38，通过第二探测单元机构24进行被检查体P的通电检查。
[0099]此外，在上述说明中，设为将第一探测单元机构22和第二探测单元机构24的各探测单元28的各探针32分别配置在与检查对象的被检查体P的Y轴方向上的电极位置对应的位置处的状态。
[0100]另外，例如在图4的(A)中，在代替具备电极P1的被检查体P而将具备电极P2的其它种类的被检查体P载置于载置面38的状态下，第二探测单元机构24的各探测单元28的各探针32没有对应于等间隔地配置的电极P2的位置的情况下，如下面那样进行调整。用户以手动方式调整探测单元28的位置来进行位置对准。
[0101]此外，还能够在第二探测单元机构24中通过由控制部(未图示)控制的驱动机构(未图示)来自动地重新等间隔地配置各探测单元28，使其对应于电极P2的位置。
[0102]再次参照图4的(A)和图4的(B)，当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI时，电信号接收部26位于在X轴方向上与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32相距长度L1的距离的位置处(位置X5)。另外，在这种情况下，电信号接收部26位于在X轴方向上与第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32相距长度L2的距离的位置处(位置X5)。
[0103]参照图5的(A)和图5的(B)，当第一探测单元机构22从第一探测单元机构维护位置Xl起进行移动而位于第一探测单元机构检查位置X3时，电信号接收部26位于在X轴方向上与第一探测单元机构22的各探测单元28的探针32相距长度LI的距离的位置处(位置X6)。另外，在这种情况下，电信号接收部26位于在X轴方向上与第二探测单元机构24的各探测单元28的探针32相距长度L2的距离的位置处(位置X6)。
[0104]g卩，电信号接收部26与基座20同步地在X轴方向上移动，因此电信号接收部26与第一探测单元机构22的相对关系以及电信号接收部26与第二探测单元机构24的相对关系在电信号接收部26的移动前后都不变。
[0105]因此，能够使将电信号接收部26和第一探测单元机构22相连接的线缆44的长度为固定长度，且为最短的长度。同样，能够使将电信号接收部26和第二探测单元机构24相连接的线缆44的长度也为最短。由此，能够减少电信号接收部26所接收的电信号中来自线缆44的噪声的影响，能够提高电信号接收部26的测量精度。
[0106]〈第二实施例〉
[0107]参照图6、图7的⑷以及图7的⑶说明第二实施例的检查装置46。第二实施例的检查装置46与第一实施例的不同之处在于，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24构成为能够在X轴方向上独立地移动。
[0108]在检查装置46中，第一探测单元机构22被设置在基座48上，构成为能够在X轴方向上移动。另外，第二探测单元机构24被设置在基座50上，构成为能够在X轴方向上移动。此外，通过控制部51来控制基座48、50的X轴方向上的移动。
[0109]另外，与第一探测单元机构22和第二探测单元机构24分别对应的电信号接收部52、54被设置在直线驱动机构36的上部。电信号接收部52、54构成为能够分别与具备第一探测单元机构22的基座48和具备第二探测单元机构24的基座50的X轴方向上的动作同步地进行移动。
[0110]参照图7的(A)，在第一探测单元机构22检查被检查体P的期间第二探测单元机构24位于维护位置，能够进行各探测单元28的位置调整以及保养操作。
[0111]另外，参照图7的(B)，在第二探测单元机构24检查被检查体P的期间第一探测单元机构22位于维护位置，能够进行各探测单元28的位置调整以及保养操作。
[0112]另外，第一探测单元机构22和电信号接收部52在移动后相对位置也不会变化，因此能够使将第一探测单元机构22和电信号接收部52相连接的线缆56的长度最短。同样地，第二探测单元机构24和电信号接收部54在移动后相对位置也不变化，因此能够使将第二探测单元机构24和电信号接收部54相连接的线缆58的长度最短。
[0113]<第一实施例以及第二实施例的变更例>
[0114](I)被检查体检查台16可以设为以下结构:代替配置一个该被检查体检查台的结构而在X轴方向上配置两个被检查体检查台，使第一被检查体检查台16对应于第一探测单元机构22，第二被检查体检查台16对应于第二探测单元机构24。
[0115](2)被检查体检查台16可以构成为代替XYZ Θ台而对基座20、48、50进行X方向的微调并且设为YZ Θ台，还可以构成为圆形索引台。[0116]〈第三实施例〉
[0117]参照图8说明第三实施例的检查装置60。第三实施例的检查装置60与第一实施例的不同之处在于，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24构成为能够各自独立地移动，第二探测单元机构24构成为能够在Y轴方向上移动。
[0118]在检查装置60中，第一探测单元机构22被设置在基座62上，构成为能够通过第一检查部驱动机构64来沿着X轴方向移动。另外，第二探测单元机构24被设置在基座66上，构成为能够通过第二检查部驱动机构68来沿着Y轴方向移动。此外，通过控制部51控制基座62的X轴方向上的移动，通过控制部51控制基座66的Y轴方向上的移动。
[0119]这样，具备能够在X轴方向上移动的第一探测单元机构22和能够在Y轴方向上移动的第二探测单元机构24，由此能够还与具备形成于X轴方向的一端部的电极Pl和形成于Y轴方向的一端部的电极P3的被检查体P、即矩阵状地配置有电极的被检查体P对应地进行检查。
[0120]〈第四实施例〉
[0121]参照图9说明第四实施例的检查装置70。第四实施例的检查装置70除了第二实施例的结构以外还在以下一点上与第一实施例不同:具备能够在Y轴方向上独立地进行移动的第三探测单元机构72。
[0122]检查装置70除了具备第二实施例的结构以外，还具备:第三探测单元机构72，其被设置在基座74上，构成为能够通过第二检查部驱动机构76沿着Y轴方向进行移动；电信号接收部78 ;以及线缆80，其将第三探测单元机构72与电信号接收部78相连接。此外，通过控制部51控制基座48、50的X轴方向上的移动，通过控制部51控制基座74的Y轴方向上的移动。
[0123]这样，通过具备能够在X轴方向上移动的第一探测单元机构22、第二探测单元机构24以及能够在Y轴方向上移动的第三探测单元机构72，能够应对具备形成于X轴方向的两侧端部的电极P1、P2和形成于Y轴方向的一个侧端部的电极P3的被检查体P、即在被检查体P的四条边中的三条边上设置有电极的被检查体P的检查。此外，图9示出被检查体P具备电极Pl和电极P3的情况。
[0124]〈其它变形例〉
[0125](I)在第四实施例中，也可以具备能够在Y轴方向上移动的第四探测单元机构。通过该结构能够应对在四条边上配置有电极的被检查体P的检查。
[0126](2)可以设为在被检查体检查台16的上方设置照相机的结构。通过该结构不仅能够在检查装置10、46、60、70中进行开短路检查，还能够进行被检查体P的点亮检查。
[0127](3)关于被检查体提供部18，可以构成为平板用的输送装载机、输送机器人、吸附被检查体并进行输送的装置等，来代替带式输送机40和被检查体输送爪42的结构。
[0128]综上所述，检查被检查体P的检查装置10、46、60、70具备检查被检查体P的多个探测单元机构22、24、72和与上述多个探测单元机构22、24、72对应的被检查体检查台16。多个探测单元机构22、24能够在相同的方向线上(X轴方向上)移动，在X轴方向线上存在上述检查台16。
[0129]检查被检查体P的检查装置10、46、60、70具备检查被检查体P的多个探测单元机构22、24、72和与多个探测单元机构22、24、72对应的被检查体P的检查台16。探测单元机构22、24、72能够与上述检查台16相接触地进行移动和与上述检查台16相分离地进行移动。
[0130]检查台16被多个探测单元机构22、24所共用。检查装置10、46、60、70在第一探测单元机构22和第二探测单元机构24进行移动的线上具备与各探测单元机构22、24分别对应的第一探测单元机构维护位置XI和第二探测单元机构维护位置X4。
[0131]检查装置10具有一对探测单元机构22、24，第一探测单元机构22和第二探测单元机构24 —体地进行移动，当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构检查位置X3时，第二探测单元机构24位于第二探测单元机构维护位置X4，当第二探测单元机构24位于第二探测单元机构检查位置X2时，第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI。
[0132]检查装置46具备构成为能够各自地进行移动的一对探测单元机构22、24和对一对探测单元机构22、24各自的移动进行控制的控制部51。控制部51使上述一对探测单元机构22、24进行移动，使得当第一探测单元机构22位于第一探测单元机构检查位置X3时，第二探测单元机构24位于第二探测单元机构维护位置X4，当第二探测单元机构24位于第二探测单元机构检查位置X2时，第一探测单元机构22位于第一探测单元机构维护位置XI。
[0133]具备通过线缆与多个探测单元机构22、24、72分别连接的电信号接收部26、52、54、78。电信号接收部26、52、54、78构成为能够向与多个探测单元机构22、24、72相同的方向移动。
[0134]上述检查装置10、46具有一对探测单元机构22、24，各探测单元机构22、24具备多个探测单元28，其中一个探测单元机构22、24的探测单元28被设置在与另一个探测单元机构22、24相向的一侧的相反侧，另一个探测单元机构22、24的探测单元28被设置在与其中一个探测单元机构22、24相向的一侧的相反侧。
[0135]在检查装置60、70中，一个探测单元机构22、24、72的移动方向与至少一个其它探测单元机构22、24、72的移动方向交叉。
[0136]此外，本发明并不限定于上述实施例，能够在专利权利要求书所记载的发明的范围内进行各种变形，这些变形当然也应包含于本发明的范围内。
【权利要求】
1.一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
2.一种检查装置，检查被检查体，其特征在于，上述检查装置具备:检查上述被检查体的多个探测单元机构；以及与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，其中，上述探测单元机构能够与上述检查位置相接触地进行移动和与上述检查位置相分离地进行移动。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查位置被上述多个探测单元机构所共用。
4.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置在各探测单元机构进行移动的线上具备与各探测单元机构分别对应的调整操作位置。
5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备一对上述探测单元机构，上述探测单元机构一体地进行移动，当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
6.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备:一对上述探测单元机构，其构成为能够各自进行移动；以及控制部，其对上述一对上述探测单元机构各自的移动进行控制，其中，上述控制部使上述一对上述探测单元机构进行移动，使得当其中的一个探测单元机构位于上述检查位置时，另一个探测单元机构位于该另一个探测单元机构的上述调整操作位置。
7.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，还具备通过线缆与上述多个探测单元机构分别连接的电信号接收部，上述电信号接收部构成为能够向与上述多个探测单元机构的移动方向相同的方向移动。
8.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，上述检查装置具备一对探测单元机构，各探测单元机构具备多个探测单元，其中的一个探测单元机构的探测单元被设置在上述一个探测单元机构的、与另一个探测单元机构相向的一侧的相反侧， 上述另一个探测单元机构的探测单元被设置在上述另一个探测单元机构的、与上述一个探测单元机构相向的一侧的相反侧。
9.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于， 一个上述探测 单元机构的移动方向与至少一个其它的上述探测单元机构的移动方向交叉。
【文档编号】G01R31/00GK103728505SQ201310481443
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年10月15日 优先权日:2012年10月15日
【发明者】三浦一佳, 高木一也, 夏堀公士 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司
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