检查装置的制作方法

专利名称：检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及将半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置。
背景技术：
已知有对LED芯片等半导体元件，通过边照射各种照明光边用观察光学系统观察该半导体元件，从而将该半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置(例如，参照专利文献1)。在该检查装置中，作为各种照明光之一，使用来自从检查对象物进行观察从观察光学系统的相反侧对该检查对象物进行照明的透射照明机构的透射照明。在此，常见为半导体元件在保持粘贴于带(薄膜)的状态下从晶片切出，并以该带保持于环状部件的状态进行处理。因此，在上述的检查装置中，使用透射带的光作为透射照明，对于粘贴于保持在环状部件的带的状态的检查对象物，边照射各种照明光边进行检查对象物的检查。现有技术文献专利文献
专利文献1 日本特开2010 - 107254号公报。但是，在带中，当由观察光学系统观察照射了透射照明的状态时，即使是没有粘贴任何部件的状态，也不是均勻的明亮状态，而是存在线状、点状的局部阴暗的部位。这认为是由于在带上附着了尘埃等或产生了粘着剂的斑所引起的。因此，在检查对象物为透明的情况下，在通过观察光学系统的观察中，难以进行由透射照明得到的该检查对象物的信息 (轮廓线等)与带中的阴暗部位的判别，即，带的阴暗部位作为噪声成分进行了作用，担心会导致该检查对象物的检查精度的降低。

发明内容
本发明鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种检查装置，其即使对于粘贴于带的透明的检查对象物也能够通过透射照明来得到正确的信息。方案一所述的发明是，一种检查装置，其具备观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有射出部，其射出从光源导光的透射光；散射部，其使由该射出部射出的透射光散射，该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。方案二所述的发明是，根据方案一所述的检查装置，其特征在于，所述规定的散射状态是在使粘贴有检查对象物的带位于所述观察面上且以所述观察光学系统观察照射了来自所述透射照明机构的透射光的所述观察面上的所述带时，使所述带为均勻明亮的状态。方案三所述的发明是，根据方案一或方案二所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有透射部件，其允许来自所述射出部的透射光的透射，而且在所述散射部与所述观察面之间设置有规定沿该观察面的平面的平坦面。方案四所述的发明是，根据方案三所述的检查装置，其特征在于，所述散射部以在所述透射部件中与所述射出部相向的相向面为散射面的方式构成。方案五所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，还具备能从所述透射照明机构侧保持粘贴有所述检查对象物的所述带的筒状的保持台，所述透射部件呈以通过保持于所述保持台而埋入该保持台的内侧的方式延伸的板状，所述射出部具有降低射出的透射光的扩散的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件的所述散射部入射。方案六所述的发明是，根据方案五所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的功能的棒状积分器(rod integrator)光学部件。方案七所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有连结所述射出部和所述透射部件并同时将其保持于内侧的筒状保持部。方案八所述的发明是，根据方案七所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的积分器光学部件。根据本发明的检查装置，通过散射部引起的散射效果，在利用观察光学系统的观察中，能够除去照射了来自透射照明机构的透射光的带的噪声成分，因此，可使用透射照明机构正确地得到粘贴于带的检查对象物的信息。另外，在检查装置中，在透射光轴方向观察，散射部距观察面隔开规定间隔地设置，因此，能够可靠地得到散射效果，因此，能够在利用观察光学系统的观察中可靠地除去照射了来自透射照明机构的透射光的带的噪声成分。在上述的构成的基础上，若所述规定的散射状态是在使粘贴有检查对象物的带位于所述观察面上且利用所述观察光学系统观察照射了来自所述透射照明机构的透射光的所述观察面上的所述带时，使所述带成为均勻明亮的状态，则能够更可靠地得到散射效果， 能够更可靠地除去照射了来自透射照明机构的透射光的带的噪声成分。在上述构成的基础上，若所述透射照明机构具有允许来自所述射出部的透射光的透射而且在所述散射部和所述观察面之间设置有规定沿该观察面的平面的平坦面的透射部件，则能够利用透射部件的平坦面使检查对象物位于观察面上并同时使其为平坦状，因此，能够通过观察光学系统更适当地观察该检查对象物。在上述构成的基础上，若所述散射部在所述透射部件中将与所述射出部相向的相向面设为散射面而构成，则能以简易的构成容易且可靠地设定在透射光轴方向观察的散射部相对于作为在观察光学系统中适当的观察地点的观察面的位置、即在透射光轴方向观察的观察面与散射部的间隔。在上述构成的基础上，若还具备能从所述透射照明机构侧保持粘贴有所述检查对象物的所述带的筒状的保持台，所述透射部件呈以通过保持于所述保持台而埋入该保持台的内侧的方式延伸的板状，所述射出部具有降低射出的透射光的扩散的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件的所述散射部入射，则能够照射观察面上的相对于观察光学系统的适当的区域，因此，能够更有效地进行观察光学系统的适当的观察。
在上述构成的基础上，若所述聚光光学部件是还具有使在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的功能的棒状积分器光学部件，则能够进行观察光学系统的更适当的观察。在上述构成的基础上，若所述透射照明机构具有连结所述射出部和所述透射部件并同时将其保持于内侧的筒状保持部，则能够以更简易的构成使用透射照明来正确地得到粘贴于带的检查对象物的信息。在上述构成的基础上，若所述射出部具有使在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的积分器光学部件，则能够照射观察面上的相对于观察光学系统的适当的区域，因此，能够更高效地进行观察光学系统的适当的观察。


图1是示意性表示本申请发明的实施例1的检查装置10的构成的说明图。图2是表示检查装置10的功能构成的框图。图3是示意性表示检查装置10的保持台34的立体图。图4是用于说明检查对象工件40的种类的说明图，(a)表示在保持各半导体元件 44粘贴于带42的状态下被各边界面切断了的状态，(b)表示将带42拉伸并将各半导体元件44各个截断的状态。图5是示意性表示检查装置10的保持机构13及透射照明机构14的立体图。图6是以局部的剖面表示沿图5所示的I 一 I线的部位的说明图。图7是表示作为检查对象物的一例的各半导体元件44的说明图。图8是用于说明在图7所示的各半导体元件44中的故障例的说明图。图9是用于说明在通过经观察光学系统在观察面Fp上取得而得到的来自摄像机 M的图像数据中产生带42中的多个微细形状M所引起的阴影部分的说明图。图10是用于说明将有故障的各半导体元件44由于微细形状M而判断为正常的两个半导体元件44的情况的说明图。图11是用于说明防止在通过经观察光学系统在观察面Fp上取得而得到的来自摄像机M的图像数据中产生带42中的多个微细形状M所引起的阴影部分的情况的说明图。图12是示意性表示实施例2的检查装置IOA的构成的说明图。图13是示意性表示实施例3的检查装置IOB的保持机构13B的构成的说明图。
图14是示意性表示实施例4的检查装置IOC的保持机构13C及透射照明机构14C 的构成的说明图。附图标记说明
10、10A、10BU0C 检查装置
11 (作为观察光学系统的)观察机构
12反射照明机构
14U4C透射照明机构
24 (作为观察光学系统的)摄像机
34、34A、34C 保持台
35 (作为透射部件的)透射台
535a (作为平坦面的)上端面 35b (作为散射面的)下端面 42带
44 (作为检查对象物的)半导体元件 51透射用光源 53、53C射出部
53Ca (作为筒状保持部的)壳体 53Cq (作为透射部件的)第二光学元件 53Ct (作为散射面的)第二相向面 Fp观察面 Oa观察光轴 Pa透射光轴。
具体实施例方式下面，一边参照附图一边对本申请发明的检查装置的各实施例进行说明。[实施例1]
首先，说明本申请发明的实施例1的检查装置10的概略构成。图1是示意性表示作为本申请发明的检查装置之一例的检查装置10的构成的说明图。图2是表示检查装置10的功能构成的框图。另外，图5中，为了易于理解，省略检查对象工件40中的晶片41及带42 进行表示。如图1及图2所示，检查装置10大致由观察机构11、反射照明机构12、保持机构 13、透射照明机构14、控制机构15构成。如图1所示，该检查装置10具有主体部21。在该主体部21上设有省略图示的中继透镜及循环式的转台部，在该转台部设有多个物镜镜筒 22。在该各物镜镜筒22上设有物镜23。在该主体部21的上部安装有摄像机M。该摄像机M能够按由所设定的物镜23决定的倍率经该物镜23及主体部21 (中继透镜)取得该光轴(观察光轴Oa)上的规定位置的图像数据。因此，摄像机M、主体部21、各物镜镜筒22 及其物镜23作为观察机构11中的观察光学系统发挥功能，其光轴为观察光轴0a。另外，包含观察光轴Oa上的摄像机M可取得适当的图像的位置、即观察光学系统中的焦点位置且与该观察光轴Oa正交的平面(物体侧的成像面)为观察面Fp。下面，将观察光轴Oa的方向设为Z轴方向，将与其正交的面设为X — Y平面。由该摄像机M取得的图像数据通过后述的图像控制部61进行适当解析，并且可在监视器39进行显示(参照图2)。在该主体部21的内部，在观察光轴Oa上设有由半透明反光镜或棱镜构成的反射部件25。在主体部21中，在反射部件25引起的来自观察光轴Oa的反射方向上经由连接器部26安装有导光纤维27。该导光纤维27可将从同轴用光源观射出的照射光向反射部件25导光。如图2所示，该同轴用光源28可选择性地使卤素灯28a和闪光放电管28b这两方发光，任一方发光都可向导光纤维27射出。如图1所示，从该同轴用光源观射出的照射光能够经导光纤维27及反射部件25在观察光轴Oa上行进，经各物镜镜筒22的物镜23 在观察光轴Oa上对观察面Fp进行照明。因此，同轴用光源观、导光纤维27及反射部件25 作为用于通过与各物镜镜筒22的物镜23的合作而对观察光学系统生成来自后述的检查对象物(44)的同轴方向上的反射光的反射照明机构12、即同轴落射照明机构四发挥功能。该主体部21可通过后述的Z轴驱动机构66 (参照图2)在观察光轴Oa方向(Z轴方向)上移动。因此，观察机构11中的观察光学系统和同轴落射照明机构四可一体地在观察光轴Oa方向(Z轴方向)上移动。另外，如图1所示，在主体部21上以包围物镜镜筒22的外周的方式设有照明光导出用环形盘30。该照明光导出用环形盘30省略图示，但是，以与观察光轴Oa隔开规定间隔来环绕该观察光轴Oa的方式设有多个发光部，各发光部可从相对观察光轴Oa倾斜的方向向观察面Fp进行照射。在照明光导出用环形盘30安装有导光纤维31。该导光纤维31可将从圆环用光源32射出的照射光向照明光导出用环形盘30的各发光部(未图示)导光。如图2所示，该圆环用光源32可选择性使卤素灯3 和闪光放电管32b双方发光，任一方发光均可向导光纤维31射出。如图1所示，从该圆环用光源32射出的照射光能够经导光纤维31从照明光导出用环形盘30的各发光部(未图示)以相对观察光轴Oa倾斜的方向对观察面Fp进行照明。因此，圆环用光源32、导光纤维31及照明光导出用环形盘30 (其各发光部)作为用于相对于观察光学系统生成来自后述的检查对象物(44)的在与观察光轴Oa 倾斜的方向的反射光的反射照明机构12、即斜光照明机构33发挥功能。该照明光导出用环形盘30可通过后述的Z轴驱动机构66 (参照图2)在观察光轴Oa方向(Z轴方向)上移动。向该观察光轴Oa方向的移动可以与主体部21 —体，也可以相互独立。在该主体部21及照明光导出用环形盘30的下方设有保持机构13。该保持机构 13具有保持台34。如图3所示，该保持台34呈带台阶的圆筒形状，由其环状的前端部3 构成后述检查对象物(44)的保持部。在该前端部3 设有圆环状的环状槽34b，并且在该槽内设有用于抽真空的吸气孔34c。因此，在保持台34可如后述将载置的带42 (参照图4 等)由前端部3 吸附保持。在该保持台34中在其内侧设有透射台35。如图1、图3、图5及图6所示，透射台35呈圆板形状，上侧(观察光学系统侧)的上端面35a为平坦面，下侧(透射照明机构14的后述的照射机构部16侧)的下端面35b为散射面。在实施例1中，该上端面3 为研磨了的平坦面，下端面3 从后述那样的得到散射效果的观点出发适宜考虑扩散率等而进行设定。该透射台35由至少允许从透射照明机构 14的后述的照射机构部16 (其射出部53)射出的透射光的透射的透明部件(透射部件)形成，在实施例1中，由玻璃形成。透射台35其周缘部的下端经由支承框36 (参照图6)从下方进行支承。如图6所示，该支承框36呈圆环状，通过多个Z轴螺合部件37 (在图6中只图示出一个)从下方进行支承，并且通过多个正交轴螺合部件38 (在图6中只图示出一个)限制向Z轴方向上侧(观察光学系统侧)的移动。各Z轴螺合部件37在Z轴方向贯通保持台34 而设置，可通过螺母37a进行Z轴方向的定位。该Z轴螺合部件37按照在以Z轴为中心的旋转方向观察时隔开规定间隔的方式设置至少三个以上。各正交轴螺合部件38的前端为圆锥形状，可与支承框36的上端位置的倾斜面卡合。因此，在保持台34中，通过适宜变更各Z轴螺合部件37的支承位置而可调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台35 的位置(高度位置)和相对该观察光轴Oa的透射台35 (上端面35a)的倾斜双方地设置该透射台35。因此，各Z轴螺合部件37和各正交轴螺合部件38作为相对于保持台34可进行与观察光轴Oa有关的位置调整地保持透射台35的位置调整机构发挥功能。
该透射台35的厚度尺寸即上端面35a与下端面35b的间隔通过边酌量透射台35 的光学特性及硬度特性边考虑以下三点来进行设定。在实施例1中，透射台35的厚度尺寸为5cm 15cm的范围，其为整体均等的尺寸。第一点为，在从透射照明机构14的后述的照射机构部16射出并向下端面35b入射并从上端面3 射出的透射光中，能够确保规定的光量。这是因为，在透射台35，以经观察光学系统由摄像机M取得的图像进行观察，需要适当照明后述的检查对象物(44)。这一点主要影响透射台35的厚度尺寸的上限值。第二点为，由于周缘部的下端从下方进行支承，因此，在中央位置，洼下这种挠曲变形的变形量在规定的范围以内。这是因为，如后述，在透射台35，因为上端面3 具有使后述的检查对象物(44)位于观察光学系统中的适当位置即观察面Fp上的功能，因此，需要将上端面3 遍布整个面地沿着观察面Fp。因此，上述的变形量中的规定范围最大为观察光学系统中的景深。这一点主要影响透射台35的厚度尺寸的下限值。第三点为，在从上端面3 射出的透射光中充分得到成为散射面的下端面35b引起的散射效果。对此，后面详细进行说明。如图1所示，保持该透射台35的保持台34通过后述的XY驱动机构64(参照图2) 相对观察光轴Oa (观察光学系统)可在与其正交的X — Y平面上移动。另外，保持台34通过后述的旋转驱动机构65 (参照图2)可绕Z轴旋转。在该保持台34吸附保持检查对象工件40。如图4所示，将粘贴了晶片41 (也包括玻璃基板等)的带(薄膜)42在环状部件43 的内侧保持而构成检查对象工件40。在该检查对象工件40中，有如(a)所示由晶片41形成的多个半导体元件44具有在保持粘贴于带42的状态下在各边界面切断(切割)的状态、 和如(b)所示在粘贴于带42并切断后拉伸带42而各个截断(扩展)的状态。在此，环状部件43不管状态的差异(检查对象工件40的种类)都设为比保持台34的前端部34a (参照图1)大的径尺寸。在检查装置10中，在这些任一状态下均可用于检查是否适当形成各半导体元件44。因此，将各半导体元件44作为检查对象物，能够在保持维持检查对象工件40 的状态的状态下进行该检查对象物的检查。如图1、图5及图6所示，在该检查对象工件40中，保持台34位于环状部件43的内侧，在将带42载置于其前端部34a的状态中，利用环状槽34b及吸气孔3 的作用将带 42吸附保持于前端部34a。此时，在保持台34中，当透射台35的上端面3 位于比前端部 34a (吸附保持位置)靠上方(观察光学系统侧)时，带42中的位于比吸附保持的部位靠内侧的区域由于通过透射台35的上端面3 被拉伸，因此以粘贴于该上端面3 的方式被平坦化(参照图1)。因此，通过将透射台35关于观察光轴Oa进行位置调整，从而能够使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)以适当的状态位于观察面Fp上。在该保持台34的下方设有作为透射照明机构14的照射机构部16 (参照图1)。如图1所示，透射照明机构14对由保持台34吸附保持的检查对象物(各半导体元件44)从观察光学系统(观察机构11)的相反侧照射透射光。该透射照明机构14具有照射机构部16。该照射机构部16可将经后述的导光部52从透射用光源51射出的透射光向后述的射出部53导光。如图2所示，该透射用光源51可选择性地使卤素灯51a和闪光放电管51b双方发光，任一方发光均可向导光部52射出。
如图5及图6所示，该照射机构部16在上述的透射用光源51 (参照图2)的基础上，还具有导光部52、射出部53和支承部M。导光部52省略图示，但设于一端侧的入射面以可入射从透射用光源51 (参照图2)的卤素灯51a及闪光放电管51b发光的光(透射光) 的方式分别相向设置，将从该入射面入射的来自透射用光源51 (参照图2)的透射光向设于另一端侧的射出面52a (参照图6)导光。该导光部52在实施例1中由光纤形成。在导光部52的射出面5 连接有射出部53 (参照图6)。在筒状的壳体53a收纳至少一个以上的光学元件5 而构成该射出部53。该光学元件5 构成与导光部52的射出面5 相向的入射面53c和射出由此入射的透射光的射出面53d。光学元件53b以使从入射面53c入射的透射光作为期望的状态从射出面53d射出的方式具有规定的光学特性。将成为该光学元件5 的中心轴位置的旋转对称轴设为照射机构部16 (透射照明机构14 (透射照明系统))的透射光轴1 (参照图1)。在该照射机构部16中，当从导光部52向射出部53入射透射光时，从射出部53射出沿透射光轴1 的透射光。光学元件53b的规定的光学特性是指将在与成为行进方向的透射光轴1 正交的剖面观察到的光量分布均勻化、和抑制照射区域的扩大(扩散)。该光学元件53b由具有上述规定光学特性(积分器功能及防扩散(聚光)功能)的光学元件构成，在实施例1中，光学元件53b由棒状积分器光学部件构成。另外，在实施例1中，将在壳体53a位于比光学元件53b的入射面53c更下方的下端部5 形成为筒状，可将导光部52的另一端部(设置有射出面52a的一侧的端部)嵌入于内侧。因此，射出部53和导光部52通过将导光部52的另一端部嵌入于射出部53的下端部5 而将导光部52的射出面5 和射出部53的入射面53c对接连结(连接)。在该状态下，导光部52和射出部53由支承部M固定支承。因此，在照射机构部16中，能够使从透射用光源51射出的透射光经导光部52向射出部53行进，并作为均勻的光量分布的大致平行光从射出部53朝向透射光轴1 (参照图1)方向射出，照射透射台35的下端面35b。该透射光通过成为散射面的下端面3 而成为散射光，从背面侧照射观察面Fp。该透射光至少透射吸附保持于保持台34的检查对象工件40的带42，可通过观察光学系统(摄像机观察(参照图1)。因此，照射机构部16 (透射用光源51、导光部52及射出部53)与成为散射面的透射台35的下端面3 合作，作为生成从观察光学系统的相反侧照射观察面Fp (检查对象物(半导体元件44))的透射光的透射照明机构14发挥功能。在实施例1中，透射光轴1 与Z轴方向平行地设定，以透射光轴 1 和观察光轴Oa—致的方式设定照射机构部16相对于观察光学系统的位置。另外，透射照明机构14通过由棒状积分器光学部件构成的照射机构部16的光学元件53b以在观察面 Fp上观察的透射光的照射区域可满足由观察光学系统(摄像机24)可观察的观察区域的方式进行设定。在该检查装置10中，在控制机构15 (参照图2)的控制下统一控制如上构成的观察机构11、反射照明机构12、保持机构13及透射照明机构14。如图2所示，该控制机构15 具有图像控制部61、照明控制部62和驱动控制部63。图像控制部61适宜解析由摄像机M取得的图像数据。该解析可列举出识别粘贴于带42的多个检查对象物(半导体元件44)的轮廓线、判断观察点的聚焦状态、识别各检查对象物中的缺陷、识别设于各检查对象物的电极或布线等的缺点、以及识别各检查对象物(半导体元件44)从晶片41的切出不良等。另外，图像控制部61使基于由摄像机M取得的图像数据的影像显示于监视器39。照明控制部62对同轴用光源28、圆环用光源32和透射用光源51适宜地进行点亮熄灭控制。即，在同轴用光源观、圆环用光源32及透射用光源51中，照明控制部62选择性地使卤素灯(28a、3^i、51a)或闪光放电管(28b、32b、51b)适宜地点亮熄灭，并且使同轴用光源28、圆环用光源32和透射用光源51同时或个别地点亮和熄灭。该卤素灯(28￡1、3加、 51a)作为观察用照明使用，闪光放电管(28b、32b、51b)作为检查用照明使用。另外，照明控制部62可在各光源(28、32、51)中进行作为检查用照明的闪光放电管(28b、32b、51b)的亮度调整。该亮度调整例如可通过适宜选择多个ND过滤器的任一个来实现。驱动控制部63适宜驱动XY驱动机构64、旋转驱动机构65及Z轴驱动机构66。 即，驱动控制部63通过驱动控制Z轴驱动机构66而能够使观察机构11中的观察光学系统及同轴落射照明机构四沿观察光轴Oa方向(Z轴方向)适宜移动，并且能够使斜光照明机构33沿观察光轴Oa方向(Z轴方向)适宜移动。由此，可在适当的照明下适当地观察吸附保持于保持台；34的检查对象工件40的检查对象物(各半导体元件44)。另外，驱动控制部 63通过驱动控制XY驱动机构64及旋转驱动机构65，能够使保持台34即吸附保持于此的检查对象工件40相对于观察光轴Oa (观察光学系统)及透射光轴1 (照射机构部16)在与其正交的X — Y平面上适宜移动，并且，能够使其绕观察光轴Oa (透射光轴1 (Z轴方向)) 适宜旋转。由此，可检查吸附保持于保持台34的检查对象工件40中的任意位置的检查对象物(半导体元件44)。在控制机构15中，除此之外还可进行上述的保持台34中的吸附动作的控制等，并且可进行用于检查的图像数据的比较等。在该检查装置10中，首先根据粘贴了成为检查对象的检查对象物的检查对象工件40进行关于透射台35的观察光轴Oa的位置调整。这是因为以下原因。在检查装置10 中，在保持台34的前端部3 吸附保持环状部件43的内侧位置的带42，因此，将带42的周缘部从下方支承，由此，有时会以中央位置洼下的方式挠曲变形。于是，由于该挠曲变形， 从而担心带42上的各半导体元件44偏离观察面Fp，不能通过观察光学系统(摄像机24) 进行适当的观察。该带42的挠曲变形的量及状态根据带42的材质或粘贴的各半导体元件 44的位置及个数等而不同，因此，其根据检查对象工件40的种类而不同。因此，在由保持台34吸附保持成为对象的检查对象工件40的状态下，以使带42上的各半导体元件44位于观察面Fp上的方式，根据带42的挠曲变形的量及状态调节在透射台35的Z轴即观察光轴Oa方向观察的位置(高度位置)和透射台35 (上端面35a)相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。此时，带42的挠曲变形越大，越使透射台35的上端面3 位于比保持台34的前端部34a (吸着保持位置)更靠上方(观察光学系统侧)。这是因为以下原因。在使透射台 35的上端面3 位于比保持台34的前端部3 更靠上方时，带42中的位于比被吸附保持的部位更靠内侧的区域通过透射台35的上端面3 而向上方拉伸，因此，以在该上端面35a 粘贴带42的方式将其平坦化。因此，根据带42的挠曲变形，通过使透射台35的上端面35a 位于上方，从而能够使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)以更适当的状态位于观察面Fp上。此时，不用说，在透射台35的上端面3 根据高度位置使观察机构11、反射照明机构12及透射照明机构14的照射机构部16沿Z轴方向适宜移动。该带42的挠曲变形的量及状态能够例如通过在图像控制部61解析来自摄像机M的图像数据而取得。然后，在检查装置10中，在保持台34吸附保持检查对象工件40进行芯片扫描。在该芯片扫描中，以遍及整个面地扫描保持台34的前端部3 的内侧位置即检查对象工件40 (带42)中比吸附保持的部位更靠内侧的位置的方式，通过驱动控制部63使保持台34相对观察光轴Oa移动。该扫描中，边照射来自透射照明机构14的透射光边取得摄像机对得到的图像。接着，进行芯片图的制作。该芯片图表示检查对象工件40 (带42)中的各检查对象物(半导体元件44)的位置、及姿势。在控制机构15中，通过芯片扫描识别轮廓线，从而判别粘贴于带42的多个检查对象物(半导体元件44)，并且，通过附带驱动控制部63的移动位置信息从而取得各检查对象物(半导体元件44)的位置及姿势。接着，进行检查对象物(半导体元件44)的判定。在该判定中，基于作成的芯片图决定观察光学系统的观察位置，根据该决定并利用驱动控制部63使保持台34移动。之后， 将处于该观察位置的检查对象物(半导体元件44)与该检查对象物的合格产品的数据进行比较，进行该检查对象物(半导体元件44)是否优良的判断。该是否优良的判断通过将来自摄像机M的图像数据由图像控制部61进行解析而进行。通过基于作成的芯片图对检查对象工件40 (带42 )上的所有的检查对象物(半导体元件44)依次进行该检查对象物(半导体元件44)的判定，结束对该检查对象工件40的检查。另外，该检查也可以通过目视在图像控制部61的控制下显示于监视器39的基于由摄像机M取得的图像数据的影像来进行。(技术课题)
下面，使用图7至图10对现有检查装置中的技术课题进行说明。另外，对于该技术课题，因为当不将透射台35的下端面3 形成为散射面时，在本申请发明的检查装置10中也产生相同的问题，所以，在下面的说明中为了易于理解而使用检查装置10进行说明。另外， 在图7至图10中，为了易于理解，强调表示各半导体元件44的情况或后述的微细形状M(参照图9)，但是，不一定与实际的检查对象物或观察状态一致。如上所述，在检查装置10中，当在保持台34吸附保持检查对象工件40时，首先进行芯片扫描，通过来自摄像机M的图像数据的解析作成芯片图。此时，在检查装置10中， 在来自摄像机M的图像数据中需要识别各半导体元件44的轮廓线。为了该识别，在检查装置10中边以透射照明机构14 (其照射机构部16)照射透射光，边进行摄像机M的图像数据的取得。如图7所示，在检查对象工件40的带42上，将矩形的各半导体元件44对准排列的对象物作为检查对象物。该例(图7至图11)的各半导体元件44示意性表示在矩形且透明的玻璃基板44a的中央设置了由导电体构成的电极44b的LED芯片，虽然省略了图示，但是，在玻璃基板4 上也设有各种布线。因此，在该检查对象工件40中，各半导体元件44 的玻璃基板4 及带42允许透射光的透射，在由摄像机M取得的图像数据中，各半导体元件44的玻璃基板4 及带42是明亮的。在此，在上述图像解析中，需要识别被照射来自透射照明机构14 (其照射机构部 16)的透射光的各半导体元件44的轮廓线，但是，在各半导体元件44不允许透射光的透射
1的情况下，其轮廓线明确，因此不会成为问题。但是，如该例的由透明玻璃基板4 构成的各半导体元件44那样，在将由允许透射光的透射的材料形成构成外形形状的部件的检查对象作为检查对象物的情况下，因为明亮地显示带42和玻璃基板4 而只是轮廓线为薄阴影，所以，需要基于微细的明暗(对比)识别轮廓线。在该检查对象工件40中，因为通过来自晶片41 (参照图4)的截断来形成各半导体元件44，所以，如图8所示，在带42上存在相互邻接的两个半导体元件44的截断线不适当(参照左上)的情况、或没有截断相互邻接的两个半导体元件44 (参照右下)的情况。在存在这样的半导体元件44 (检查对象物)的情况下，需要精确地检测出是这些状态，即检测出图8中的左上的两个半导体元件44及右下的两个半导体元件44为不合格产品。但是，该例的各半导体元件44由透明的玻璃基板4 构成，并且粘贴于允许透射光的透射的带42。在此，在带42，当通过来自观察光学系统(摄像机24)的图像数据观察透射照明照射的状态时，即使为没有粘贴任何部件的状态下，也不是均勻明亮的状态，存在线状、点状的局部阴暗的部位(参照图9的符号M)。下面，将该局部阴暗的部位称为带42中的微细形状M。该微细形状M认为是在带42上附着有尘埃等或产生了粘着剂的斑而引起的。因此，如该例的由透明的玻璃基板4 构成的各半导体元件44那样，当以由允许透射光的透射的材料形成构成外形形状的部件的对象物作为检查对象物时，如图9所示， 在来自摄像机M的图像数据中，在各电极44b的阴影部分之间混合存在各玻璃基板4 的轮廓线的阴影部分和多个微细形状M的阴影部分。因此，如图10所示，担心即使相互邻接的两个半导体元件44的截断线不适当(参照左上)、或没有截断相互邻接的两个半导体元件44 (参照左下)，也会将存在于其间的微细形状M判断为两半导体元件44的轮廓线(截断线)。因此，担心会将成为不适当的截断线的两个半导体元件44或连续的两个半导体元件44判断为正常的两个半导体元件44邻接(参照右侧)，不能精确地检测出这些不合格产品。即，担心在图像数据上，带42的各微细形状M 作为噪声成分进行作用，导致该检查对象物44的检查精度的降低。因此，期望通过某些对策来除去该噪声成分。(散射面的作用)
在检查装置10中，为了除去通过经过观察光学系统在观察面Fp上取得而得到的来自摄像机M的图像数据中的带42的微细形状M，将透射台35的下端面3 形成为散射面。 因此，从透射照明机构14的照射机构部16射出的透射光从形成为散射面的下端面35b向透射台35内入射并从上端面3 射出，从背面侧照射粘贴于带42的各半导体元件44。因此，该透射光通过下端面3 被散射，到达带42及粘贴于此的各半导体元件44。这样，当将照射带42的透射光设为规定的散射状态时，在经过观察光学系统由摄像机M取得的图像数据中，能够几乎不能识别出带42的微细形状M。这认为是对带42的微细形状M以各种角度方向照射透射光而引起的。因此，如上所示，在透射台35，厚度尺寸即上端面3 与下端面35b的间隔考虑成为散射面的下端面35b引起的散射效果来决定。即，以可将照射观察面Fp上的带42的透射光(从上端面3 射出的透射光)设为规定的散射状态的方式，酌量下端面35b中的散射面的程度(粗糙度)设定透射台35的厚度尺寸。在此，规定的散射状态是指除去来自摄像机 24的图像数据中的带42的微细形状M，即在经过观察光学系统由摄像机M取得了被照射来自透射照明机构14的透射光的观察面Fp上的带42时，在该图像数据中带42为均勻明亮的状态。在这样构成的检查装置10中，当边照射透射照明边以来自观察光学系统(摄像机 24)的图像数据观察由上述的透明玻璃基板4 构成的各半导体元件44 (参照图7)时，如图11所示，能够防止产生带42中的多个微细形状M引起的阴影的部分，因此，能够除去图像数据上的噪声成分。因此，能够正确判断各半导体元件44的轮廓线。例如图10所示，相互邻接的两个半导体元件44的截断线不适当(参照左上)可通过其不适当的状态识别，没有截断相互邻接的两个半导体元件44 (参照左下)可通过其连续的状态识别，因此，能够精确地检测出这些不合格产品。这样，在本发明的检查装置10中，利用透射台35的成为散射面的下端面3 的散射效果，在来自观察光学系统(摄像机的图像数据中，能防止产生被照射来自透射照明机构14的透射光的带42中的多个微细形状M引起的阴影的部分，因此，使用透射照明机构 14能够正确地得到粘贴于带42的检查对象物(在实施例1中各半导体元件44)的信息。另外，在检查装置10中，在透射光轴1 方向观察，成为散射面的下端面3 相距规定沿观察面Fp的平面的透射台35的上端面3 隔开规定间隔而设置，因此，能够可靠地得到成为散射面而产生的散射效果，因此，在来自观察光学系统(摄像机的图像数据中， 能够可靠地防止产生被照射来自透射照明机构14的透射光的带42中的多个微细形状M引起的阴影的部分。进而，在检查装置10中，在经观察光学系统由摄像机M取得照射了来自透射照明机构14的透射光(从照射机构部16射出经过散射面的透射光)的观察面Fp上的带42时， 以该图像数据中带42为均勻明亮的状态为基准，配合下端面35b中的散射面的程度(粗糙度)设定在透射光轴1 方向观察的上端面35a和散射面(下端面35b)的间隔，因此，能够更可靠地得到成为散射面所产生的散射效果。另外，将由玻璃形成的透射台35的上端面3 设为观察面Fp，且将下端面3 设为散射面进行试验的结果是，通过将观察面Fp和散射面的间隔设为3cm以上，从而能够得到期望的散射效果。在检查装置10中，透射台35的上端面3 具有使检查对象物(实施例1中为各半导体元件44)边位于观察面Fp上边成为平坦状的功能，因此，能够通过观察光学系统(观察机构11)适当地观察该检查对象物。在检查装置10中，由设置了使检查对象物位于观察面Fp上的上端面35a的透射台35的下端面3 构成作为透射照明机构14的散射面，因此，能够容易且可靠地设定在透射光轴1 方向观察的散射面(下端面35b)相对于作为在观察光学系统(观察机构11)中适当的观察地点的观察面Fp (上端面35a)的位置，即在透射光轴1 方向观察的观察面Fp与散射面的间隔。在检查装置10中，由设置了上端面35a的透射台35的下端面3 构成作为透射照明机构14的散射面，因此，能够通过只设置透射台35而实现使检查对象物位于观察面Fp 上的功能及除去图像数据上的噪声成分的功能，因此能够成为简易的构成。在检查装置10中，还考虑从照射机构部16射出后经过透射台35的透射光中的光量来设定在透射光轴1 方向观察的上端面35a与下端面35b的间隔(透射台35的厚度尺寸)，因此，能够以规定的光量对观察面Fp上的检查对象物照射透射光，因此，可使用透射照明机构14更正确地得到检查对象物(在实施例1中为各半导体元件44)的信息。在检查装置10中，也将在透射光轴1 方向观察的上端面35a与下端面35b的间隔(透射台35的厚度尺寸)设定成使透射台35的挠曲变形的变形量为规定范围以内这一点，因此，可通过观察光学系统(摄像机24)适当地进行观察。在检查装置10中，在由保持台34吸附保持检查对象工件40 (其带42)时，能够使透射台35的上端面3 位于比保持台34的前端部34a (吸附保持位置)更靠上方(观察光学系统侧)，因此，能够更适当地使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)位于观察面Fp上。在检查装置10中，透射台35可通过位置调整机构对保持台34进行关于观察光轴 Oa的位置调整，因此，根据带42的挠曲变形量及状态，能够更适当地使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)位于观察面Fp上。在检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16 (其射出部53)具有抑制照射区域的扩大(扩散)的光学性能(积分器功能)，因此，能够照射观察面Fp上的相对于观察光学系统(摄像机24)的适当的区域，因此，能够更有效地进行观察光学系统(摄像机24)的适当的观察。在检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16 (其射出部53)具有将在与成为行进方向的透射光轴1 正交的剖面观察的光量分布均勻化的光学性能(防扩散(聚光) 功能)，因此，能够进行根据观察光学系统(摄像机的更适当的观察。在检查装置10中，透射照明机构14的照射机构部16 (其射出部53)为从离开保持台34的位置照射吸附保持于该保持台34的检查对象物(实施例1中为各半导体元件44) 的构成，因此，能够可靠地防止伴随沿保持台34的X — Y平面的移动而该保持台34和照射机构部16 (其射出部53)进行干涉，因此，能够向在保持台34中吸附保持带42的前端部 34a的内侧的全部区域照射透射光，因而，能够确保有效的检查区域为最大限。这是由于以下原因，即，在照射机构部16 (其射出部53)以在Z轴方向观察与保持台34重叠的方式位于该保持台；34的内侧的情况下，由于射出部53的壳体53a和保持台34的内周壁面的干涉， 从而保持台34的内侧的可照射透射光的区域(有效检查区域)狭窄。因此，可使用透射照明机构14高效适当地检查粘贴于在保持台34吸附保持的带42的检查对象物。因此，在本发明的检查装置10中，即使对粘贴于带42的透明的检查对象物(各半导体元件44)，也可以通过透射照明得到正确的信息。[实施例2]
下面，使用图12对本发明的实施例2的检查装置IOA进行说明。该实施例2相对实施例1的检查装置10为保持台34A (保持机构13A)中的位置调整机构的构成不同的例子。 该实施例2的检查装置IOA的基本构成与上述实施例1的检查装置10相同，因此，对相同的构成处标注相同的附图标记，并省略其详细说明。如图12所示，在检查装置IOA中，作为保持机构13A的保持台34A中的位置调整机构，代替各Z轴螺合部件37设有多个Z轴调整机构71。该Z轴调整机构71与Z轴螺合部件37相同，至少设置三个以上(在图12中只图示有两个)。各Z轴调整机构71具有驱动电动机72、安装于其旋转轴72a的凸轮部件73、通过该凸轮部件73而变动的Z轴支承部74。 驱动电动机72为Z轴调整机构71中的驱动源，其通过旋转轴7 输出旋转驱动力。在该旋转轴7 连接有凸轮部件73。该凸轮部件73呈圆板状，在从轴线偏心的位置连接于旋转轴72a。凸轮部件73在外侧面可抵接于Z轴支承部74。该Z轴支承部74呈棒状，在Z轴方向观察，其在凸轮部件73的上侧(透射台35侧)沿Z轴方向贯通保持台34A而设置，并在Z轴方向移动自由。Z轴支承部74的上侧(观察光学系统侧)的一端被从下方支承支承框36，其下侧的另一端抵接于凸轮部件73的外侧面。在该Z轴调整机构71中，通过适宜驱动控制驱动电动机72，从而能够根据凸轮部件73的绕旋转轴7 的旋转姿势使Z轴支承部74沿Z轴方向移动。因此，在保持台34A按如下设置该透射台35，即，通过适宜驱动各Z轴调整机构71、适宜变更各Z轴支承部74的支承位置，从而可调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台35的位置(高度位置)、 和透射台35 (上端面35a)相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。由此，各Z轴螺合部件37 作为相对于保持台34A可进行关于观察光轴Oa的位置调整地保持透射台35的位置调整机构发挥功能。在检查装置IOA中，控制机构15的驱动控制部63可适宜驱动控制各Z轴调整机构71即其驱动电动机72。在该检查装置IOA中，在由保持台34A吸附保持成为对象的检查对象工件40的状态中，通过将来自摄像机M的图像数据在控制机构15的图像控制部61进行解析，从而取得带42的挠曲变形的量及状态。接着，根据该带42的挠曲变形的量及状态，控制机构15 的驱动控制部63以使带42上的各半导体元件44位于观察面Fp上的方式适宜驱动控制各 Z轴调整机构71的驱动电动机72，从而调节在Z轴方向即观察光轴Oa方向观察的透射台 35的位置(高度位置)和透射台35 (上端面35a)相对于该观察光轴Oa的倾斜这双方。接着，以使调整关于该观察光轴Oa的位置的透射台35的上端面3 上的粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)位于观察面Fp上的方式，控制机构15的驱动控制部63使观察机构11、反射照明机构12及透射照明机构14 (其照射机构部16)沿Z轴方向适宜移动。 由此，将粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)以适当的状态位于观察面Fp上。因此，在检查装置IOA中，与实施例1的检查装置10相同，能够检查该检查对象物(各半导体元件44)。在实施例2的检查装置IOA中，基本为与实施例1的检查装置10相同的构成，因此基本能够得到与实施例1相同的效果。除此之外，在实施例2的检查装置IOA中，能够使成为对象的检查对象工件40的带42上的检查对象物(在实施例2中为各半导体元件44)自动位于观察面Fp上，因此，能够迅速且适当地检查检查对象物(实施例2中为各半导体元件44)。因此，在本发明的检查装置IOA中，即使对于粘贴于带42的透明的检查对象物(各半导体元件44)也能够利用透射照明得到正确的信息。另外，在实施例2中，各Z轴调整机构71由驱动电动机72 (旋转轴7加)、凸轮部件73、Z轴支承部74构成，但只要是通过控制机构15的驱动控制部63的驱动控制而能够对保持台34A调整关于观察光轴Oa的透射台35的位置就可以，不限于实施例2的构成。[实施例3]
下面，使用图13对本发明实施例3的检查装置IOB进行说明。该实施例3为相对实施例2的检查装置10A，保持机构13B的构成不同的例子。该实施例3的检查装置IOB的基本构成与上述实施例2的检查装置IOA相同，因此，对相同的构成处标注相同附图标记，并省
15略其详细说明。如图13所示，在检查装置IOB中，在保持机构13B中设有按压机构81。该按压机构81可保持载置于保持台34A的透射台35 (上端面35a)上的检查对象工件40。详细而言，按压机构81在以透射台35的上端面3 位于比保持台34A的前端部34a(吸附保持位置)更上方(观察光学系统侧)的方式，调整透射台35相对于保持台34A在Z轴方向的位置时，通过与该透射台35 (其上端面35a)的合作，可边使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)适当地位于观察面Fp上，边保持该检查对象工件40。在实施例3中，该按压机构81具有在与Z轴正交的方向观察设于保持台34A的外侧位置的滑动支承部82、和通过该滑动支承部82在Z轴方向移动自由地保持的按压臂部 83。该按压机构81至少设置两个以上(图13中图示有两个)。各按压臂部83从滑动支承部82向内侧延伸出，且可在保持台34A的周边将检查对象工件40的环状部件43从上方(观察光学系统侧)按压。换言之，各按压臂部83以在Z轴方向观察至少前端部分与检查对象工件40的环状部件43重叠的方式设置。在检查装置IOB中，基本上在保持台34A的前端部3 吸附保持检查对象工件40 的带42。在此，在以透射台35的上端面3 位于比保持台34A的前端部34a (吸附保持位置)更上方(观察光学系统侧)的方式，相对保持台34A调整透射台35在Z轴方向的位置时， 有时不能将载置于其上端面35a的带42在保持台34A的前端部3 吸附保持。这是由于带42的挠曲变形有限，通过在Z轴方向观察的上端面35a的位置和前端部3 的位置的差变大而产生。此时，在检查装置IOB中，在各按压机构81中，将设于各滑动支承部82的按压臂部83按下(使其向照射机构部16侧(参照图12等)移动)，用其各按压臂部83将检查对象工件40的环状部件43从上方(观察光学系统侧(参照图12等))向下方按压。于是，检查对象工件40由于其带42的中央由透射台35的上端面3 推起，因此，在其上端面3 以按粘贴带42的方式平坦化的状态固定。因此，各按压臂部83的按压位置(高度位置)根据透射台35 (其上端面35a)的相对观察光轴Oa的倾斜个别设定。另外，各按压臂部83的按压位置也可以为相同高度位置(在Z轴方向观察的相对透射台35的位置)。因此，使检查对象物(各半导体元件44)适当地位于作为观察光学系统中的适当的位置的观察面Fp上。 在该各滑动支承部82上的按压臂部83的位置的移动在控制机构15 (其驱动控制部63)的控制下进行。另外，在各滑动支承部82上的按压臂部83的位置的移动也可以通过手动进行。在该各按压机构81中，在没有按压检查对象工件40的环状部件43的场面下，以不成为检查对象工件40向保持台34A (透射台35)上的载置的妨碍的方式，利用滑动支承部82 使按压臂部83退避到上方位置。另外，按压臂部83为了该退避，可以做成在延出方向伸缩自如的构成，也可以做成可绕滑动支承部82旋转的构成。在实施例3的检查装置IOB中，因为基本上为与实施例2的检查装置IOA相同的构成，所以，能够得到基本上与实施例2相同的效果。除此之外，在实施例3的检查装置IOB中，以使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)适当地位于观察面Fp上的方式相对保持台34A在Z轴方向对透射台35进行位置调整，因此，即使是不能在保持台34A的前端部3 吸附保持的检查对象工件40，也能通过按压机构81的按压边按照该透射台35的上端面3 使带42平坦化边将其固定，从而能够适当地检查粘贴于该带42的检查对象物(各半导体元件44)。
另外，在检查装置IOB中，按压机构81按压检查对象工件40的环状部件43，因此， 能够在抑制向该检查对象工件40的带42或粘贴于此的检查对象物(各半导体元件44)的负载的同时，将该带42 (检查对象物(各半导体元件44))推至透射台35的上端面35a。因此，在本发明的检查装置IOB中，对于粘贴于带42的透明的检查对象物(各半导体元件44)也能够通过透射照明得到正确的信息。另外，在实施例3中表示了在实施例2的检查装置IOA设置了按压机构81的检查装置10B，但也可以将该按压机构81适用于实施例1的检查装置10，而不限于上述实施例 3的构成。另外，虽然在实施例3中，将按压机构81做成具有滑动支承部82和按压臂部83的构成，但只要是可边保持载置于保持台(34A)的透射台35 (上端面35a)上的检查对象工件 40边使粘贴于其带42的检查对象物(各半导体元件44)适当地位于观察面Fp上就可以，而不限于上述实施例3的构成。例如，按压机构也可以通过以下构成实现，即，在保持台(34A) 中，将前端部(34a)的内侧位置和透射部件(35)和支承框(36)之间密封，并且能够将由前端部(3 )的内侧位置和透射部件(35)和支承框(36)形成的环状槽部抽真空。在这样的构成的情况下，能够将载置于透射部件(35)的上端面(35a)的检查对象工件40的带42在包围其上端面(3 )的位置遍及全周进行吸附。因此，不管是否能够通过保持台34A的前端部3 吸附保持带42，都能够将带42中的挠曲变形的多余部分引入环状的槽部，因此，能够使粘贴于带42的检查对象物(各半导体元件44)适当地位于观察面Fp上。进而，虽然在实施例3中，按压机构81的按压臂部83做成将检查对象工件40的环状部件43从上方(观察光学系统侧)按压的构成，但也可以按压带42，而不限于上述的实施例3的构成。[实施例4]
下面，使用图14对本发明实施例4的检查装置IOC进行说明。该实施例4是相对实施例1的检查装置10，保持机构13C的保持台34C及透射照明机构14C的构成不同的例子。 该实施例4的检查装置IOC的基本构成与上述实施例1的检查装置10相同，因此，对相同的构成处标注相同的附图标记，并省略其详细说明。如图14所示，在检查装置IOC中，在保持机构13C的保持台34C未设置透射台35 及其位置调整机构。即，保持台34C做成可在其前端部3 吸附保持环状部件43的内侧位置的带42的带台阶的圆筒部件。另外，在检查装置IOC中，在筒状的壳体53Ca收纳第一光学元件53Cp和第二光学元件53Cq而构成作为透射照明机构14C的照射机构部16C。该第一光学元件53Cp构成与导光部52的射出面5 相向的入射面53Cr和与第二光学元件53Cq相向的第一相向面 53Cs。该第二光学元件53Cq构成与第一光学元件53Cp的第一相向面53Cs相向的第二相向面53Ct和射出由此入射的透射光的射出面53Cu。第二光学元件53Cq的第二相向面53Ct 为与实施例1的透射台35的下端面3 相同的散射面。另外，第二光学元件53Cq的射出面 53Cu为平坦面，在实施例4中为研磨了的平坦面。进而，在实施例4中，第一光学元件53Cp 的第一相向面53Cs为研磨了的平坦面。该第一光学元件53Cp和第二光学元件53Cq基本上与实施例1的光学元件5 相同，具有将在与成为行进方向的透射光轴1 正交的剖面观察的光量分布均勻化的光学性能(防扩散(聚光)功能)和抑制照射区域的扩大(扩散)的光学性能(积分器功能)。第一光学元件53Cp及第二光学元件53Cq在实施例4中由棒状积分器光学部件构成。在该照射机构部16C中，使从透射用光源51射出的透射光经导光部52的射出面 5 从与其相向的入射面53Cr向第一光学元件53Cp行进，作为均勻的光量分布的大致平行光经第一光学元件53Cp的第一相向面53Cs从与其相向的第二相向面53Ct向第二光学元件53Cq行进。此时，透射光因为第二相向面53Ct为散射面，所以成为散射光向第二光学元件53Cq行进，经该第二光学元件53Cq的射出面53Cu从背面侧照射观察面Fp。该透射光至少透射吸附保持于保持台34C的检查对象工件40的带42，可通过观察光学系统(摄像机 24)进行观察(参照图1)。因此，在照射机构部16C中，透射用光源51、导光部52及第一光学元件53Cp与成为散射面的第二光学元件53Cq的第二相向面53Ct合作，作为生成从观察光学系统的相反侧照射观察面Fp (检查对象物(半导体元件44))的透射光的透射照明机构 14C发挥功能，其透射用光源51、导光部52及第一光学元件53Cp作为透射照明机构14C的射出部53c发挥功能。另外，第二光学元件53Cq作为在透射照明机构14C中设置使从射出部53C射出的透射光散射的散射部(成为散射面的第二相向面53Ct)并允许透射光的透射的透射部件发挥功能。进而，在照射机构部16C中，壳体53Ca作为将射出部53C和作为透射部件的第二光学元件53Cq边连结边将其保持于内侧的筒状保持部发挥功能。在检查装置IOC中，在保持台34C的前端部3 吸附保持环状部件43的内侧位置的带42时，通过将照射机构部16C的射出面53Cu推到带42的背面(照射机构部16C侧的面)上并举起其抵接部位，从而使检查对象物位于观察光学系统(摄像机M (参照图1))中的适当的位置即观察面Fp上。这样，在检查装置IOC中，照射机构部16C的射出面53Cu具有使检查对象物位于观察光学系统(摄像机中的适当的位置即观察面Fp上的功能。在实施例4的检查装置IOC中，为基本上与实施例1的检查装置10相同的构成， 因此，基本上能够得到与实施例1相同的效果。除此之外，在实施例4的检查装置IOC中，可以只是在照射机构部16C中在筒状的壳体53Ca收纳第一光学元件53Cp和第二光学元件53Cq而构成，不需要在保持机构13C的保持台34C设置透射台35及其位置调整机构，因此，能够以更简易的构成使用透射照明机构14C正确地得到粘贴于带42的检查对象物(在实施例4为各半导体元件44)的信息。因此，在本发明的检查装置IOC中，即使对于粘贴于带42的透明的检查对象物(各半导体元件44)也能够通过透射照明得到正确的信息。另外，虽然在上述各实施例中说明了本发明的检查装置的各例，但是，不限于上述各实施例，只要为以下检查装置就可以，即，一种检查装置，其具备观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对上述观察面进行照明；透射照明机构，其从上述观察光学系统的相反侧对上述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，上述透射照明机构具有射出部，其射出从光源导光的透射光；散射部， 其使由该射出部射出的透射光散射，该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。另外，虽然在上述的各实施例中，将作为透射部件的透射台的下端面3 或作为透射部件的第二光学元件53Cq的第二相向面53Ct设为散射面而构成散射部，但只要是以使观察面Fp的透射光成为规定的散射状态的方式距该观察面Fp在透射光轴1 方向隔开规定间隔地设置，则例如也可以由与在观察面Fp上规定检查对象物的部件、透射照明机构 14的射出部单独设置的具有散射作用的光学部件构成，而不限于上述的各实施例。进而，虽然在上述的各实施例中，保持台(34等)做成在前端部3 吸附保持带42 的构成，但只要是以将各半导体元件44作为检查对象物的方式在保持维持检查对象工件 40的状态的状态下保持该检查对象工件40就可以，而不限于上述的各实施例。以上，基于各实施例说明了本发明的检查装置，但是对于具体的构成，不限于这些各例及各实施例，只要不脱离本发明的要点，就允许进行设计的变更、追加等。
权利要求
1.一种检查装置，其具备观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；以及透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有射出部，其射出从光源导光的透射光；以及散射部，其使由该射出部射出的透射光散射，该散射部在所述透射照明机构的透射光轴方向进行观察距所述观察面隔开规定间隔地设置，以便使所述观察面的透射光成为规定的散射状态。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述规定的散射状态是在使粘贴有检查对象物的带位于所述观察面上且以所述观察光学系统观察照射了来自所述透射照明机构的透射光的所述观察面上的所述带时，使所述带为均勻明亮的状态。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有透射部件，其允许来自所述射出部的透射光的透射，而且在所述散射部与所述观察面之间设置有规定沿该观察面的平面的平坦面。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，所述散射部以在所述透射部件中与所述射出部相向的相向面为散射面的方式构成。
5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，还具备能从所述透射照明机构侧保持粘贴有所述检查对象物的所述带的筒状的保持台，所述透射部件呈以通过保持于所述保持台而埋入该保持台的内侧的方式延伸的板状， 所述射出部具有降低射出的透射光的扩散的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件的所述散射部入射。
6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的功能的棒状积分器光学部件。
7.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，所述透射照明机构具有连结所述射出部和所述透射部件并同时将其保持于内侧的筒状保持部。
8.根据权利要求7所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均勻化的积分器光学部件。
全文摘要
本发明提供一种对于粘贴于带的透明的检查对象物也能够通过透射照明得到正确的信息的检查装置。检查装置(10)具有观察光学系统(11)，其将观察光轴(Oa)上的规定位置设为观察面(Fp)；反射照明机构(12)，其从观察光学系统侧对观察面(Fp)进行照明；以及透射照明机构(14)，其从观察光学系统的相反侧对观察面(Fp)进行照明。透射照明机构(14)具有射出部(53)，其射出从光源(51)导光的透射光；以及散射部(35b)，其使由射出部(53)射出的透射光散射，散射部在透射照明机构(14)的透射光轴(Pa)方向进行观察距观察面(Fp)隔开规定间隔地设置，以便使观察面(Fp)的透射光成为规定的散射状态。
文档编号G01N21/95GK102384917SQ201110258139
公开日2012年3月21日 申请日期2011年9月2日 优先权日2010年9月3日
发明者伊藤隆, 小松健一郎 申请人:株式会社拓普康