技术编号:7166230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域,尤其是涉及一种故障生产机台检测的方法和装置。 背景技术随着集成电路器件尺寸不断缩小,工艺过程的复杂度不断提高,缺陷检测成为整个生产过程中尤为重要的一个环节,也是重点难点集中的一个关键体系。目前,各种生产机台(Process EQ)的生产时间都越来越快,如果在生产过程中某些生产机台发生故障,则会对线上晶片产生不良影响,影响了产品的良率。因此,急需一种有效的技术方案能够快速确定发生故障的生产机台。发明内容为了快速确定发生故障的生产机台...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。