技术编号:7166678
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子领域,特别是涉及。 背景技术电容器是集成电路中常用的电子元器件,也是集成电路的重要组成单元,其可以被广泛地应用于存储器,微波,射频,智能卡,高压和滤波等芯片中。目前,芯片中广为采用的电容器是平行于硅片衬底的金属-绝缘体-金属(MIM)电容器。其中金属通常采用与金属互连工艺相兼容的铜、铝等,绝缘体多为高介电常数(k)的电介质材料氮化硅,等离子增强型化学气相沉积法(PECVD,Plasma Enhanced Chemical Vapor Dep...
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