技术编号:7168690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜太阳能电池用槽加工工具,特别是涉及保持于保持器并用于与保持器一起沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的槽加工工具。另外,本发明涉及槽加工装置,特别是涉及沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线使槽加工工具相对于基板相对移动而在基板上形成槽的槽加工装置。背景技术薄膜太阳能电池通过例如专利文献I所示的方法制造。该专利文献I所记载的制造方法中,在玻璃等基板上形成由Mo膜构成的下部电极膜,然后,通过在下部电极膜上形成槽而...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。