专利名称：薄膜太阳能电池用槽加工工具及该电池的槽加工装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及薄膜太阳能电池用槽加工工具，特别是涉及保持于保持器并用于与保持器一起沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的槽加工工具。
另外，本发明涉及槽加工装置，特别是涉及沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线使槽加工工具相对于基板相对移动而在基板上形成槽的槽加工装置。
背景技术：
薄膜太阳能电池通过例如专利文献I所示的方法制造。该专利文献I所记载的制造方法中，在玻璃等基板上形成由Mo膜构成的下部电极膜，然后，通过在下部电极膜上形成槽而被分割为长条状。接着，在下部电极膜上形成包括CIGS膜等黄铜矿结构化合物半导体膜的化合物半导体膜。并且，这些半导体膜的一部分通过槽加工而被呈条纹(stripe) 状地除去，从而将这些半导体膜分割成长条状，并且以覆盖它们的方式形成上部电极膜。最后，上部电极膜的一部分通过槽加工而被呈条纹状地剥离，从而分割成长条状。
作为以上工序中的槽加工技术的一种，使用通过金刚石等机械工具除去薄膜的一部分的机械划线法。该机械划线法中，以能够进行稳定宽度的槽加工的方式，提出了专利文献2所示的方法。该专利文献2所示的方法中，使用了具备对加工负荷进行调整的加工负荷调整机构的槽加工工具及剥离工具。
在先技术文献
专利文献
专利文献I日本实开昭63-16439号公报
专利文献2日本特开2002-033498号公报
现有的槽加工装置或槽加工方法中，在连续加工多个槽的情况下，反复进行下述动作加工I条槽之后，使头上升，移动直至加工开始位置，接着加工下一条槽。这种现有的装置及方法中，加工耗费时间，另外存在必须再调整先调整过的工具的按压力的情况。
因此，本发明人开发了能够高效且迅速地进行槽加工的加工装置，并提出了专利申请(日本特愿2010-082953)。该加工装置中，在头上可上下移动地安装有工具保持器，而且，在该工具保持器上以可在预定的角度范围内摆动的方式安装有摆动部件。摆动部件上保持有槽加工工具，摆动部件以前往移动时的前进切削姿势和返回移动时的后进切削姿势反转。槽加工工具上，在前往移动侧及返回移动侧设有对称的前部刀尖及后部刀尖。并且， 在摆动部件处于前往移动(前进)切削姿势时，前部刀尖与太阳能电池基板接触，在摆动部件处于返回移动(后进)切削姿势时，后部刀尖与太阳能电池基板接触。
在此处，本发明人发现，在使用现有的加工工具进行槽加工的情况下，使工具在 50° 80°的范围内倾斜进行加工是最合适的。即，当工具的倾斜不足50°时，刀刃与基板的接触面积进一步扩大而导致加工时的接触阻力变大。另外，当使工具倾斜超过80°时， 存在除去的膜的排出性变差的情况，而且在加工时存在产生所谓的跳跃(未加工的部分)的情况。
因此，在前述的本发明人开发的加工装置中，以工具的倾斜为70°的方式而进行加工。该情况下，需要使摆动部件的摆动角度范围为40° (±20° )。即，需要在前往移动时将摆动部件的摆动角度设定为+20°，在返回移动时设定为-20°。
但是，为了在以上的倾斜(姿势)下进行加工，需要包括有用于供给外部空气的机构的摆动部件的姿势切换机构。另外，当使摆动部件及工具在±20°的范围内摆动时，摆动角度范围大，因此摆动时的工具末端的上下移动距离变大。因此，在往复切换时，需要使工具及摆动部件上升而移动到退避位置来进行切换控制。因此，生产节拍时间(tact time) 变长，导致成本上升。而且，由于摆动角度较大，因此偏差较大，难以确保高的精度。发明内容
本发明的课题是，能够利用简单的机构确保高的加工精度，而且能够高效地加工槽。
第I发明的薄膜太阳能电池用槽加工工具是保持于保持器并用于与保持器一起沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的工具。该工具具备保持于保持器的工具主体和刀尖部。刀尖部形成于工具主体的末端部，并在移动方向的前往移动侧的末端和返回移动侧的末端具有刀刃。另外，刀尖部以其移动方向的宽度随着朝向末端变窄的方式、倾斜且对称地形成对置的前往移动侧的侧面和返回移动侧的侧面。
该槽加工工具往复移动，在前往移动时和返回移动时这两种情况下在基板上形成槽。另外，由于前往移动侧及返回移动侧的侧面倾斜，因此能够与该倾斜角度的量对应地使加工时的工具的倾斜角度减小。
若将以上的槽加工工具安装于加工装置，则能够减小保持有工具的部件的摆动角度范围。因此，用于工具的姿势切换的机构变得简单。另外，由于能够减小摆动角度范围，因此姿势切换时的工具的上下移动距离减小，在姿势切换时无需使工具向退避位置上升。或在姿势切换时使工具上升的距离变短。因此，能够缩短生产节拍时间。而且，由于摆动角度范围较小，因此能够抑制工具的姿势切换时的精度下降。
第2发明的薄膜太阳能电池用槽加工工具基于第I发明的工具，刀尖部的刀刃形成为直线状，前往移动侧的侧面及返回移动侧的侧面的相对于刀刃的前面角度为50°以上且80°以下。
由于槽加工时的工具的适宜倾斜角度为70°左右，因此通过将前面角度设定为 50°以上且80°以下，能够使用于工具的姿势切换的摆动角度非常小。
第3发明的薄膜太阳能电池用槽加工工具基于第2发明的工具，刀尖部的末端的槽形成方向的宽度为50 ii m以上且200 u m以下。
第4发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置，是沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线而使槽加工工具相对于基板相对移动并在基板上形成槽的装置。该槽加工装置具备载置薄膜太阳能电池基板的工作台、供第I发明 第3发明的任一项所记载的槽加工工具安装的头、用于使工作台和头在水平面内相对移动的移动机构。头具备能够上下移动的保持器、摆动部件、按压部件。摆动部件以与槽形成方向正交的摆动轴为支点而摆动自如地支承于保持器，且保持槽加工工具。按压部件以预定的按压カ相对于基板按压保持于保持器的槽加工工具。该装置中，在头的摆动部件上保持有第1发明 第3发明的任一项的槽加工工具。 并且，槽加工工具被按压部件以预定的按压カ向基板按压。当在该状态下使工作台和头沿预定刻划线相对移动吋，保持有工具的摆动部件伴随移动而以预定角度摆动。即，工具变为适当的加工姿势。此处，由于工具的前往移动侧及返回移动侧的侧面傾斜，因此能够与上述同样地， 减小保持工具的摆动部件的摆动角度范围，使结构变得简单。另外，能够缩短用于姿势切換的时间，而且能够抑制工具的姿势切換时的精度降低。第5发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第4发明的装置，摆动部件以摆动轴为支点在士5°的范围内摆动自如。第6发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第5发明的装置，还具备用于在除加工时以外将摆动部件维持于中立位置的中立維持机构、以摆动部件的摆动角度不超过士5°的范围的方式限制摆动范围的制动器。此处，能够防止摆动部件的摆动角度变大。第7发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第6发明的装置，中立維持机构具有夹着摆动部件而对摆动部件向中立位置施力的1对弹性部件。第8发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第7发明的装置，弾性部件是螺旋弹簧。第9发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第7发明的装置，弾性部件是软质制的橡胶。第10发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第7发明的装置，弾性部件是板ム。第11发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第6发明的装置，中立維持机构具有在摆动部件的至少上端设置的磁性体、在保持器上与磁性体隔开预定的间隙地对置配置的磁铁。第12发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第6 第11发明的任一项的装置，制动器固定于保持器，并具有以隔着预定的间隙夹着中立位置的摆动部件的上端部的方式配置的1对抵接面。第13发明的薄膜太阳能电池的槽加工装置基于第6 第11发明的任一项的装置，制动器固定于保持器，并具有隔着预定的间隙对置地配置于中立位置的摆动部件的摆动方向的两侧面的1对抵接部件。发明效果以上的本发明中，能够利用简单的机构确保高的加工精度，而且能够高效地加工
feo
图1是本发明的ー实施方式采用的槽加工装置的外观立体图。图2是所述装置的头的主视图。
图3是安装于所述装置的槽加工工具的主视图及侧视图。
图4是用于说明槽加工时的动作的示意图。
图5是表示本发明的另一实施方式的中立维持机构及制动器的图。
图6是表示本发明的又一实施方式的中立维持机构及制动器的图。
图7是表示本发明的又一实施方式的中立维持机构及制动器的图。
标号说明
I工作台
2 工具
3 头
17，117 保持器
18，118摆动部件
19 气缸
27a、27b，128 制动器
28a、28b 筒状部件
29a、29b 弹簧
130a、130b 橡胶部件
131 槽
131a、131b 壁面(抵接面)
230a、230b 板簧
329c、329d球状末端部
330 磁铁
331铁制吸附部具体实施方式
图I表示采用了本发明的一实施方式的集成型薄膜太阳能电池用划线装置的外观立体图。
[划线装置的整体构成]
该装置具备载置太阳能电池基板W的工作台I、安装槽加工工具(以下仅记为“工具” )2的头3、两个摄像机4及两个监视器5。
工作台I能够在水平面内沿图I的Y方向移动。另外，工作台I能够在水平面内以任意的角度旋转。此外，图I中，表示头3的概略的外观，头3的详细情况如后所述。
头3能够通过移动支承机构6在工作台I的上方沿X、Y方向移动。此外，X方向是如图I所示在水平面内与Y方向正交的方向。移动支承机构6具有I对支承柱7a、7b、跨越在I对支承柱7a、7b之间而设置的导向杆8、驱动在导向杆8上形成的导向件9的电动机10。头3能够沿导向件9如前所述在X方向上移动。
两个摄像机4分别固定于基座12。各基座12能够沿设于支承台13的在X方向上延伸的导向件14移动。两个摄像机4能够上下移动，由各摄像机4拍摄的图像显不于对应的监视器5。
[头]
图2中提取头3而表示。头3具有板状的基底16、保持器17、摆动部件18、气缸 (按压部件)19。保持器17经由未图示的轨道(rail)相对于基底16上下方向滑动自如地被支承。 保持器17具有保持器主体22、固定于保持器主体22的表面的支承部件23。保持器主体22 形成为板状，在上部具有开ロ 22a。支承部件23是横向较长的矩形状的部件，在内部形成有供摆动部件18穿插的贯通孔23a。摆动部件18具有下部的工具安装部24、从工具安装部M向上方延伸而形成的延长部25。工具安装部M上形成有槽，向该槽插入工具2，并且通过固定板2 将工具2固定在槽内。在延长部25的下部，形成有在水平方向上且在与槽形成方向正交的方向上贯通的孔25a。并且，摆动部件18以贯通该孔25a的销沈为中心摆动自如。在延长部25的上端部2 的左右两侧设有1对限制部件27a、27b。各限制部件27a、27b如图4所示，具有固定于保持器主体22的筒状部件(制动器)28a、28b、和向筒状部件^a、28b的内部插入的弹簧(中立維持机构)29a、29b。并且，通过各弹簧的末端与延长部25的上端部2 抵接，从而摆动部件18被維持在图2及图4(b)所示的中立位置。另外，摆动部件18摆动而按压任一个弹簧^a、四b，延长部25的上端部2 与筒状部件^a、28b抵接，由此限制摆动角度。该实施方式中，设定为在士3°的角度范围内限制摆动部件18的摆动角度，但优选限制在士5°以内。气缸19固定于气缸支承部件30的上表面。气缸支承部件30配置于保持器17的上部，并固定于基底16。气缸支承部件30上形成有沿上下方向贯通的孔，气缸19的活塞杆 (未图示)贯通该贯通孔，杆末端与保持器17连结。另外，在基底16的上部设有弹簧支承部件31。在弹簧支承部件31与保持器17之间设有弹簧32，通过该弹簧32，保持器17被向上方施力。通过该弹簧32，能够基本抵消保持器17的自重。在保持器17的左右两侧设有1对空气供给部34a、34b。1对空气供给部34a、34b 是相同的构成，分別具有接头35和空气喷嘴40。[工具]图3中表示工具2的详细情況。图3(a)是工具2的主视图，该图(b)是其侧视图。 图3(a)中表示工具2的移动方向M。工具2具有保持于保持器17的工具主体36、形成于工具主体36的末端部的刀尖部37。在刀尖部37的末端两侧分別形成有刀刃38a、38b。此处，ー个刀刃38a是用于在前往移动时进行槽加工的刀刃，另ー个刀刃38b是用于在返回移动时进行槽加工的刀刃。具体而言，刀尖部37的移动方向的宽度w (參照图3 (a))随着朝向末端而变窄。 即，刀尖部的对置的前往移动侧的侧面37a与返回移动侧的侧面37b倾斜且对称地形成。 刀尖部37的末端在安装于保持器17 (摆动部件18)的中立状态下沿水平方向形成为直线状。并且，前往移动侧的侧面37a和返回移动侧的侧面37b的相对于刀刃的前面(前倾面， 掬い面)角度α在本实施方式中设定为70°。此外，该前面角度优选为50°以上且80° 以下。另外，刀尖部37的末端的槽形成方向的宽度w优选为50 μ m以上且200 μ m以下。[槽加工动作]使用以上的装置对薄膜太阳能电池基板进行槽加工的情况下，通过移动机构6使头3移动并且使工作台I移动，使用摄像机4及监视器5使工具2位于预定刻划线上。
进行了以上的对位后，驱动气缸19而使保持器17及摆动部件18下降，使工具2 的末端与薄膜接触。此时的工具2的相对于薄膜的加压力由向气缸19供给的空气压调整。
接着，驱动电动机10，使头3沿预定刻划线进行扫描。图4中示意地示出此时的摆动部件18及工具2的姿势。
在前往移动时(图4中向右侧移动时)，如图4(a)所示，通过刀刃38a与基板上的薄膜的接触阻力，摆动部件18以销26为中心顺时针摆动。该摆动通过摆动部件18的上端部25b与右侧的筒状部件28a抵接而被限制。因此，工具2保持如图4(a)所示的倾斜姿势，在使刀刃38a与基板上的薄膜抵接、刀刃38b不与基板的表面抵接的状态下向+M方向移动，并形成槽。
此后，使头3相对于基板相对移动，使工具2向应在下一次下降的预定刻划线上移动。并且，与上述同样，将工具2向基板上的薄膜按压，使头3向与上述相反的方向移动。
在该返回移动时(图4中向左侧移动时)，如图4(c)所示，通过刀刃38b与基板上的薄膜的接触阻力，摆动部件18以销26为中心逆时针摆动。该摆动通过摆动部件18的上端部25b与左侧的筒状部件28b抵接而被限制。因此，工具2保持图4 (c)所示的倾斜姿势，在使刀刃38b与基板上的薄膜抵接、刀刃38a不与基板的表面抵接的状态下向-M方向移动，并形成槽。
此外，在槽加工过程中或槽加工结束时，从各空气供给部34a、34b的空气喷嘴40 喷出空气，除去从基板剥离的膜。
[特征]
在以上的槽加工时，摆动部件18的摆动角度微小(此处为±3° )，因此不需要用于控制摆动部件18的姿势的促动器。另外，由于摆动角度被限制为±3°，因此，在从前往移动时向返回移动时切换工具2的姿势时，工具2上下移动的距离微小。因此，不需要进行在从前往移动时向返回移动时使保持器17上升而使工具2离开基板等处理。而且，由于同样的理由，工具2的振动宽度变小，因此精度难以偏差，能以高精度进行槽加工。
[其他实施方式]
本发明不限定于以上的实施方式，能够不脱离本发明的范围而进行各种变形或修正。
例如，工具的前面角度及工具末端长度不限于上述实施方式，而能够进行各种变更。
(a)图5表示中立维持机构及制动器的另一实施方式。图5中，保持器117是矩形状的板部件，摆动部件118通过销126摆动自如地支承于该保持器117。摆动部件118具有下部的工具安装部124、从工具安装部124向上方延伸形成的延长部125。工具2插入、固定于工具安装部124。
在保持器117的左右侧部分别设有形成有沿横向贯通的螺纹孔的I对座(block) 部127a、127b。在这I对座部127a、127b的螺纹孔中，螺合螺纹部件129a、129b。并且，在该螺纹部件129a、129b的末端固定有软质制的橡胶部件130a、130b。各橡胶部件130a、130b 的末端与摆动部件118的延长部125的摆动方向的侧面接触。
在以上的构成中，通过软质制的橡胶部件130a、130b的末端与延长部125的两侧面抵接，维持摆动部件118的中立位置。并且，当在加工时头往复移动时，橡胶部件130a、 130b对应于摆动部件118的摆动而弹性变形。因此，不会妨碍摆动部件118的摆动。
另外，在保持器117的上部固定有制动器128。在制动器128的下端面形成有槽 131，该槽131形成为倒V字状。摆动部件118的延长部125的上端部125a从下方进入该槽131。在延长部125的上端部125a与槽131的两壁面(抵接面)131a、131b之间设有预定的间隙。
在以上的构成中，当摆动部件118在预定的角度范围内摆动时，上端部125a与槽 131的壁面131a、131b抵接，摆动部件118的摆动角度范围受到限制。此时，摆动部件118 的允许的摆动角度范围与所述实施方式一样为±3°。
(b)图6中示出中立维持机构的又一实施方式。该图6所示的实施方式除了中立维持机构以外，与图5所示的实施方式相同。因此，对相同部件标注相同的标号。
图6中，在保持器117的左右侧部分别设有形成有沿横向贯通的螺纹孔的I对座部227a、227b。在这I对座部227a、227b与摆动部件118的延长部125之间，分别设有板簧 230a、230b。
板簧230a、230b具有与各座部227a、227b抵接的固定部231a、231b ;—部分与延长部125的摆动方向的侧面抵接的抵接部232a、232b ;将固定部231a、231b的上端与抵接部232a、232b的下端连结的连结部233a、233b。并且，固定部231a、231b分别通过螺纹部件 229a,229b固定于座227a、227b。另外，抵接部232a、232b在销126的上方与延长部125的侧面抵接。
在以上的构成中，通过板簧230a、230b的抵接部232a、232b与延长部125的两侧面抵接，维持摆动部件118的中立位置。并且，当在加工时头往复移动时，板簧230a、230b 对应于摆动部件118的摆动而弹性变形。因此，不会妨碍摆动部件118的摆动。
(c)图7中示出中立维持机构及制动器的又一实施方式。图7中，对与图5相同的部件标注相同的标号。
在保持器117的左右侧部，分别设有形成有沿横向贯通的螺纹孔的I对座部127a、 127b。在这I对座部127a、127b的螺纹孔中，螺合有螺纹部件329a、329b。并且，该螺纹部件329a、329b的末端部329c、329d形成为球状。在此处，在摆动部件118处于中立位置的状态下，确保各球状末端部329c、329d与摆动部件118的侧面之间具有相等的间隙。
以上的构成中，当摆动部件118在预定的角度范围内摆动时，延长部125的各侧面与螺纹部件的球状末端部329c、329d抵接，摆动部件118的摆动角度范围受到限制。此时， 摆动部件118的允许的摆动角度范围与上述实施方式一样为±3°。
另外，在保持器117的上部固定有吸附用座328。在吸附用座328的下端面设有磁铁330。磁铁330配置成与中立位置的摆动部件118的延长部125的上端部隔开预定的间隙地对置。并且，在延长部125的上端部设有铁制的吸附部331。
以上的构成中，设于延长部125的上端部的铁制的吸附部331被磁铁330吸引。因此，在未加工的状态下，维持摆动部件118的中立位置。此外，在加工时，通过工具2的加工阻力，摆动部件118抵抗磁铁330与吸附部331之间的吸附力而摆动。
权利要求
1.一种薄膜太阳能电池用槽加工工具，该薄膜太阳能电池用槽加工工具是保持于保持器、并用于与所述保持器一起沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的槽加工工具，所述薄膜太阳能电池用槽加工工具具备工具主体，其保持于所述保持器；和刀尖部，其形成于所述工具主体的末端部，并在移动方向的前往移动侧的末端和返回移动侧的末端具有刀刃，所述刀尖部以其移动方向的宽度随着朝向末端变窄的方式、倾斜且对称地形成对置的前往移动侧的侧面和返回移动侧的侧面。
2.根据权利要求I所述的薄膜太阳能电池用槽加工工具，其中，所述刀尖部的刀刃形成为直线状，所述前往移动侧的侧面及所述返回移动侧的侧面的、相对于所述刀刃的前面角度为 50°以上且80°以下。
3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池用槽加工工具，其中，所述刀尖部的末端的槽形成方向的宽度为50 y m以上且200 y m以下。
4.一种薄膜太阳能电池的槽加工装置，该薄膜太阳能电池的槽加工装置是沿集成型薄膜太阳能电池基板的预定刻划线使槽加工工具相对于基板相对移动并在所述基板上形成槽的槽加工装置，所述薄膜太阳能电池的槽加工装置具备载置薄膜太阳能电池基板的工作台；供权利要求I 3中任一项所述的槽加工工具安装的头；和用于使所述工作台和所述头在水平面内相对移动的移动机构，所述头具备能够上下移动的保持器；摆动部件，其以与所述槽形成方向正交的摆动轴为支点摆动自如地支承于所述保持器，且所述摆动部件保持所述槽加工工具；和按压部件，其以预定的按压力相对于基板按压保持于所述保持器的槽加工工具。
5.根据权利要求4所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述摆动部件以所述摆动轴为支点在±5°的范围内摆动自如。
6.根据权利要求5所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述薄膜太阳能电池的槽加工装置还具备用于在除加工时以外将所述摆动部件维持于中立位置的中立维持机构；和以所述摆动部件的摆动角度不超过±5°的范围的方式限制摆动范围的制动器。
7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述中立维持机构具有夹着所述摆动部件而对所述摆动部件向中立位置施力的I对弹性部件。
8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述弹性部件是螺旋弹簧。
9.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述弹性部件是软质制的橡胶。
10.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中， 所述弹性部件是板簧。
11.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中， 所述中立維持机构具有在所述摆动部件的至少上端设置的磁性体；和在所述保持器上与所述磁性体隔开预定的间隙地对置配置的磁铁。
12.根据权利要求6 11中任一项所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述制动器固定于所述保持器，并具有以隔着预定的间隙夹着中立位置的所述摆动部件的上端部的方式配置的1对抵接面。
13.根据权利要求6 11中任一项所述的薄膜太阳能电池的槽加工装置，其中，所述制动器固定于所述保持器，并具有隔着预定的间隙对置地配置于中立位置的所述摆动部件的摆动方向的两侧面的1对抵接部件。
全文摘要
本发明提供薄膜太阳能电池用槽加工工具及该电池的槽加工装置，能够利用简单的机构确保高的加工精度，并且能够高效地加工槽。该薄膜太阳能电池用槽加工工具(2)是保持于保持器(17)并用于与保持器(17)一起沿基板的预定刻划线相对地往复移动而在基板上形成槽的工具。该工具(2)具备保持于保持器(17)的工具主体(36)和刀尖部(37)。刀尖部(37)形成于工具主体(36)的末端部，并在移动方向的前往移动侧的末端和返回移动侧的末端具有刀刃(38a、38b)。另外，刀尖部(37)以其移动方向的宽度随着朝向末端变窄的方式、倾斜且对称地形成对置的前往移动侧的侧面(37a)和返回移动侧的侧面(37b)。
文档编号H01L31/18GK102544201SQ20111043042
公开日2012年7月4日 申请日期2011年12月20日 优先权日2010年12月21日
发明者山田充, 曾山正信, 沟田友彦 申请人:三星钻石工业股份有限公司