技术编号：7176324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种单晶硅太阳电池经过PECVD工序后快速、均勻散热的装置， 它可广泛应用于单晶硅太阳能电池PECVD后快速、均勻散热的处理，属于太阳能电池PECVD 工治具技术改进领域。背景技术太阳光照射到平面的硅片上，遵守光的折射、反射定律，大部分光线会被反射，即使对具有绒面的单晶硅电池表面来讲，入射光多次被表面的绒面结构进行反射而增加了光线的吸收，但也有近11%左右光线因反射而损失。但在单晶硅电池绒面表面上再覆盖一层氮化硅减反射膜层，可大大降低光的反射...
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