专利名称：一种单晶硅太阳能电池pecvd后快速散热的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶硅太阳电池经过PECVD工序后快速、均勻散热的装置， 它可广泛应用于单晶硅太阳能电池PECVD后快速、均勻散热的处理，属于太阳能电池PECVD 工治具技术改进领域。
背景技术：
太阳光照射到平面的硅片上，遵守光的折射、反射定律，大部分光线会被反射，即使对具有绒面的单晶硅电池表面来讲，入射光多次被表面的绒面结构进行反射而增加了光线的吸收，但也有近11%左右光线因反射而损失。但在单晶硅电池绒面表面上再覆盖一层氮化硅减反射膜层，可大大降低光的反射。制备减反膜的方法一般采用PECVD沉积。PECVD也就是等离子体增强化学气相沉积法，在PECVD工艺中，工艺温度通常在 350摄氏度左右，所以经过PECVD沉积后，取出的单晶硅太阳能电池温度会保持在350摄氏度左右，随着温度的自然冷却，单晶硅电池片会逐步降温。但是电池片流入下一个工序进行加工，单晶硅电池片要在25摄氏度左右，接近于室温。在这过程中，采用自然冷却的工艺， 从350度降至25度，不但工艺时间较长，同时石墨舟的使用数量也较多，而且自然冷却又占用了很大一部分车间的生产空间。
发明内容为了解决上述问题，本实用新型提供了一种可使等离子体增强化学气相沉积法 (PECVD)沉积后单晶硅电池片快速、全面冷却的设备技术改进。为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，包括带有工作台面的支架，所述工作台面的中部设置为镂空网板，镂空网板的下方安装有风扇。作为上述方案的进一步设置，所述风扇采用倒装的方式安装在镂空网板的下方。 此处所说的倒装，就是使风扇向下出风的倒置安装，相对放置在工作台面上的单晶硅太阳能电池片来说，风扇所产生的风力为“吸风”，在同等条件下，可以使风速进一步加快，却不易使在石墨舟中被加速冷却的太阳能电池片因为风速过快、风力过大而导致破裂。所述风扇共设置有四个，并均勻一字排开。所述风扇通过电源线连接有调速开关，调速开关安装在支架上。调速开关可以自如调节风扇的风速，使太阳能电池快速、均勻冷却。所述支架、工作台面、镂空网板均选用不锈钢制成。所述风扇为耐高温风扇。本实用新型通过在镂空网板的下方安装风扇，风扇所产生的风通过镂空网板的孔眼吹向放置在工作台面上的石墨舟，即利用空气的流动原理来快速均勻降温，实现了石墨舟及石墨舟里面经PECVD后的单晶电池片均勻地加速冷却，解决了因自然降温而较长的工艺时间、占用过多的石墨舟及车间摆放空间等一系列的问题。[0013]
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为图1的俯视示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，包括带有工作台面ι的支架2，工作台面1的中部设置为镂空网板3，镂空网板3的下方安装有风扇4。为使本实用新型的冷却效果更好，风扇4采用倒装的方式安装在镂空网板3的下方。风扇4共设置有四个，并均勻一字排开。风扇4通过电源线连接有调速开关5，调速开关5安装在支架2上。其中，支架2、工作台面1、镂空网板3均选用不锈钢制成。风扇为4耐高温风扇。本实用新型的工作台面1尺寸比石墨舟略大，冷却时，只需将放置有太阳能电池片的石墨舟放置到工作台面1上，然后开启风扇4即可。太阳电池片从PECVD出来进入下一个工序要降至25摄氏度左右，接近于室温，采取此装置后可以缩减工艺8—10分钟左右，大大提高了电池片生产的整体产能。上述实施例仅用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应落入本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，包括带有工作台面的支架，其特征在于所述工作台面的中部设置为镂空网板，镂空网板的下方安装有风扇。
2.如权利要求1所述一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，其特征在于 所述风扇采用倒装的方式安装在镂空网板的下方。
3.如权利要求1所述一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，其特征在于 所述风扇共设置有四个，并均勻一字排开。
4.如权利要求1所述一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，其特征在于 所述风扇通过电源线连接有调速开关，调速开关安装在支架上。
5.如权利要求1所述一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，其特征在于 所述支架、工作台面、镂空网板均选用不锈钢制成。
6.如权利要求1所述一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，其特征在于 所述风扇为耐高温风扇。
专利摘要本实用新型涉及一种单晶硅太阳电池经过PECVD工序后快速、均匀散热的装置，它可广泛应用于单晶硅太阳能电池PECVD后快速、均匀散热的处理，属于太阳能电池PECVD工治具技术改进领域，包括带有工作台面的支架，所述工作台面的中部设置为镂空网板，镂空网板的下方安装有风扇。本实用新型一种单晶硅太阳能电池PECVD后快速散热的装置，可使等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积后的单晶硅电池片快速、全面的冷却。
文档编号H01L31/18GK202054896SQ20112009564
公开日2011年11月30日 申请日期2011年4月2日 优先权日2011年4月2日
发明者周军增 申请人:浙江向日葵光能科技股份有限公司