技术编号：7176454
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体器件及包括该半导体器件的光学器件，并且特别涉及一种具有光电二极管的半导体器件，以及包括此种半导体器件的光学器件。背景技术 光电二极管能够将光信号转变为电信号，并且已被广泛地使用于，例如各种光电转换器中的控制光传感器。为改善光电二极管的灵敏性，在光电二极管上形成了用于抑制入射光反射的抗反射涂层。采用氧化硅膜和氮化硅膜作为抗反射涂层。例如，膜厚约32nm的氧化硅膜形成于光电二极管上，并且膜厚约55nm的氮化硅膜进一步形成于氧化硅膜上。这会实...
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